智能型电阻真空计研制

本文采用ＭＣＳ－５１单片机系统实现真空测量仪的智能化。该仪具有数字显示、量程自动切换、放大倍数自动调整、非线性测量、误差补偿、给定压强控制、多通道测量、联机通讯和自动打印等功能。本文着重介绍电阻真空计的硬件设计和数据处理方法。     

真空灭弧室用磁控真空计的研究

本文介绍了同轴场式脉冲磁控真空计测量的原理以及设计中的有关问题。给出了某型号的真空灭弧室的压强－离子电流曲线。测量结果表明，该磁控计的压强－离子电流曲线为幂指数函数，磁控放电的离子流与磁场强度无关，但磁场强度必须足以产生稳定的磁控放电。压强－离子电流曲线与灭弧室电极的几何构造和触头的状况有关。     

真空计的计算机控制方法研究

介绍了串行异步通信接口（RS232C）、并行接口（IEEE488）和开关量接口（DI／O）3种计算机接口的原理和编程方法。给出了对采用串行异步通信接口的Maxi规、通用并行接口的磁悬浮转子规（SRG）及开关量接口的电容薄膜规（CDG）等3种真空计进行计算机控制的设计方法。     

SiTime欲借硅MEMS时钟全面替代石英晶振

不断提高芯片集成度减少外围器件是半导体业界追求的目标，但传统晶体振荡器由于采用石英为原料一直无法与硅器件集成在一起，而全硅MEMS时钟的出现或将彻底改变这一局面。     

5MHz短稳晶振的研制

研制出的5MHz短稳晶振,其短稳指标为:4,9×10~(-11)/25ms。这说明该晶振输出频率的频谱纯度很纯,相位抖动很小,可以广泛地用在现代雷达、导航、通信、卫星、导弹、遥测遥控等无线电设备中,作频率时间基准信号。     

一种新型真空微电子压力传感器的研制

采用各向异性腐蚀与各向同性腐蚀相结合的技术和特殊的硅-硅键合技术,成功地研制出了一种新型真空微电子压力传感器。测试分析结果表明,该传感器反向击穿电压达到100V;在加3V正向电压时,其单个锥尖发射电流为0.2nA;在25-100g的压力范围内与输出电压呈线性关系,灵敏度为0.1μA/g。     

液晶微位移传感器

液晶微位移传感器的工作原理是以负介电各向异性的向列相液晶材料的动态散射效应为基础的，文中给出了这种传感器的结构，测量方法、精度、应用范围和实验结果；研究了在阈值电压附近光的吸收和散射，讨论了该传感器的稳定性和遥控方法。     

系列程控真空计

本文概述了近几年迅速发展的由单片机控制的真空计的结构原理以及它的功能。     

单晶炉真空炉室的设计

真空炉室是单晶炉的主要部件之一 ,硅单晶的生长工艺过程都是在真空炉室内进行的。着重介绍单晶炉真空炉室的结构设计及其制造工艺。     

真空开关管真空度的测量

论述了真空开关管真空度的测量原理 ,讨论了影响测量准确性的因素 ,并推荐了测量仪器的正确校准方法。     

空间用晶体振荡器热真空性能研究

空间用晶体振荡器是航天器的重要元器件,为航天器提供计时和产生标准频率.晶体振荡器的使用性能高度依赖于应用和任务环境,热应力、机械应力、辐射应力等都对石英晶体振荡器的使用性能造成影响.在空间真空热环境下,晶体振荡器使用性能与地面常压环境下有很大的不同,为了检验空间用石英晶体振荡器的热真空环境适应性,文章针对空间用石英晶体...     

真空设备泄漏检测技术

针对真空设备研制过程中和客户实际使用过程中真空设备出现漏气现象比较普遍,无法高效快速排除真空漏气的主要问题,结合工作实践经验,采用特种气体检测法、气泡检漏法和真空计检漏法三种技术,相互交叉结合使用,在最短时间内检出设备漏点,处理设备漏气问题,及时防护设备,节约生产维护时间。该技术具有直接性、快速性和便捷性,易学易懂。     

真空比对标准装置性能研究及计量软件设计

为研究真空比对标准装置的性能,减少真空计量过程的不确定度。通过实验对真空比对标准装置的极限真空度、漏率、动态稳定度和体积膨胀比进行了研究,分析了该装置的不确定度影响因素。针对标准装置仅能手动操作、真空规计量过程复杂、人工数据处理繁琐的情况,基于Labview 8.2开发平台,依据真空比对校准装置的基本工作原理和真空规检定/校准规程规范,开发了真空规检定/校准程序,覆盖了各种真空规的检定/校准,给出一种多个被检器并行计量的模块化结构,实现数据的自动处理,原始记录和证书的批量生成。     

真空预处理设备的研制

对目前液晶显示器生产工艺进行了研究,针对显示效果要求更高的薄膜晶体管液晶显示器(TFT-Thin Film Transistor)的生产工艺研制开发出一种新型设备可以有效地提高显示效果。对该设备的工作原理、总体构成及关键技术进行了分析和讨论。     

一种复合式MEMS皮拉尼真空计的设计

微电子机械系统(MEMS)皮拉尼真空计可广泛用于芯片封装和设备测试等领域.量程是MEMS皮拉尼真空计的重要性能指标之一.设计了一种复合式MEMS皮拉尼真空计,通过将具有不同测量范围的两款器件串联复合在同一芯片上,实现量程的扩展.以二极管型皮拉尼真空计为例设计了器件结构,优化了尺寸参数,并给出了兼容CMOS工艺的制造方案...