电子用高纯化学试剂发展分析

电子专用超净高纯化学试剂是微电子技术加工制作过程中不可缺少的关键性化学品之一，主要用于芯片清洗和腐蚀，它的纯度和清洁度对集成电路的成品率、电性能及可靠性都有十分重要的影响，它基于微电子技术发展而发展，同时又制约微电子技术发展，因此，电子专用超净高纯化学试剂的研究和开发同微电子技术的发展紧密相联。     

电渗析法制电子级高纯磷酸

综述电子级磷酸的应用领域和国内外发展现状,阐述制备高纯磷酸的一些方法,提出采用电渗析法制电子级高纯磷酸,并将试验产品与相关标准进行对照,说明采用电渗析法生产电子级高纯磷酸是可行的：     

电子化学品的发展现状与前景

本文简述了电子化学品的基本内容，综述了国内外电子化学品的发展现状，分析了电子化学品的发展前景。     

电子化学品高纯盐酸的生产工艺方法和生产装置

介绍了高纯盐酸的生产工艺方法与生产装置,其中包括将氯化氢蒸发、吸收高纯水、净化气体与最终提纯,而后经过了一系列实验,确定这样制备的盐酸的确纯净并且可以使用。     

电子化学品

威顿在华发展精细磷化工业务;NCI聚焦中国市场 扩大高纯磷酸产能;金泰公司钴酸锂项目通过鉴定。     

电子化学品市场在复苏

BASF公司涉及电子化学品的产品有高纯试剂、半导体行业用抛光剂、光学膜和制造太阳能电池用化学品。直到2008年8月，产品销售是那么火爆，电子材料业务部都不知道到哪里能买来原料以维持生产。而一到10月，业务几乎是突然停滞了。面对猝然而至的危机，可以做的不多的几件事情之一是削减产量，避免出现过多存货。     

电子化学品技术发展分析

通过分析全球电子化学品(含氟电子气体、湿电子化学品和光刻胶)生产技术相关专利的申请态势,研究电子化学品生产技术的发展全貌,并分别对含氟电子气体、湿电子化学品和光刻胶技术的成熟度进行分析.重点分析了全球电子化学品领先企业的技术布局,并提出了我国今后的发展建议.     

电子化学品行业现状及展望

分析我国电子化学品行业发展现状和环境,提出发展思路与重点任务。列出了应该重点发展的电子化学品名录与要求及节能减排技术与未来5年推广目标。提出规划实施措施与政策建议。     

电子化学品

我国规模最大的二氯硅烷项目在豫启动列入国家高技术产业化示范工程的 5 0t/a高纯二氯硅烷项目落户河南省沁阳市 ,这标志着我国目前生产规模最大的二氯硅烷生产厂正式动工兴建。高纯二氯硅烷是一种新型的硅源气体 ,主要用于集成电路上各种含硅薄膜的制备。因其特殊的物理和化学     

电子级磷酸的研究进展

综述了电子级磷酸的应用领域和国内外发展现状,阐述制备高纯磷酸的一些方法,对各种方法进行了比较。     

亟待开发的无机电子化学品

综述了半导体用过氧化氢、氢氟酸、三氧化二锑和二氧化硅薄膜等超细高纯无机电子化学品 ,印刷电路板和电池方面用的高纯二氧化硅、五氧化二锑和二氧化锰等无机电子化学品 ,介绍了超纯过氧化氢、超纯氢氟酸、五氧化二锑和γ 二氧化锰的制备方法。     

高纯黄磷与电子级磷酸制备方法

随着半导体芯片制造业和LCD制造业向我国转移,高纯磷和电子级磷酸的需求量日益增长,它们已成为我国精细磷化工开发的重点产品。介绍了近年开发的区域熔融、电磁净化法净化工业黄磷制高纯磷,以及熔融结晶法、膜分离法净化工业磷酸制备电子级磷酸等技术。     

电子级磷酸的研究与生产进展

介绍了电子级磷酸的用途、产品标准和检测方法,综述了电子级磷酸研究、生产的最新进展以及生产所需的配套技术,重点阐述了电子级磷酸生产中黄磷与磷酸净化的方法、过程和特点,指出电子级磷酸生产技术的发展趋势应为黄磷净化与磷酸净化的集成,以及生产全程净化工序的系统优化,从而实现净化效率的提高以及生产成本的降低。     

电子级磷酸工业化战略及其配套技术

为了适应半导体芯片、液晶制造业向中国转移,半导体芯片和集成电路微细加工、薄膜—液晶制造工艺需要的电子级磷酸包括MOS级、BV级万吨规模工业化装置正在各地建设。提出了发展我国电子级磷酸的工业化战略,并提出了与电子级磷酸制备工艺相关的配套技术开发意见和建议。     

电子级磷酸的生产工艺及发展现状

电子级磷酸常用于高精度、大规模集成电路以及精密电子元器件等生产过程中的清洗以及蚀刻阶段。随着各类高精度电子元器件的更新换代速度加快,对电子级磷酸控制微粒的要求也更高。已经工业化的MOS以及BVI级磷酸已经实现了工业生产,但是更加精细化的电子级磷酸市场依旧在发达国家垄断下,进口依赖度高,我国尚未有相应的工业化生产线,配套的检测设备以及分析方法也不甚健全。本文主要介绍电子级磷酸生产工艺及其市场应用,同时对电子级磷酸工业化发展战略进行了分析。     

以湿法工业级磷酸生产电子级磷酸的脱砷技术

介绍电子级磷酸的生产方法,以及在原料(工业级磷酸)处理阶段的脱砷原理和工艺流程。湿法工业级磷酸经脱砷及后续的结晶、重结晶处理后,w(As)由75×10-9降至10×10-9,产品质量达到SEMI—C7标准。     

电子级磷酸的制备工艺与应用研究进展

电子级磷酸是大规模集成电路（IC）、薄膜液晶显示器（TFT-LCD）、半导体等微电子工业必用的清洗剂和蚀刻剂。本文在探讨了电子级磷酸制备工艺基础上,对电子级磷酸的质量标准与检测方法予以综述,并对其应用前景予以展望。     

电子级磷酸装置工程设计特点

介绍了电子级磷酸的开发研究现状、制备方法、质量标准。重点综述了电子级磷酸装置工程设计特点,包括厂房设计、材质选择和超纯水问题。展望了电子级磷酸的发展前景,并提出了电子级磷酸生产装置建设意见和建议。     

微电子工业对超净高纯化学品的质量要求

我国为微电子工业配套使用的高规格超净高纯化学品一直依赖进口,此类化学品研发中的核心技术为德国、日本、美国等国家所垄断,其关键技术的国内外文献报道甚少。为便于国内相关研发单位开展研究工作,围绕微电子工业对超净高纯化学品的质量要求,搜集、整理并分析了近二十年来的相关文献,研究了不同规模集成电路对这类化学品纯度、洁净度的质量规格要求,建议:制定有全球竞争力的超净高纯化学品国家标准;建立相关产品生产管理制度和实施细则;建立能与国际资深实验室进行测试技能交流的有世界公信力的分析检测平台。