组合式微细电火花电极制作工艺试验研究

针对块电极磨削效率高和线电极磨削(WEDG)精度高的优点,采用块电极磨削和线电极磨削相结合的方法,在多模式脉冲电源下制定了块电极磨削作为粗磨削、线电极磨削作为中、精磨削的微细电火花电极制作工艺流程。采用去离子水作为工作液,分别对块电极磨削和线电极磨削进行了电源模式和电参数试验,分析试验结果,总结出一组适合于粗、中、精磨削的电参数组合,研究出一套加工效率高、精度高且直径一致性高的电极制作工艺方法。并通过试验验证了该工艺方法能稳定加工出长径比大于16的微细电极,利用其加工出了256个直径小于50μm、直径偏差在2μm内的微细阵列孔。     

微细轴的电加工技术

针对微细轴的加工问题，分析了当前普遍使用的特种加工方法。分别对线电极磨削、块电极反拷、单脉冲放电、电火花沉积、电解加工和电化学沉积等加工方法在微细轴加工方面的特点进行了归纳，并给出了具有代表性的加工实例。     

自成形微细电极制备技术研究

以目前微细电火花加工中微细电极常用的制备技术为基础,提出了自成形微细电极制备技术。通过研究,掌握了自成形微细电极制备技术工艺关键,并与传统制备方法的反拷块法进行了实验对比,获得了较为理想外形尺寸精度、长径比的电极。     

微细电火花加工工艺研究

介绍了在研制的采用蠕动式微进给和线放电磨削走丝机构的微细电火花加工装置上进行的加工工艺实验研究。探讨了微细电火花加工微小轴 (工具电极 )、高深宽比微小孔、非圆截面形状和三维结构成形以及半导体硅材料等的工艺方法     

电火花摇动加工微细阵列轴和孔的试验研究

针对微细阵列轴和孔的电火花加工,提出了利用数控电火花加工机床摇动功能的摇动加工微细阵列轴和孔的方法.此法是基于电火花反拷贝加工的原理,先用丝电极在薄平板(中间电极)上按要加工的阵列轴和孔间距或数倍间距加工阵列小孔(直径0.1 mm以上),然后用加工的薄平板(中间电极)作电极,电火花摇动加工微细阵列轴(电极),最后用此微细阵列电极加工阵列孔.进行了电火花摇动加工微细阵列电极试验,得到了单电极直径为50 μm、长径比为16的3×3阵列电极,并用此电极在70 μm厚的不锈钢板上加工出单孔直径为70 μm的3×3微细阵列孔.试验结果表明,电火花摇动加工方法可实现微细阵列轴和孔的加工.     

微细电火花加工工艺研究

介绍了在研制的采用蠕动式微进给和线放电磨削走丝机构的微细电火花加工装置上进行的加工工艺实验研究,探讨了微细电火花加工微小轴（工具电极）高深宽比微小孔,非圆截面形状和三维结构成形以及半导体硅材料等的工艺方法。     

微细电火花加工中的电极在线制作与检测

将反拷块与线电极电火花磨削（ＷＥＤＧ）装置相结合，成功地实现了微细电极的高效、高精度在线制作 。充分利用机床的数控功能和接触感知功能以及标准量块和ＷＥＤＧ装置，在不增加任何测量附件的情况下，实现了微细电极的锥度及尺寸测量。     

镜像双丝切向进给线电极电火花磨削加工微细轴的关键技术研究

为高效、高精度制备微细轴,提出了镜像双丝切向进给电火花磨削加工方法,并研制了实现该方法的加工设备。该方法的特点在于:以同平面内双侧线电极及双路RC脉冲电源同时加工微细轴提高了线电极电火花磨削加工微细轴的加工效率;以双侧线电极形成的窄缝及微细轴沿窄缝中心线切向进给的方式约束微细轴直径,简化了微细轴直径的控制策略。基于该方法提出了加工策略、制定了加工工艺并通过加工实验验证了新方法制备微细轴的高效性和高直径一致性。     

横轴布局微细电火花加工机床

介绍了作者研制的微细电火花加工实验样机及部分实验结果。该机床采用横轴布局的主轴结构；应用了先进的线电极电火花磨削法制作微细轴；采用了驰张式微能放电电源；以去离子水作为加工工作液。经实验，加工出了部分微细轴和微孔。     

线电极电火花磨削技术在微细加工中的应用

介绍了线电极电火花磨削(WEDG)技术的工作原理、主要特点和在不同微细加工技术中的应用,从侧面反映了微细加工技术的发展现状.     

基于微细线电极的轴对称微结构电解磨削加工试验研究

随着各种新材料和难加工材料的大量应用,传统方法难以加工复杂轴对称微结构,而线电极电解磨削技术因加工效率高、表面质量好、无电极损耗等优点彰显巨大优势。通过优化各工艺参数对线电极电解磨削加工的影响,成功获得微细轴电极并原位加工出微细通孔,最后通过线电极电解磨削方法成功加工出复杂轴对称微结构,证明了线电极电解磨削加工是一种制造复杂轴对称微结构的有效方法。     

应用线电极磨削法的电火花微孔加工

在微细电火花微孔加工中,微细工具电极的制作精度是决定微孔加工质量的关键。本文介绍了作者研制的微细电火花加工样机。该机床应用了线电极电火花磨削法制作微细轴,并在同一台机床上用制作的微细轴作为工具电极加工微孔;同时为提高微孔的加工质量,采用了主轴横轴布局结构。该机床还采用了微能放电电源、去离子水工作液等加工工艺。经过实验加工,获得了高质量的微细轴以及微孔。     

应用线电极磨削法的电火花微孔加工

在微细电火花微孔加工中，微细工具电极的制作精度是决定微孔加工质量的关键。本文介绍了作者研制的微细电火花加工样机。该机床应用了线电极电火花磨削法制作微细轴，并在同一台机床上用制作的微细轴作为工具电极加工微孔；同时为提高微孔的加工质量，采用了主轴横轴布局结构。该机床还采用了微能放电电源、去离子水工作液等加工工艺。经过实验加工，获得了高质量的微细轴以及微孔。     

微细电极的正交点电接触在线测量及组合制作工艺

为服务于微细电火花加工用微细工具电极在线制作,提出一种正交点电接触标准细棒的微细电极在线测量方法。将电极轴线与标准细棒轴线正交（垂直）布置,通过电极外径与标准细棒外径之间低压电感知的点接触方式,避免或减少标准棒尺寸误差和安装误差的影响。提出采用自穿孔成形伺服反拷法和线电极磨削法组合工艺,并结合在线测量反馈方式,实现了钨材料微细电极较高效率的在线制作,尺寸可控精度可达±1．5μm。     

反拷法精确制作大长径比微细电极的工艺探索

电火花反拷法是一种传统的微细电极在线制作方法,其优点是加工效率高,不存在重复定位误差;缺点是电极尺寸不易控制,容易存在锥度误差。通过对放电参数、电极材料和进给方式的优化,解决了在普通电火花机床采用反拷法在线加工微细电极的锥度问题。结合机床实际,详细叙述了耐磨损微细电极制造的工艺优化过程和实际使用性能,为微细电极的加工和使用提供了完整的工艺参考,并成功加工出直径φ0.1 mm、长径比达66的耐磨损电极。     

UV-LIGA制作微细群电极工艺研究

微细电火花加工和微细电解加工是当前微细加工领域的研究热点,利用微细群电极进行微细加工可显著提高加工效率.研究了UV-LIGA制作微工具电极的技术.以金属为基底,采用UV-LIGA工艺来制作微细群电极,改进了前烘、后烘、显影等工艺参数,分别在铜和不锈钢基底上通过注射式倒胶的方法制作出厚度达1 mm的SU-8胶结构,最大深宽比达10∶1,并通过微细电铸,获得了铜微细电极.     

微细电火花加工用伺服进给控制系统的设计

本文简要介绍了电火花线电极磨削法的加工原理。分析了诮该方法进行实验研究中伺服进给的特点，并根据这些特点设计了微细电火花加工用伺服进给控制系统。系统中采用了８０３１单片机作为ＣＰＵ，使用方便灵活；系统应用脉宽调制式细分驱动技术，不但提高了或的进给分辨率，也使进给系统的频率大大提高，满足了微细电火花加工的要求。     

微细电火花加工用伺服进给控制系统的设计

本文简要介绍了电火花线电极磨削法（ＷＥＤＧ法）的加工原理。分析了应用该方法进行实验研究中伺服进给的特点，并根据这些特点设计了微细电火花加工用伺服进给控制系统。系统中采用了８０３１单片机作为ＣＰＵ，使用方便灵活；系统应用脉宽调制式细分驱动技术，不但提高了加工中的进给分辨率，也使进给系统的频率响应大大提高，满足了微细电火花加工的要求。     

用块电极轴向进给法电火花磨削微细轴

对电火花磨削微细轴中的关键问题进行了分析，提出并研究了利用块状电极轴向进给磨削微细轴的方法。在自行研制的多功能微细加工装置上，用该方法加工出了直径10μm的微细轴，并用此轴加工出了直径20／μm的微细孔。实验中发现：令伺服响应延时，可改善微细轴的圆度。用此方法得到的微细轴，根部强度高，有利于微细轴的加工和工作。     

基于LIGA技术的微细电火花加工优化研究

比较了活动掩膜法与固定掩膜法得到的PMMA胶结构,实验表明固定掩膜法更适合于多次曝光.结合LIGA技术和微细电火花加工的优点,用LIGA技术制备出具有复杂形状的铜微细工具电极,再用该工具电极进行微细电火花加工,在不锈钢上加工出异形微细孔.并通过进一步调整电火花加工工艺参数,优化了加工尺寸精度和表面粗糙度.