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组合型真空规校准系统 总被引:1,自引:1,他引:1
组合型真空规校准系统由三种基本的校准方法组成,可完成10^-^4-10^5Pa范围内的校准。用户可根据实际应用选择不同的参考标准和校准方法,但不改变系统的基本结构。校准系统扣作方便,校准效率高,同时可校准4或5只真空规,是一种非常适合于日常校准用的实用性标准装置。 相似文献
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分析了现已研制成功的各种电离规的测量精度和影响测量精度的因素。主要因素有X射线引起的光电流、电子诱导脱附产生的离子流、收于离子轰击使电胡表面电子产额发生变化以及几何形式的变化等。以新研制的冷阴极电离真空规为例,分析了提高真空测量精度的可能性。 相似文献
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超高真空分离规的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
本文介绍我们研制的超高真空分离规的初步结果。给出分离规的结构、工作状态、压强范围和灵敏度。在全压强范围,分别利用大圆筒电离计、BA计和分离规进行对比,说明分离规的读数是可靠的,发现分离规在高压强时收集极电流有饱和现象并加以说明,发现BA计在10~(-8)托(空气)量程就已出现电子诱导栅极离子解吸现象。在0.3×10~(-11)托的极限真空下,改变栅灯电压测收集极电流,用对数直线外延法确定分离规的x射线光电流本底,它为1×10~(-12)托,讨论了这种方法的可行性。最后提出进一步提高分离规灵敏度的一种措施。 相似文献
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介绍了一种真空规原位置校准的设备,以及原位置校准技术研究,该装置具有结构简单、实用、不确定度小等优点,同时可以满足真空规的在线原位校准。 相似文献
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程控式真空规校准装置 总被引:3,自引:3,他引:3
程控式真空规校准装置主要用于日常对工作用真空规的校准。它采用动态直接比对法、静态膨胀法和静态直接比对法等三种方法可以对1×105~5×10-4Pa范围内的真空规进行校准。采用可编程控制器对校准全过程实行自动控制,并具有保护、报警、语音提示等功能,提高了工作效率和安全可靠性,避免了由于误操作或真空系统故障造成的经济损失。 相似文献
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分流式超高真空电离规 总被引:1,自引:0,他引:1
本文提出一种电极采用“端流式”结构的调制型BA规的设计,可用于超高真空测量。它的灯丝和离子收集极分别置于加速栅的两端,而调制极为围绕收集极的环形圆片。使用时采用调制极电位由阴极电位跳变到收集极电位的工作模式,此时收集极得到的离子流占总离子流的份额发生变化,而它的光电流却并不随调制极电位而异,由此可基本上克服加速极软x射线的影响。实验得到这种规的灵敏度为30托~(-1)及15托~(-1),即调制系数达到50%。测量下限约4×10~(-12)托。 相似文献
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合肥工业大学真空技术及设备教研室,根据半导体感温特性,利用微电子平面工艺,经过三年多的努力,研制成功宽量程半导体真空规。来自全国各地的高等学校、研究所、计量部门及工厂等20多位鉴定会代表,于1985年9月14日至15日在合肥通过技术鉴定。 鉴定会一致认为,合肥工业大学研制的宽程半导体真空规测量范围宽、灵敏度高、重复性好、性能稳定,所达到的技术性能指标为国内先进水平;宽量程半导体真空规系国内首创,它的研制成功为我国真空测量提供了一个实用的新型真空测量量具。宽量程半导体真空规研制成功@王先路 相似文献
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电容薄膜真空规的使用情况直接关系到产品的可靠性。本文从五个方面,详细分析了电容薄膜真空规在正确使用中的注意事项,从而保证了它的准确度及稳定性,提高了其使用寿命。 相似文献
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本文论述了能够获得10-3乇到低于10-10乇压强的真空系统。该法使用是基于予见到压强降低由于分子流经过已知通导的孔的缘故。标准压强测量是采用麦克劳规。数据的获得是用B-A规,热阴极磁控管规和质谱计,当某些问题涉及到测量低压强时,尚须讨论。 相似文献
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DL-9型热阴极电离真空规 总被引:1,自引:0,他引:1
引言 DL—2型热阴极电离真空规的结构简单、性能较好,卅多年来是我国应用最广泛的高真空量规,为其配套的供电与控制用电子装置高达6万台。随着真空科技的普及与提高,特别是真空量值校准与传递工作的发展,不少真空测量工作者发现其规管常数 (或称灵敏度或电离规系数)在新开封初校时偏高,随着工作时间的持续,规管常数会明显下降,一般工作50至60小时后方趋逐渐稳定。这点也为1981年全国DL—2型规管性能评比会议有关实验测试所证实。 能否提高热阴极电离真空规的稳定性,是近十年来真空界所关注的问题:早在1967年 W.G. Brombacher就曾指出影响… 相似文献