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现代低温泵的冷源是微型制冷机。制冷机在某些工况下,实际净制冷量随制冷温 度、氦压力差等因素而变化,一级冷头负载的大小对二级冷头温度也有明显的影响。本 文着重讨论了制冷机负载特性的变化对现代低温泵的抽速、极限压强、抽气容量等抽气特 性的影响。 相似文献
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<正>(上接2010年第3期88页)在制冷机低温泵中,一级冷阵一般由辐射屏和一级挡板组成,同制冷机的一级冷头相连,其温度通常在45~100 K范围内;二级冷阵与制冷机二级冷头相接,温度为5~20 K,它的外侧为裸露的无氧铜抽气表面,内侧在金属面上粘贴吸附剂(一般为活性炭)形成吸附抽气面,其结构如图48所示。 相似文献
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本文指出用常规的抽速测试方法来测量制冷机低温泵的抽速是不合理的。根据低温泵的特点以及对低温抽气研究的回顾,对低温泵的抽速测试罩进行了理论分析,并给出了压强的理论计算误差,据此推荐了几种制冷机低温泵的抽速测试方法。本文最后介绍了最新研制成功的ZDB-1300制冷机低温泵的抽速测试。 相似文献
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任家生 《真空科学与技术学报》1998,(5)
低温泵的冷源是小型气体制冷机。制冷系统在长期运行中可能发生种种故障,使制冷工况发生变化。制冷机制冷工况的变化,对制冷机一,二级冷头的制冷量和制冷温度有明显影响,从而对低温泵抽气特性产生重大影响。 相似文献
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低温泵的冷源是小型气体制冷机。制冷系统在长期运行中可能发生种种故障,使制冷工况发生变化。制冷机制冷工况的变化,对制冷机一,二级冷头的制冷量和制冷温度有明显影响,从而对低温泵抽气特性产生重大影响。 相似文献
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低温泵利用低冷凝和捕集来抽气,它不给被抽容器带来污染,因而是十分清洁的泵。然而早期的低温泵需用液氮或昂贵的液氦来制冷,这就限制了它的应用。现代的低温泵用闭循环小型制冷机来获得抽气所需的低温,完全省去了液氦和液氮,这就大大降低了运转成本。此外,制冷机使用的压缩机寿命较长,一般在运转9000至10000小时后只需花费半小时左右简单地更换一下吸 相似文献
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综述了近几年来国内外空间用及其它用途的小型低温制冷机发展动向。分析了提高制冷机运转寿命的一些措施,介绍了些回热式低温制冷机回热器填料采用稀土磁性材料代替铅丸,使冷头温度下降、冷量增大等情况,还简述了提高回热式低温制冷机工作频率及有关热声制冷机的研究情况。 相似文献
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带有吸附剂、温度处于10~20K的二级致冷式低温泵,目前正处于发展与应用的极盛时期。其抽气机理已为大家所熟悉,但对第二级冷头的变化所引起的抽气特性的变化尚未得到充分的认识和研究.作者通过改变第二级冷头的温度来分析泵中的残余气体谱峰,从而了解研究不同温度下某些气体的抽气情况,这对低温泵工作温度的选择和抽气特性的确定具有一定的实用价值。实验工作是在 10~23 K和~10~-3—~10~-9托的温度和压强下进行的,残气分析采用四极场质谱计。 相似文献
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前言采用闭循环低温致冷机冷却的小型低温泵曾在1977年介绍过,它已广泛地应应用于半导体工业以及需要小型而清洁的高真空泵的研究部门中。目前,最常用的低温泵的抽气口径约为193~295毫米。随着使用量的增加,已在大型研究容器和某些工业应用,如像冶金容器的抽气系统中,对犬尺寸低温泵的兴趣就越来越大。 相似文献
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小型制冷机低温泵(简称低温泵)是七十年代发展起来的一种新型抽气设备,目前国外已大量生产 并得到广泛应用。本文简单介绍了这种泵工作原理和几种典型结构并着重分析了冷板受热情况及抽气特 性,最后给出了低温泵降温时间的计算式。理论与实践 相似文献
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中性束注入实验单元系统调试和小尺寸样机验证测试需要真空环境支持,针对实验气体负载性质与真空要求,探索研制外置式制冷机低温泵。设计了一种基于单台4 K制冷机的低温泵并开展抽气单元性能分析,采用ANSYS热分析方法研究抽气单元热学性能,得到了不同气体热负载下的温度分布,结果表明,抽气面温度处于5 K左右,能够有效抽除H2、He等难凝性气体。采用MOLFLOW对连接抽速测试系统的低温泵进行了气体粒子运动模拟,验证了抽气单元设计的合理性,并模拟得到气体捕获系数为0.409;探究了气体负载对抽气性能的影响,结果表明,受温升影响,泵的抽速波动较小,抽气性能良好。研究方法与结果为实验用制冷机低温泵的研制提供了有益参考。 相似文献
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低温抽气具有高抽速、灵活、清洁和工作压强范围比较宽等优点。长期以来是被人们所公认的。但是在工业方面至今还没有被应用,本文描述一台使用近代制冷机装备的低温泵的真空特性,这种制冷机能同时提供大约80K 50W 20K 10W的冷量,因而就不再需要波氦和液氮了。资料表明,为了工业上能采用这种20K低温抽气,必须对低温板和制冷机冷量的设计加以特殊考虑。假如满足:a)氢气是均匀分布在与20K低温板胶合的吸附剂上。b)吸附剂颗粒尺寸约1毫米及c)比氢气更容易冷凝的气体对吸附剂的污染可避免,那么,10W的冷量能使这种泵长期地工作,特别是对于工业… 相似文献