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<正>2014年9月9日,美国微机电系统制造商IMT与中国物联网研究发展中心(CIT-China)宣布达成了建立长期战略合作伙伴关系的意向。MEMS器件在汽车、智能手机等与人们日常生活相关的电子产品中随处可见,除此之外,在医疗领域的应用也越来越多,例如很多植入在人体内的传感器都是采用MEMS技术来制造。而IMT则是一家有14年经验的专注于MEMS工艺制造的代工厂,在MEMS制造领域,IMT积累了丰富的人才和经验,并且有多项MEMS制造方面的知识产权。 相似文献
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采用MEMS技术制作了硅基微型NO2气体传感器,选用高分子金属酞菁聚合物酞菁铜作为敏感膜,从半导体理论出发解释了酞菁铜的敏感机理。阐述了该传感器的结构与工艺流程,并测试了传感器的气敏特性、温度特性、响应时间和恢复时间等敏感特性。实验结果验证了酞菁铜对NO2气体的敏感性,该传感器可以检测到10^-6量级的NO2气体,且响应时间快。 相似文献
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多孔铁芯有利于满足微型磁通门传感器降低功耗的要求,但不同的拓扑结构所取得的效果不同,对多孔铁芯结构进行了拓扑分析与针对性优化,并采用微机电系统(MEMS)工艺制备了不同铁芯结构的微型磁通门进行性能测试与对比验证.实验结果证明:优化后的铁芯结构能更好地降低微型磁通门传感器功耗,提高器件整体性能. 相似文献
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直径只有两毫米的电磁型微马达 总被引:3,自引:0,他引:3
张琛 《机器人技术与应用》1997,(1):12-14
一、引言 八十年代末,随着微电子技术的惊人发展,促使人类步入了信息时代,有力地推动了各学科领域高新技术的飞速发展。在它的启示下,人们设想将微传感器、微处理器、微执行机构等器件集成在一个极小的几何空间内组成微型机电系统(MEMS),从而能象生产集成电路一样大批量、廉价生产微型机械及其电气控制系统。该设想立即受到各国政府和科学界的高度重视。在美国科学基金支持下于1987年7 相似文献
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为克服平面微机械结构无法释放残余应力、刚度小、跨度小,平面牺牲层工艺成拱出现非光滑台阶状边缘而造成器件失效或能量泄漏的缺点,改进现有成拱工艺在器件尺寸、结构稳定性及可靠性等方面的不足,提出一种用选择性化学机械抛光技术制作微拱形结构的方法。该方法是在化学机械抛光过程中,加入对牺牲层材料和硅材料抛光速度具有差异性的选择性抛光液,在牺牲层和硅材料的边界处利用滑动摩擦过程中的物理和化学作用,在牺牲层处形成连续平滑的拱形凸起,最后在其上制作微拱形结构。实验结果证实:微拱形结构有一定的曲率,拱起高度约为3.5μm,跨度大于100μm,微拱形表面光滑且为连续的曲面。该方法可为MEMS传感器、微型压电驱动器、薄膜体声波谐振器及滤波器的微拱形结构的制作提供参考。 相似文献
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针对微型磁通门传感器降低功耗的要求,利用标准MEMS工艺制备了具有多孔结构铁芯的微型磁通门传感器.经过对器件的测试与分析,这一结构的铁芯能够降低器件功耗,提高传感器的整体性能.通过比较不同多孔铁芯对磁通门最佳激励电流的影响,综合考虑器件性能和制备工艺的要求,确定了最佳的设计参数. 相似文献
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以Evanohm合金为材料,设计了一种双环线型微加热器.使用AC磁控溅射技术在硅基底上沉积合金薄膜,并采用微机电系统(MEMS)微加工工艺实现薄膜图形化,以此作为加热器的加热元件.在常温下,研究了所制备的薄膜加热器件的加热性能与电学特性,并在深低温下进一步测试了其电学性能.研究结果表明:此种微型加热器电阻值稳定.在[5... 相似文献
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