用于半导体器件的激光诊断和光化学处理

微电子学现正处于材料革命的阶段，超大规模集成电路所必需的超精细分辨、高可靠性、纷繁复杂的布局及器件设计的要求，正在迫使电子材料专家转向新的材料系统和新的加工工艺。     

固态微波电子学的新进展

固态微波电子学是现代电子学的重要分支之一,其基础材料已由第一代半导体Si和Ge、第二代半导体GaAs和InP,发展到第三代半导体GaN和SiC,石墨烯和金刚石等C基新材料正在进行探索性的研究,其加工工艺的尺寸也已进入纳米尺度,其工作频率已达到1 THz,应用的频率可覆盖微波毫米波到太赫兹.目前固态微波电子学呈多代半导体材料和器件共同发展的格局.综述了具有代表性的1 1类固态器件(RF CMOS,SiGe BiCMOS,RF LDMOS,RF MEMS,GaAs PHEMT,GaAs MHEMT,InP HEMT,InP HBT,GaN/SiC HEMT,GFET和金刚石FET)近几年的最新研究进展,详细介绍了有关固态微波电子学的应用需求、技术特点、设计拓扑、关键技术突破和测试结果,分析了当前固态微波电子学总的发展趋势和11类固态微波器件的发展特点和定位.最后介绍了采用3D异构集成技术的射频微系统的最新进展,指出射频微系统是发展下一代射频系统的关键技术.     

固态电子学对雷达系统的影响

一、背景虽然目前使用的雷达系统的射频可从几兆赫到几十千兆赫,平均发射电平从几毫瓦到几兆瓦,但是大多数雷达系统的设备还是与图1所列的相仿。     

有机化合物的激光光化学

近年来，有机化合物的激光光化学研究得到了迅速发展，激光应用于有机化学取得了一系列的研究成果。激光光化学在开拓新的合成方法，探索新的有机化学反应及其机理等方面表现出极大的生命力。本文综述了近年来激光光化学在有机化学中的研究状况，讨论了激光引发有机化学反应的一些实例。     

大分子激光光化学座谈会

像多光子离解光谱学这样一类分析技术以及低温基质中的激光光化学是去年8月20~22日在圣·何塞由美国物理学会国际商用机器公司所发起的大分子激光光化学座谈会的主要课题。与会的125位化学家提出的主要结论是激光在化学中主要的直接应用是研究光化学反应，而不是合成化合物那样一些令人陶醉的前景。     

激光和癌的光化学

癌症是死亡率很高的疾病之一，这不仅是医学上的一大难题，也是人们越来越关心的社会问题。人们强烈希望发明一种对癌更有效的早期诊断及治疗方法，并希望对癌有更详细的解释。所谓癌是恶性细胞肿的泛称，实际上癌的种类很多，即使在人体的每一个器官或组织内也有很大的差异。就以日本人患得最多的胃癌来说，也有多种类型。而现在一般都统称为癌，这正说明了目前对癌的本质还有许多不清楚的地方。今后要想对癌的本质和致癌过程有更详细的了解，就一定要继续对于各种类型的癌加以研究，并要找到一种比现在更有效的早期诊断、治疗以及预防方法。因此促使人们把尖端科学技术——激光、低损耗光纤和计算机技术组合起来应用到这些问题上，在跨学科领域的研究体制下向癌挑战，这就是我们把激光和癌结合起来研究的出发点。     

兼有真空管电子学与固态技术优点的新型器件

华盛顿,DC,海军研究实验室的研究人员已经研制了一种真空微电子器件,它很象真空管,但尺寸却大大地减小了。这个课题的主要研究人员Henry Gray博士说真空微电子学将固态技术的制造、处理、尺寸及重量的优越性与真空中输运发射     

激光消融与光化学蒸气沉积

激光消融与光化学蒸气沉积１．引言最近激光消融和光化学蒸气沉积作为生产各种薄膜的可能沉积法而受到重视。在激光消融中，强脉冲激光束将固体靶表面气化，并在真空室内沉积到基片上成为薄膜。激光消融的原始概念，在１９６０年激光问世不久就想到了［‘］。此后进行了一...     

半导体器件的激光诊断和光化学处理

微电子技术的一种新方法,就是采用激光既作直接加工工具又作为诊断手段。例如,用紫外激光在半导体和绝缘基片上直接淀积亚微米宽金属线。另外,在化学汽相淀积反应过程中,已用激光控制反应形式和化学的动力学过程。激光在这些方面的应用研究在第一届半导体器件的激光诊断和光化学处理会议和1982年11月在美国波士顿召开的材料研究学会年会上作了详细介绍。林肯实验室Dan Enrlich等谈到有关高分辨激光加工的局限性。他们强调指出,非线性过程在制作特征尺寸比光波长小     

用于航空电子学应用的红外热摄像机

本文介绍了本公司已经研制成功的两台第二代热成像仪的设计,它们是分别用于NH90战术运输直升机(NH90 TTH)的导航前视红外仪和意大利ATR42海军巡逻飞机(ATR42 MPA)的电光监视与跟踪系统的.这两项计划的设计目标都是尺寸小、重量轻和功耗低.特别是,NH90-TTH热成像仪是一台工作于8 μm-12 μm波段的带单个宽视场(30°×40°)的紧凑型摄像机(6kg).为ATR42 MPA巡逻机研制的那台热成像仪具有一个特点,即它装有一个配备衍射光具的可遥控切换三种视场的物镜.介绍了这两台热成像仪的性能目标、创新性设计情况以及测试结果.     

洛斯·阿拉莫斯科学实验室的激光光化学

在过去几年中许多研究者将“激光光化学”这个词汇与“激光同位素分离”互相交换使用。也就是把它描述用激光将铀235从自然界中更普遍存在的铀238中分离出来的概念。许多研究者忽略了关于硼、硫或者有关实验技术的实验报导。     

用于红外光电子学的材料科学与材料特性

一、器件的应用 1.异质结构HgCdTe光伏探测器(A.Rogalski,波兰军事理工大学) 2.基于HgCdTe薄膜和GaAs/AlGaAs多量子阱的红外光电探测器列阵(V.N.Ovsyuk等,俄罗斯半导体物理研究所)     

CO_2激光诱导NH_3的光化学

在用激光引发的反应体系中引入催化剂表面,目的在于探索实现高选择性皮应的新途径,本文简述在所建立的实验装置上观察到的一些实验现象。一、用连续 CO_2激光诱导 NH_3的光化学实验装置如图。CO_2激光功率15—50瓦连续可调,NH_3经液氮冷冻净化;白金(pt)可加热处理,反应器抽空到10~(-2)mmHg 柱。实验结果:①在一定的激光功率下,一定的 NH_3压力范围内,红外发射谱的强度随压力增加而增强。②在NH_3压力为60mmHg 柱时,测出了焦点处 NH_3     

激光诱导荧光(LIF)用于探测分子微观过程进展

《国外激光》1982年第2期发表李学初的“激光诱导荧光(LIF)用于探测分子微观过程进展”文章,文章分一、引言,二、LIF用于研究反应的微观过程,三、研究分子能量传递,四、激光激发光谱和结语等五部分。作者指出,由于激光单色性好,脉冲功率高,因而能将分子选择激励到单一转动-振动-电子态。如果跟踪受激分子荧光的衰     

固态准分子激光介质的实验研究

固态稀有气体卤化物准分子激光器是最近几年出现的一种新型激光器。它的工作物质是用气体矩阵隔离技术、在低温(10-20K)情况下生长的矩阵晶体。固态介质的特点是有与气相介质相似的激光能级;粒子数密度比气相高4-5数量级;可消除卤素特别是F_2的腐蚀作用。