脉冲激光沉积(PLD)原理及其应用

脉冲激光沉积薄膜是近年来发展起来的使用范围最广,最有希望的制膜技术.通过从激光与材料相互作用理论出发,分析了激光烧蚀材料等离子体羽辉的空间运动特征与成分分布,以LCMO为对象,对PLD系统脉冲激光沉积薄膜过程中薄膜质量与衬底温度、靶材-衬底距离、氧压、激光脉冲能量、激光频率等参数关系进行了实验研究,得出在单晶衬底上沉积LCMO薄膜的最佳实验参数.同时用XRD衍射谱和SEM分别对膜的成键情况和表面形貌作了分析,结果表明脉冲激光沉积(PLD)是一种很好的镀膜方法,所制备的膜质量较好.     

PLD沉积DLC薄膜过程中碳等离子体的发射光谱特性

采用脉冲激光沉积方法,通过改变脉冲激光能量在单晶硅衬底上制备了类金刚石薄膜,利用椭圆偏振光谱和拉曼光谱对得到的薄膜进行测试,并对沉积过程中的碳等离子体发射光谱进行了研究。薄膜测试结果表明,随着脉冲激光能量的增大,薄膜sp^3成分增多。沉积过程中的碳等离子体发射光谱原位监测表明,随着脉冲激光能量的增大,C、C^＋、C^2＋粒子发射光谱强度增强,根据应力模型薄膜sp^3成分增多,与薄膜测试结果一致。并且发现C^＋粒子在形成sp^3键过程中起到了非常重要的作用。     

射频辅助脉冲激光沉积镀膜技术的特点

介绍了脉冲激光沉积（PLD）制备薄膜的原理，讨论了射频辅助脉冲激光沉积镀膜技术的特点，通过分析比较证实了射频辅助脉冲激光沉积比无射频辅助脉冲激光沉积具有更突出的优点。     

脉冲激光沉积类金刚石薄膜的厚度均匀性建模

在脉冲激光沉积类金刚石薄膜过程中，针对薄膜均匀性差的问题，提出偏轴沉积、脉冲激光扫描沉积、双光束沉积和多光束沉积等模式来改善薄膜的均匀性。初步建立了脉冲激光沉积类金刚石薄膜厚度均匀性模型，并分别进行了薄膜厚度分布的模拟，在模拟过程中，强调了在不影响薄膜性能的基础上改善薄膜均匀性，并讨论了沉积模式对薄膜颗粒物问题的影响。结果表明，采用多光束沉积薄膜，厚度均匀性得到极大改善，而且颗粒物问题也得到了改善。最后提出模型改良意见。     

超短脉冲激光及其应用

介绍超短脉冲激光技术发展水平、飞秒激光技术发展趋势和超短脉冲激光应用。     

纳秒脉冲激光沉积中等离子体膨胀的动力学模型

对纳秒脉冲激光沉积薄膜过程中等离子体膨胀的特点,建立了新的动力学模型.将等离子体视为高温高压的理想气体和无黏性的流体,得到了等离子体动力学方程组,并深入探讨了脉冲激光沉积过程中等离子体羽辉膨胀的速度特征.结果表明,影响等离子体内部及边缘速度的主要因素有：等离子体的温度、粒子的质量、等离子体的电离度以及动力学源等;由于动力学源的存在,等离子体的速度在垂直于靶材表面和平行于靶材表面的两个方向上,自然会形成具有不同自相似的分布.模拟了等离子体的膨胀过程,给出了等离子体的速度随温度的演化规律,实验结果比传统理论更为吻合.该结果对脉冲激光制备可控、高质量薄膜具有重要的指导作用.     

脉冲激光高速纹影摄影系统及其应用

采用序列脉冲红宝石激光器作为光源、国产640型纹影仪作为图像及流场显示光学系统、等待型转镜高速摄影机为记录单元的脉冲激光高速纹影摄影系统,我们已经相继研制了两种型号。Ⅰ型系统用于终点弹道的穿甲过程和中间弹道的出膛过程的记录,已经取得较好的结果。Ⅱ型系统用于研究高能炸药起爆机理,拍得了弹丸撞靶前的飞行姿态及撞靶后的压缩变形直至点火爆炸过程的分幅照片,为研究工作提供了依据。本文还论述了该系统的发展。     

大面积激光自动涂敷系统及其工业应用

为解决冶金轧辊大面积激光涂敷的需要,研制了一套宽带激光自动涂敷系统,它由宽带扫描转镜和自动喷粉机组成,适用激光功率１￣１０ｋＷ,即可用于宽带涂敷,又可直接用于聚焦窄带涂敷;单道一次涂敷宽度１０￣３５ｍｍ连续可调,涂敷厚度０．２￣８ｍｍ可控;送粉量０．５￣２００ｇ／ｍｉｎ连续精密可调,送数精度〈２％,它不仅适用于普通送粉,而且也适用于特殊条件下的微量送粉和大粉量送粉,送粉材料适应性广,不仅用于一般Ｎ     

激光化学气相沉积非晶硅

本文报道了CO_2激光化学气相沉积非晶硅的实验结果,硅薄膜的沉积速率与硅烷气压、基片温度和激光光强密切有关。 利用不同方法测量了硅薄膜样品的各种特性,证实了薄膜确为非晶硅。 作者也研究了激光化学沉积非晶硅的机理,并给出了理论讨论以解释实验结果。     

准分子激光淀积氧化物薄膜

自1987年贝尔实验室首次用脉冲准分子激光制备出高温超导薄膜以来,脉冲激光淀积技术已得到了蓬勃发展,现在已成为最好的薄膜制备技术之一。本文简要介绍了准分子激光的原理、PLD的原理以及用准分子激光脉冲淀积氧化物薄膜的工艺及其所表现的诸多优势。     

准分子激光加工工艺参数优化

本文采用准分子激光加工方法,选择不同的工艺参数对Al2O3 陶瓷材料试件进行加工,通过表面轮廓仪测量表面微观形貌,并计算其表面轮廓高度均方根值Rq.采用二次多项式拟合方法分析激光加工工艺参数对表面形貌的影响,即放大器电压、激光脉冲频率、激光扫描速度等工艺参数对表面轮廓     

The Characteristics of the Surface Topography of Excimer Laser Processed Al_2O_3 Ceramic

1　IntroductionInrecentyears ,themicroelectromechanicalsystems(MEMS)havedevelopedrapidlyandbecomeaforefrontfieldinmechanicalengineering .Therearedifferencesinsize ,material ,processingtechniquebetweenthemicromachineandthetraditionalmachine .Theformerusual…     

XeCl准分子激光器泵浦电参数的优化设计

利用理论模拟方法计算XeCl准分子激光器的激光输出特性,用正交设计方法选择激光器的泵浦电源参数,通过优化分析寻找到了几种可行的最佳泵浦电源参数组合.     

稀土元素在激光合金化及激光熔覆中的应用

概述了稀土元素对金属及合金的改性．重点总结了我国目前在激光合金化和激光熔覆方面应用稀土的研究现状，稀土元素对激光合金化层和激光熔覆层的组织及一些性能的影响．     

大型机械平面度激光检测仪及精度分析

本文详细分析了激光平面度检测仪的误差来源, 从理论和实践两方充分论证了该仪器检测数据的可靠性, 并指出了仪器进一步改进的方向, 为该类仪器的设计和精度分析提供了范例。     

光电探测器的激光损伤阈值的测量及测量误差分析

探讨了光电探测器的激光损伤的判别,并对光电探测器的激光损伤阈值的测量设计了相应的实验测量方案,采用该实验方案测量光电探测器的激光损伤阈值,其准确性将大大提高,同时定性分析了激光损伤阈值测量误差产生的原因。