质子交换LiNbO3光波导路和Ti扩散LiNbO3光波导的光感应折射率变化的比较

Ti扩散LiNbO3光波导和质子交换光波导路是以各种光器件制作为基础制成的光波导路。不过，在这些光波导路中，特别是在短波长区域，发生折射率随光的入射而变化的光感应折射率变化，这是其实用化的最大障碍。本文测定了上述两个光波导路的光感应     

新型质子交换扩钛波导TM模偏振器特性分析

提出将质子交换区域做在扩钛LiNbO3光波导两侧邻近区域来获得TM模光波导偏振器的方案.用二维BPM分析计算了质子交换区域的长度、宽度等参数对器件消光比的影响,给出了数值分析结果,并得到了偏振消光比优于51dB的实验结果.     

LiNbO3质子交换光波导退火特性的研究

本文报道ＬｉＮｂＯ３质子交换波导的退火特性。用ＩＷＫＢ法计算了热退火前后的折射率分布，并采用广义高斯函数对计算出的折射率分布曲线进行了拟合，反映出该函数能准确而灵活地描述退火质子交换光波导的折射率分布及其变化。在实验中发现，高温下较长时间退火，导模消失。     

不同质子源的Z切LiNbO3质子交换平面光波导的研究

本文研究了比较了不同质子源的质子交换ＬｉＮｂＯ３光波导的特性。     

焦磷酸质子交换LiNbO3光波导制备技术研究

采用焦磷酸质子交换技术制备LiNbO3光波导,总结了交换条件、退火工艺和波导特性的实验结果,报告了表面腐蚀情况和单模条件。测量分析了退火前后波导折射率分布的变化,采用循环迭代法拟合折射率分布。结果显示退火前后的折射率分别呈近似阶梯和近似指数的分布,均可用费米函数良好地描述。     

质子交换LiNbO3波导的特性研究

本文研究了采用质子交换与退火工艺相结合所制作的LiNbn_3波导的特性。用WKB法测量了折射率分布剖面,并提出一种新的两棱镜法测量了波导损耗。结果表明:质子交换与退火工艺相结合,可使LiNbo_3波导的表面折射率降低0.0363,波导层向衬底内扩展,折射率剖面变为渐变形,同时损耗降低到0.4dB。     

退火质子交换LiNbO3光波导低损耗耦合分析

利用光束传播法分析了退火质子交换铌酸锂光波导模场参数随波导宽度、深度和表面折射率改变的变化情况,指出波导模场受这些参数的综合影响,并讨论了波导结构参数对光纤．波导耦合效率的影响。结果表明,要实现最佳耦合,不同模场直径的光纤对波导结构参数的要求是不同的,这可供相应波导器件的设计和制备参考。     

质子交换LiNbO3波导中退火的作用

本文主要对质子交换LiNbO3波导进行了研究,分析了退火对质子交换LiNbO3波导的重要性.     

硬脂酸质子交换X切LiNbO3光波导的制备技术研究

利用无毒、无腐蚀性的硬脂酸作为交换质子源,研究了在X切LiNbO3晶片上制作单模条形光波导的工艺技术。通过对平板光波导的交换及退火特性的研究,确定了获得单模条形光波导的工艺参数,制作并测试了条宽不等的X切Y传LiNbO3单模条形光波导。结果表明该工艺条件下制作的条宽为6μm的单模波导实现了小于1dB/cm的传输损耗,为采用硬脂酸作为交换质子源研制X切Y传LiNbO3集成光波导器件奠定了基础。     

质子交换铌酸锂波导的退火工艺

介绍了质子交换铌酸锂波导的制作工艺,比较分析了不同切向、不同退火温度、不同退火时间下铌酸锂波导的特性。     

硬脂酸质子交换X切LiNbO3光波导的制备技术研究

利用无毒、无腐蚀性的硬脂酸作为交换质子源, 研究了在X切LiNbO3晶片上制作单模条形光波导的工艺技术。通过对平板光波导的交换及退火特性的研究, 确定了获得单模条形光波导的工艺参数, 制作并测试了条宽不等的X切Y传LiNbO3单模条形光波导。结果表明该工艺条件下制作的条宽为6μm的单模波导实现了小于1dB/cm的传输损耗, 为采用硬脂酸作为交换质子源研制X切Y传LiNbO3集成光波导器件奠定了基础。     

缓冲质子源LiNbO3波导折射率计算及实验

为实现铌酸锂退火质子交换(APE)波导折射率分布的准确计算,选择含苯甲酸锂的苯甲酸缓冲液作为质子交换质子源,高温退火制作了波导样本.针对该工艺过程建立退火质子交换波导模型,包括非线性扩散模块和光学数值仿真模块,分别计算APE波导折射率及其模式有效折射率.以测得的样本波导模式有效折射率和计算的有效折射率差的均方根构建评价函数(FOM),结合遗传算法提取该工艺条件下质子扩散参数,实现了不同交换深度和退火时间波导折射率分布及其光学特性的一体化计算.实验表明:FOM小于0.001,计算折射率分布同IWKB方法测得结果吻合较好,最大偏差约0.002.     

金属/玻璃光纤起偏器的研制

介绍一种新的金属／玻璃单模光纤起偏器的制作工艺及其性能参数。这种光纤起偏器是在微孔光纤中注入金属而成。工作波长为1．3μm,消光比为41．3dB,插入损耗≤2．0dB。制作工艺简单．温度变化对器件的影响小,稳定性好,工作波长范围宽。     

Mach-Zehnder Type Annealed Proton Exchange Waveguide and Coplanar Waveguide Modulation Electrode LiNbO3 Intensity Modulator

The characteristics of a conventional LiNbO3 intensity modulator made up of a Mach-Zehnder （MZ） type annealed proton exchange（APE） waveguide and coplanar waveguide（CPW） modulation electrode are presented. The APE waveguide characteristics and their relations with process parameters are analyzed. At the same time, the electrical characteristics of modulation electrode, such as modulation voltage, microwave effective index associated with modulation bandwidth, characteristics impedance, are also investigated in detail.     

新的质子源质子交换制作的Z切LiNbO3光波导特性

研究了用己二酸和苯甲酸的不同混合摩尔比作为质子源交换制作的Z切LiNbO3光波导的表面折射率改变、波导深度、折射率分布等光学特性。结果表明，在交换温度为230℃，交换时间为6h时，混合摩尔比较高时，波导为β4相；较低时，为β3相。在β4相时，混合摩尔比越大，波导的表面折射率改变和波导的深度越大；在β3相时，不同的混合摩尔比交换的波导光学特性差别不明显。用双晶X射线衍射法对单苯甲酸和混合摩尔比为60％制作的光波导进行X射线衍射。以上结果对波导器件的制作及理解波导折射率改变的物理机制提供了一些有用的信息。     

铌酸锂退火质子交换光波导的有限元法分析

本文用有限元(Ｆｉｎｉｔｅ Ｅｌｅｍｅｎｔ Ｍｅｔｈｏｄｓ－ＦＥＭ)的数值计算方法分析了铌酸锂晶体中的退火质子交换(Ａｎｎｅａｌｅｄ Ｐｒｏｔｏｎ Ｅｘｃｈａｎｇｅｄ－ＡＰＥ)光波导,并给出了对应于不同退火时间的铌酸锂光波导的有限元精确数值分析结果．     

利用缓冲质子源制作LiNbO3光波导:光学特性及稳定性研究

利用缓冲质子源(苯甲酸中掺入一定量的苯甲酸锂)在Z切LiNbO3基底上制作了质子交换平面光波导，得到了不同掺杂摩尔分数(0．5％，1．0％和1．5％)的缓冲质子源质子交换波导的有效扩散系数及折射率分布。随着质子源中苯甲酸锂的摩尔含量逐渐增加，质子交换的有效扩散系数呈指数衰减，同时波导表面折射率增量线性递减。研究了有效折射率的稳定性特征，并与用纯苯甲酸制作的光波导进行了比较，发现利用缓冲质子源制作的LiNbO3光波导的稳定性明显优于纯苯甲酸制作的光波导。