分析师预计90和65纳米工艺的需求低迷

分析师表示，虽然大型硅晶圆代工厂商继续开发90和65纳米制造工艺，但市场对于这些工艺的需求似乎很小。例如，全球最大的晶圆代工厂商台积电日前透露，其第三季度销售额中只有1％基于90纳米工艺。     

半导体锗纳米团簇和纳米层的生成与结构研究

我们在硅锗合金衬底上采用氧化等制膜方式生成零维和二维的纳米结构样品，用高精度椭偏仪(HPE)、卢瑟福背散射谱仪(RBS)和高分辨率扫描透射电子显微镜(HR-STEM)测量样品的纳米结构，并采用美国威思康新州立大学开发的Rump模拟软件对卢瑟福背散射谱(RBS)中的CHANNEL谱和RANDoM谱分别进行精细结构模拟，测量并计算出纳米氧化层与锗的纳米薄膜结构分布，并且反馈控制加工过程，优化硅锗半导体材料纳米结构样品的加工条件。我们测量出样品横断面锗纳米团簇和纳米层的PL发光谱。我们在硅锗合金的氧化层表面中首次发现纳米锗量子点组成的几个纳米厚的盖帽膜结构，我们首次提出的生成硅锗纳米结构的优化加工条件的氧化时间和氧化温度匹配公式的理论模型与实验结果拟合得很好。     

纳米局域的飞秒光谱学和纳米光刻术

纳米电子学和光电子学方面的纳米物理和技术的进展与进入更小空间和时间尺度范围有关。为此需要纳米结构全新的制造方法和无损检验法。纳米物理的一个重要课题是发展能够用高的空间、时间和光谱分辨率来研究单个纳米结构、团族和分子的超快过程。因此我们讨论激光脉冲作用于扫描探针显微镜的探针 -衬底系统上的几个问题及与此有关的在纳米光学和纳米技术中的可能应用。首先讨论扫描探针显微镜的金属探针 -衬底系统中的局域等离子体振荡及其激光激发辅助问题 (参阅文献 [1,2 ]及其引用文献 )。如果针端至衬底的距离 d颇小于针的曲率半径 R,…     

德州仪器65纳米工艺将进入量产阶段

日前，德州仪器（TI）宣布其先进的65纳米工艺技术已经达标，即将投入量产。TI65纳米工艺技术可在更紧凑的空间内为各种高级应用提供更高的处理性能，同时不会导致功耗增加。TI率先在业界实现65纳米工艺技术的量产，将面向包括无线通信领域等在内的各种目标市场大量推出产品。     

进入65纳米时代,不要欢呼

当业界很多半导体芯片厂商从130纳米大举进入90纳米技术阶段时,我们时常会感到喧闹之声不绝于耳,这其实就是不久以前的事情.     

纳米芯片时代来临

目前，Intel、AMD的90nm芯片已经批量进入市场，而威盛、三星也宣布其90nm芯片研发成功，入市时间不会太久。长期以来，纳米芯片是世界少数几家芯片厂商炒作的焦点，国内芯片企业则与之无缘。近日召开的中国国际纳米科学技术会议上，国家纳米科学中心首席科学家王肇中表示，世界微电子产业已经进入纳米时代。芯片制造业是微电子领域的典型代表，而90nm芯片的生产则是纳米时代到来的标志之一。     

纳米半导体器件及其应用

本文介绍了纳米半导体器件及其应用，如纳米二极管、纳米晶体管和纳米集成电路等。     

中芯：已进口65纳米设备明年量产

当台湾半导体产业还在向当局力争开放0．18微米工艺在内地生产时，中芯国际CEO24日在上海又公布了工艺研发新计划：中芯已经进口12寸晶圆厂65纳米工艺设备，并展开研发，希望明年底前可推出65纳米工艺。     

纳米碳管及一维纳米晶体结构研究

纳米碳管及基于纳米碳管的一维纳米晶体，由于其良好的应用前景而受到广泛重视。纳米碳管的电学特性单层纳米碳管由于其不同手性角，而显示半导体或金属电性［１—３］。本文对纳米管束进行了研究。ＪＥＭ－２０１０Ｆ及ＧａｔａｎＧＩＦ系统被用于管束的手性角测定及特征...     

新加坡研制出仅50纳米大小的电晶体

据报道，新加坡科学家成功研制出只有50纳米大小的电晶体，从而使新加坡半导体研究从“微电子”时代进入“纳米电子”时代。     

纳米通信技术的核心纳米光电器件

概述了纳米技术在光电子领域的应用，并着重介绍了国内外纳米光通信用纳米光电子器件的发展现状。     

跨世纪新学科—纳米电子学

本世纪最后十年，一个崭新的学科领域－纳米科学技术诞生了，这一新领域为多科性交叉学科，包括纳米电子学、纳米材料科学、纳米生物学、纳米机械学、纳米显微学和纳米制造等。本文讨论联新颖的纳米电子学的提出、设想、内容、现状和前景。纳米科学技术的最终目标是直接操纵单个原子或分子，制造具有特定功能的产品，从而将惊人地改变着人类的生产和生活模式。     

纳米电子/纳米光电子技术

主要介绍纳米技术领域里纳米电子学/纳米光电子学的基本概念、纳米电子学的分类、纳米电子器件、纳米光电子器件、纳米电子学和纳米光电子学的发展模式以及纳米高技术群。     

电子束纳米光刻技术研究

纳米光刻技术在微电子制作中起着关键作用，而电子束光刻在纳米光刻技术制作中是最好的方法之一。我们使用VB5电子束曝光系统，经过工艺研究，现已研究出最细分辨率剥离金属条为17nm，最小剥离电极间距为10nm，最细T型栅为100nm。     

全面理解纳米科技内涵 促进纳米科技在我国的健康发展

对纳米科技的实质涵义进行了分析,并对纳米时代何时到来进行了详尽的讨论。指出尽管迈向纳米时代还有很长的路,但目前纳米科技多多少少已与市场和社会联系起来了,并已影响到我们的日常生活,所以我们要全面准备迎接挑战。     

纳米电子器件与纳米电子技术

介绍了纳米电子器件与纳米电子技术的概念以及纳米电子器件的分类;综述了现有的光刻、外延、SPM、特种精细加工等相关的纳米电子器件制备与加工技术;阐述了纳米电子技术中急需解决的若干关键问题。     

石墨表面纳米结构的截面特征分析

我们以在高定向裂解石墨表面获得的纳米结构为例，对利用电子束方法和加热氧化方法制备的纳米结构的特征进行了对比分析，并结合材料的输运性质探讨纳米结构的加工机制。     

纳米电子／纳米光电子技术

主要介绍纳米技术领域里纳米电子学／纳米光电子学的基本概念、纳米电子学的分类、纳米电子器件、纳米光电子器件、纳米电子学和纳米光电子学的发展模式以及纳米高技术群。     

纳米医学的新分支——纳米诊断学

纳米科技的发展,引发了纳米生物学、纳米医学、纳米显微学等一系列既相互联系、又相对独立的纳米科技新领域.作为纳米医学的一个新分支,纳米诊断学运用纳米科技的理论与方法,在传统诊断学的基础上,开展医学诊断学研究与实践.     

电子束纳米焊接与纳米切割

对小到1 nm大到100 nm的"纳米尺度",目前并没有成熟的原位物理加工技术.我们演示高强度电子束技术在纳米尺度上应用于原位物理加工的潜力,将高亮度场发射透射电子显微镜的电子束汇聚到直径1 nm左右,可得到强度为1096 A/cm2量级的电子束.这样的电子束可被用来在直径几十纳米的单根金属或硅纳米线上实现结构修饰,切割出小孔、窄桥及缝隙等各类纳米尺度的图案结构.强度稍弱的电子束则可被用来实现在金属纳米线之间,或者金属纳米线与硅纳米线之间的焊接,也可被用于去除纳米线表面的氧化层.这些物理加工机制涉及高能电子穿越固体时各类非弹性散射造成的加热、非晶化、溅射、等离子气化等非线性效应.作为一项无污染且作用范围非常局域化的原位技术,它可直接应用于纳米结和纳米器件的修饰与制备.