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晶圆对心转台亚微米级径跳误差补偿方法 总被引:1,自引:0,他引:1
为了消除转台径跳误差对晶圆预对准台重复性定位精度的影响,提出径跳误差的在线检测与补偿方法。转台上方并与之一起旋转的心轴作为转台径跳的检测元件,电涡流传感器测量心轴径向距离,其测量值由固定误差和径跳误差组成,借助集合平均法或者转台径跳特性,离线求解固定误差,据此在线工作时从电涡流传感器数据中分离出径跳误差。利用该误差对激光位移传感器检测的晶圆边缘数据进行径跳误差补偿,分析误差特性,据此简化补偿算法。试验证明,径跳误差补偿方法的使用提高了系统的预对准精度,并最终使系统达到了微米级的定位精度要求。 相似文献
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硅片传输机器人手臂结构优化设计方法 总被引:3,自引:0,他引:3
提出一种以硅片传输机器人末端竖直方向上由手臂静变形引起的静偏移为约束、以刚性杆柔性关节系统固有频率为优化目标、以各手臂壁厚为优化参数的硅片传输机器人手臂结构优化设计方法。建立硅片传输机器人刚性杆柔性关节动力学模型,通过系统固有频率分析以及模态分析确定对轨迹精度影响较大的模态为一阶模态与二阶模态;通过分析结构参数对一阶与二阶固有频率影响的灵敏度以及权值选择小臂与末端手臂的质量作为优化参数;建立以手臂厚度为变量、以手臂结构尺寸为约束的手臂挠度模型与末端竖直方向静偏移模型,分析手臂厚度对末端竖直方向静偏移的影响规律并对末端手臂与小臂的厚度尺寸进行优化设计;对结构优化设计前后硅片传输机器人手臂的性能进行对比分析。结果表明:该方法在大幅度降低手臂质量的同时可显著提高硅片传输机器人手臂的一阶与二阶固有频率,大幅度降低了末端竖直方向上的静态偏移及内应力,大幅提高了系统竖直方向上的振动频率。 相似文献
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针对工业机器人应用于飞机柔性化自动装配时绝对定位精度不能满足装配精度的问题,在机器人空间网格精度补偿方法的基础上,综合考虑环境温度的变化对机器人的绝对定位精度的影响,提出了基于神经网络的机器人综合精度补偿方法。为了防止神经网络在训练中陷入局部极值,采用粒子群优化方法对它的初始权值和阈值进行了优化。实验结果表明,当温度在20~30℃范围内变化时,机器人的绝对定位误差由补偿前的1~3mm,提高到补偿后的绝对定位误差最大值为0.32mm,平均值为0.194mm,精度较未补偿前有了大幅提高,可以满足飞机自动化装配的高精度的要求。
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针对工业机器人应用于飞机柔性化自动装配时绝对定位精度不能满足装配精度的问题,在机器人空间网格精度补偿方法的基础上,综合考虑环境温度的变化对机器人的绝对定位精度的影响,提出了基于神经网络的机器人综合精度补偿方法。为了防止神经网络在训练中陷入局部极值,采用粒子群优化方法对它的初始权值和阈值进行了优化。实验结果表明,当温度在20~30℃范围内变化时,机器人的绝对定位误差由补偿前的1~3mm,提高到补偿后的绝对定位误差最大值为0.32mm,平均值为0.194mm,精度较未补偿前有了大幅提高,可以满足飞机自动化装配的高精度的要求。
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为了研究新型传动机构“滚动伸缩式万向传动轴”的设计合理性 ,在对其进行结构分析的基础上 ,采用方向余弦矩阵法进行了运动特性研究 ,并对主要构件进行了受力分析。结果表明这种传动轴在传递所需运动的同时 ,会产生附加力矩 ,影响力矩的正常传递 ,使得机构磨损加剧 ,寿命降低。 相似文献
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为了适应新能源产业发展迅速及提高太阳能板生产效率,针对传统太阳能板生产效率低、自动生产技术不足,设计了一种基于PLC及气压传动技术的直角坐标式搬运机器手。首先,介绍了太阳能板生产流程,对搬运机械手的整体进行了设计,包括机械结构、电气元器件型号选择、气动回路设计、以及电气原理图设计安装。利用设计和安装完成的机械手系统进行了实验测试,测试结果表明:该码垛机械手及电气控制系统设计合理,能够实现太阳能板分拣功能,并达到实际生产要求。 相似文献
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设计、加工三自由度平动手控器,通过静力学计算以及ADAMS仿真分析,求解出任意位置平衡手控器运动部件重力所需的电动机驱动力矩,并将计算结果应用于手控器的操作过程中。试验表明,重力补偿能有效地消除手控器运动部件重力对操作者的影响,减轻疲劳感,提高了机构的可操作性与操作效率。 相似文献