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真空压力浸漆是真空压力浸渍技术应用之一.首先以浸漆罐的真空系统为例.比较了国内外的几种方案.认为利用国内产品组成的真空系统。其性能可达国外同类真空系统水平.对要求工作真空度为13.3帕.极限真空为6.65帕.抽空时间不得大于45分钟的真空系统.选择罗茨一滑阀泵和罗茨一水环泵机组.并对主泵.前级泵、抽气时间等分别进行了计算.最后从制冷剂与载冷剂选择.保温层厚度确定.冷负荷计算方面介绍了制冷系统的设计与计算.指出真空压力浸渍设备的真空系统和制冷系统的国产化是可行的。 相似文献
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一、引言所谓液氦冷凝泵,是指一种靠低温介质(液氦)将固体表面冷却到极低温度(≤4K),使沸点高于这一温度的碰撞气体被冷凝在该低温表面上,从而产生很大抽气作用的泵。其抽气机制基本上是一种物理吸附过程。从理论上讲,这种泵具有一系列显著的特色: (1)在10~(-1)~10~(-10)帕这样一个宽的压力范围内都具有较大的抽速,而且其比抽速可接近于理论值; (2)极限真空度高,可达10~(-10)帕范围; (3)抽气基本无选择性(只有氦气除外,来自金属真空系统的氦气通常也是极其稀少的), (4)实际抽气能力大,且在理论上没有限制; (5)极清洁,真空系统不会受到泵的任何污染; (6)易于并能够完全再生; 相似文献
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《真空物理学和工艺》(Vacuum Ph-ysics and Technology)一书于一九七九年在纽约出版。 这是一本颇有名望的真空专业书籍,由多位作者分章节集体编写。书的内容相当广泛:分子输送、表面物理、全压测量、分压测量、高真空的获得(前级泵、扩散泵、分子泵、喷射泵、水银扩散泵、吸附泵),超高真空的获得(基本原理、收气泵、离子泵、低温泵、涡轮分子泵),金属和玻璃真空系统,材料(金属、玻璃、陶瓷、弹性体、密封体、气体)的真空性能,真空设备的制造,保护装置,高真空系统的设计、操作和维修,可烘烤的超高真空系统和其操作上的特殊要求,检漏技巧(… 相似文献
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北京正负电子对撞机(BEPC)贮存环超高真空系统长约240米,由八个区段组成。 安装后经必要的常规氦质谱检漏和消除这些漏之后,真空度在烘烤前后分别达到10-7帕 和10-8帕。在此基础上做了如下工作。当离子泵系统存在微漏与一般漏(与系统的体 积和泵的抽速比较)时,漏入空气的成分在残气质谱图上有明显的差别。本文解释并利 用了这一现象,对系统进行高灵敏度检漏。 相似文献
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按罗茨原理工作的变容泵目前国内主要应用在两个领域:一是入口压强 760托,出口压强0.1~2公斤/厘米2做罗茨鼓风机使用;二是在入口压强为10~10-2托范围内与前级泵配合做机械增压泵使用;除此而外罗茨泵还有第三个重要的应用,即通过水封或油封,使罗茨泵直接对大气排气在入口压强为400托以上的粗真空区域工作。在这个范围内与目前广泛应用的水环泵相比罗茨泵的突出优点是能源消耗少,据法国《hibon》公司介绍用罗茨泵取代水环泵可以节电35%,我国沈阳造纸机械修造厂试制的ZBK—13型水封罗茨泵用于造纸机脱水也取得节电25%的效果。鉴于国内这方… 相似文献
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孙大明 《真空科学与技术学报》1986,(2)
本实验装置的特点是起动快,维持久,不加冷剂,抽气两三个小时即可达到1.8×16~(-6)帕的真空度。最近的实验结果,起始压力为1.33×10~(-4)帕,经十几分钟可达7.98×10~(-7)帕,在各种泵停止工作后,采用高真空阀逐级封闭,系统真空度维持在6.12×10~(-4)帕以上达5个月之久。 相似文献
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着重介绍“全无油超高真空超纯表面制备和分析设备”、“分子束外延设备”“空间材料二次电子发射测试设备”的设计和调试过程中的一些体会.其中包括全无油超高真空机组的设计和方案比较;整机的结构布局形式;真空机组的布局以及主、辅泵的匹配.较为重点的叙述了升华泵的设计.这几种全无油超高真空设备的极限压力范围为4×10~(-8)—6×10~(-8)帕;真空机组的极限压力为2×10~(-8)—3×10~(-8)帕. 相似文献
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一、前言近年来,以半导体工业为主,超高压电子显微镜,加速器,表面物理研究等许多领域越来越需要清洁的超高真空。为达到这一目的,将注意力多集中在涡轮分子泵和低温泵方面。两者的优点是均比较容易获得清洁超高真空,而缺点是都需要烘烤出气,安装方向受到限制和需要辅助泵,要获得完全无油的超高真空排气系统似乎还存在一些问题。看来,一定需要清洁超高真空的装置的抽气,目前还是使用在上述方面问题较少,而且使用简便的离子泵。离子泵存在的问题是按容积计算泵的抽速小,特别是达到高真空后真空度越高抽速下降得越显著。抽速下降是因为气体压强在10~(-6)帕以上时电离空间的电子数几乎保持不变,而到更高真空时电子数随着气体压强的下降而减少。 相似文献
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为研究磁层亚暴环境中空间材料的表面电位、表面电导、体电导、光电子发射、二次发射,以及充放电特性而研制了此真空系统.设备主泵为抽速1200 升/秒的涡轮分子泵,其前级为液氮阱-罗茨泵-直联式机械泵组成的前级机组。由大气抽到1.3帕需15分钟,涡轮分子泵启动后, 40分钟可抽到 6.5×10-4帕。 本文由四部分组成。第一部分论述了磁层亚暴环境设备对真空度的要求,以及国外同类型的各种模拟设备;第二部分给出了设备结构.真空室直径为0.5米,长约0.8米,开有太阳模拟、电子、紫外、离子等入口。筒体用6毫米厚不锈钢卷制而成。活动接口米用金属密封。真空室中样品台可工作在-100℃~十100℃范圈内,低温使用冷氮气,高温采用空气加热器。样品台要求有往复直线运动,为保障高低温下均具有气密性,采用了套管结构。前级阱用液氮冷却,液氮胆直径120毫米,高230毫米,用2毫米厚不锈钢板制造,每小时耗液氮不足2升,第三部分示出了系统运转特性曲线,以及机械泵加冷阱粗抽系统的抽气特性和谱图;最后分析了设备的结构特点。 相似文献
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传统的真空设计中,对于真空室设计,为了节约加工成本,采用易加工简单的真空室,对抽真空系统设计,经常选用极限真空较高的机械泵、罗茨泵、扩散泵组合系统,但当前从节能减排的低碳要求出发,往往是不合理的,而且用户日后在长期运行中,能耗很大,使应用真空的产品后续成本大为提高。为了创新设计,本文提出真空设计中应更注重节能减排的低碳原则的新思考。 相似文献
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为不熟悉工程实际的理科学生设计制造了玻璃制扩散泵真空系统实物模型,使其直观地了解真空获得、测量和检漏的工作原理。简述其构造及由此模型可具体理解的内容。 相似文献
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我国目前一台大型空间环境模拟设备,直径7米,高12米,容积400米~3。本文简介了超高真空系统的设计和调试情况,容器极限真空度为3.8×10~(-3)托。一、抽气系统的设计通常,大型空间环模室真空获得系统的设计可采用三种方案:早期(六十年代),采用大量的油扩散泵机组,尽量布满容器周围,如美国斯托克公司所研制的一台直径10米的环模室,用17台5万升/秒抽速的油扩散泵机组,容器极限真空为10~(-6)托。我们将此称为第一代抽气系统。第二代真空获得系统,是采用油扩散泵与20K深冷泵的组合抽气系统。由于引进有巨大抽速的深冷泵,抽气时间缩短,处理气体能力增大,极限真空达到10~(-8)托至10~(-9) 相似文献
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大口径插板阀,使用氟橡胶密封。由于氟橡胶有可凝物挥发出来,且出气率较高,会影响系统的极限真空,也可能会污染系统;因此在无油超高真空系统的设计中采用氟橡胶阀时往往很谨慎。分子束外延系统由分子筛吸附泵、升华泵(抽速7000升/秒)和三极式溅射离子泵 相似文献
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陈建中 《真空科学与技术学报》1982,(2)
本文介绍一种实验室用的、抽气时间短、简易的极高真空系统。它由一台特殊设计的玻璃冷冻钛升华泵与超高真空玻璃油扩散泵串联所组成,可在10小时内从低真空抽到10~(-13)托(使用新型的轴向式抑制规测)。文章介绍了该系统的结构特点,并分析了影响该系统极限真空的因素。 相似文献
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朱同庆 《真空科学与技术学报》1985,(2)
一、JK系列高真空抽气机组的特性一般它是由2X系列旋片真空泵作前级泵,用K系列高真空油扩散泵作主泵,并配有高真空蝶阀和低真空阀等。从这两种泵的抽气特性可看到,油扩散泵的工作压强为l0~(-4)~l0~(-6)托,最佳工作压强在5×10~(-4)~10~(-6)托;旋片真空泵的工作压强在760~10~(-2)托,最佳工作压强在760~10~(-1)托。以JK-150真空机组为例,它配的前级泵为2X-4,油扩散泵为K-150。分别绘出它们的抽气特性曲线。从特性曲线看到,JK系列真空机组 相似文献