EUV光刻用光源—激光等离子体

迄今为止,有一种观念认为,高功率激光器等于极限的研究工具,随着激光技术的发展高功率脉冲激光器正在工业中和其他研究领域作为光源利用。尤其是以钛蓝宝石激光器为代表的工作台上的T~3激光器或应用于加工、焊接等领域的半导体激励的固体激光器只要组装在市售的激光装置上,就可实现高聚光强度,简便而稳定地产生等离子体,并可以进行重复操作。另一方面,在激光热合或X射线激光领域,经长期的研究而构筑起来的激光等离子体物理还只被视为一部分研究领域,其软件转换方面的迟缓有时也产生应用领域中的新的开发方面的迟缓。尤其在应用方面最先掘起的X射线的产生是通过原子物理学和含放射传输的流体力学双方交汇在一起来决定其整体特性的,因此有必要正     

日本开发出半导体泵浦白色光纤激光源

日本住田光学玻璃公司开发了一种半导体泵浦白色光纤激光源。该光源采用440nm蓝色半导体激光器泵浦掺镨氟化铝玻璃光纤，产生522nm和635nm激光输出，与蓝色泵浦光一起合成白色光源。由于使用了半导体激光器，所以与原来利用YAG激光器等固体激光器以及He-Cd激光器等气体激光器产生的三基色光源的办法相比，具有转换效率高、耗电少、设备体积小及成本低等优点。     

国外可见光半导体激光器概况

一、可见光半导体激光器的提出 随着对半导体激光器应用研究的不断深入,要求其波长向长波和短波两方扩展,于是人们着手研究光通信光源用的InGaAsP系长波长半导体激光器和光信息处理光源用的可见光半导体激光器。在可见光半导体激光器问世以前,光信息处理,光印刷,视频唱片等的光源均采用波长为632.8nm的He—Ne气体激光器。随着红外光半导体激光器的发展,逐渐提出了用可见光半导体激光器取代可见光He-Ne气体激光器的要求,因为前者比后者具有无可比拟的优点,例如体积小,工作电压低,适于高速率调制工作,有利于集成     

SLM—700小型YAG激光加工机

该装置是用半导体激光激励的YAG激光器作为光源,能发出包括266 nm等四种波长激光,在加工中达到实用水平,它是世界上最早的正式的微细加工系统.     

光纤通信用光源亮点凸现

(上接12期) WDM用光源 用于WDM系统的波长可控光源、波长可调光源和多波长光源是目前研究的重点。对应用于WDM系统光源的要求是发光波长必须精确、稳定、可靠性高、成本低、便于集成、并有与之配套的波长监测与稳定技术。目前,已开发了多波长光源、绝对波长光源、分布反馈型激光器和超级周期结构衍射光栅分布反馈型激光器等波长可调半导体激光器以及多波长光纤环形激光器等。     

住友电工利用半导体激光器成功实现绿色激光脉冲振荡

投影仪光源等使用的红、绿、蓝三原色半导体激光器终于全部问世。住友电气工业利用半导体激光器成功实现了波长531nm的绿色激光脉冲振荡（图1）。虽然红色和蓝色的半导体激光器已经投产,但过去一直没有能够直接振荡530nm左右绿色激光的半导体激光器。大都是利用SHG结晶转换1064nm红外激光波长．只能得到532nm的绿色激光。     

日本研制出新型绿色激光投影机

作为“绿色半导体激光器”现已有用作激光指示器以及背投电视光源的产品。其工作原理是通过非线性结晶对红外半导体激光器发射的1064nm红外光进行波长转换．使其发射532nm的绿色光。当然，并非是直接从半导体激光器射出绿色光。另外，作为绿色激光器．还可以通过非线性结晶使来自YAG激光器等固体激光器的红外光发出绿色光。上述激光器都存在着发光波长限于532nm的缺点以及由于要转换波长而导致电力转换劾率低等亟待解决的问题。     

大功率半导体量子阱激光器及其应用

本文综述了量子阱应变层异质结构的大功率半导体激光器的优化特性，阐述了大功率激光器的一些重要应用，比如用８０８ｎｍ波长的大功率激光器可作为泵浦光源代替庞大的氙灯泵浦系统，还可以用作激光核反应的前级大功率激光漂；大功率半导体激光器发射的波长可以精确地控制在９８０ｎｍ，并能高效率地耗合到光纤中去，有很高的泵浦效率，从而半导体激光泵浦的光纤放大器为光通信技术的发展作了突破性贡献，大功率半导体激光器还在军工     

用于DWDM的等间隔波长的多波长激光器

介绍可用于DWDM光纤通信的等间隔波长的多波长激光源，它们是半导体锁模激光器基、超连续光源基和半导体光放大器基多波长光源。     

空间光通信用半导体激光器

自由空间激光通信技术是未来空间基础设施的关键技术之一,作为其光源的半导体激光器,有特殊的要求,主要是适合大气传输的低损耗波长窗口、超大功率、窄波束宽度,以及高数据速率。主要介绍自由空间激光通信对半导体激光器性能的要求,以及目前用于空间光通信的半导体光源的开发进展。     

半导体激光器

中国科学院长春光机所吉林省半导体激光工程技术研究中心主要从事半导体激光器的研究、开发及生产。中心的半导体激光产品主要有半导体激光单管、CS封装半导体激光列阵、半导体激光叠阵、半导体激光线阵、光纤耦合半导体激光器模块等。中心的激光产品功率高、寿命长、波长全、样式多,在国内外用户中享有良好的声誉。     

用作EDFA光泵浦的激光二极管

近几年来,用作掺铒光纤放大器(EDFA)泵浦光源的半导体激光器,获得了积极的开发和使用。1.48μm 波长大功率激光二极管已商品化,并向更高水平发展。0.98μm 的应变量子阱结构器件也处在开发中,已有部分试用样品。文中介绍1.48μm 和0.98μm 波长大功率半导体激光器的主要结构和开发现状。     

全固体化紫外激光技术

高输出功率紫外激光器在产业上主要用作超精细微加工光源而倍受关注。但市场上以往出售的高输出紫外激光器主要是准分子激光器,存在着装置大、工作效率低、使用腐蚀性气体、要更换气体、价格昂贵、维修成本高等缺点。因此,近几年市场要求开发能够解决上述问题的高输出全固体化紫外激光器。但是,几乎所有的固体激光波长都在近红外区,直接产生更短波长的激光非常困难。全固体化紫外激光器可将固体激光作为基波,通过波长转换成高次谐波生成紫外光。例如,为了从1064ｎｍ近红外光的Ｎｄ∶ＹＡＧ激光器得到紫外光,首先要产生二次谐波(波长532ｎｍ)…     

半导体激光器在激光粒度测试仪中的应用

以波长635nm,输出功率5mW的单模半导体激光器作为光源,应用于以衍射理论为基础的激光粒度仪,实现了仪器的小型化、便携式和在线测量。讨论了半导体激光器的特性,粒度测试技术中存在的问题及其解决方案,并通过对比试验论证了这一方法的优越性。     

高稳定的铷半导体激光器

激光的光测量技术能用在非接触高精度测量上,如可在固定载物台的位置、确定精密机械加工和微机械开发等领域中利用.在这些应用当中,把激光器作为干涉测长光源要求有绝对波长的保证和高频率稳定性.半导体激光器与He—Ne激光器等气体激光器相比较易于得到“高输出”,具有“小型、轻量、廉价”的特点,但是波长的稳定程度容易受环境温度和输入电流影响,产生非常不稳定工作状态.要补偿这个不稳定性,就得具有稳定的绝对波长,因此,利用原子和分子的吸收线的方法可获得高稳定波长.     

波长2.8μm的医用微型激光器

1 医用微型激光器图1展示了一种采用普通石英光纤将波长3μm左右的激光照射在任意地方的新型激光器系统.该系统将近红外半导体激光用石英光纤导光,前端部位有与激光振荡部分集成为一体的微型团体激光器,故很容易地把目标波长激光照射在人体内.要实现该激光器,需利用半导体激光激励波长3μm.左右的激光产生振荡,并且要在光纤前端安装毫米大小的固体激光器,但是这种激光器     

中国彩色激光电视关键技术取得重大突破

从吉林省科技厅获悉，我国彩色激光电视关键技术研究取得重大进展，形成了从半导体激光器到大功率激光光纤耦合模块、大功率全固态一体化激光器光源，再到激光彩色投影电视的较为完备的技术链。     

用于DWDM光纤通信的波长可调激光器

目前光纤通信系统所用的激光器都是固定波长激光器,这种激光器一旦制作好,波长便难以改变。而在密集波分复用(DWDM)系统中需要若干不同波长的激光二极管(LD)作光源,这样便需要制作若干个不同波长的固定波长激光器,不仅工艺制作困难,而且成本也增加。如能制作出在较宽波长范围内其波长可以任意调节的LD,便可采用同一结构制作出满足一系列波长要求的光源。目前,可调波长激光器已成为激光二极管研发的热点。按其波长可调激光器的工作原理可分为机械、电和热调谐,若按其结构可分为外腔型半导体激光器、电调谐半导体激光器和热调谐半导体激光器。     

高重频可调小型高功率半导体激光电源研究

为了获得高功率、高重频半导体激光脉冲,设计了一种体积小、重量轻、造价低的纳米级大功率半导体激光器驱动电源。采用改进的单稳态触发器产生窄脉冲,经放大后驱动快速开关MOSFET获得大电流窄脉冲;电源脉冲电流驱动能力0A～80A,脉冲上升时间2.8ns,下降时间3.8ns,脉冲宽度5ns～500ns范围内可调,最小5.2ns,重复频率可达200kHz。用该电源实验测试了激光波长为905nm的半导体激光器,在重复频率为10kHz时,激光脉冲峰值功率达到70W以上。结果表明,采用窄脉冲驱动MOSFET可以得到高重复频率10ns以内的大电流窄脉冲,可以驱动大功率半导体激光器,若驱动100A以上的激光器需进一步研究。     

半导体激光器的发展

1 可调谐半导体激光器的研究进展 自20世纪80年代初单模半导体激光器研制成功后，波长可调谐的半导体激光器就成为广泛研究的重要课题。通信系统的需求一直是可调谐半导体激光器研发的主要驱动力所在。在多信道相干光通信系统中，为方便接收机进行信道选择，作为本地振荡器的半导体激光器最好具有一定的波长调谐能力；此外，在窄频率间隔的多信道系统中，信道的有效分配也需要发射光源可以进行小范围的波长调谐。