基于Petri网的虚拟企业建模与调度

在分析现有虚拟企业建模及其调度方法的基础上,探讨了基于一种扩展Petri网模型的虚拟企业建模和调度方法,给出了T时延广义自控网的形式化定义和变迁规则。根据虚拟企业项目的特点,描述了基于T时延广义自控网的虚拟企业建模过程。基于所建立的虚拟企业项目模型,分别针对时间最短与费用最小两个调度目标,设计了A*算法以实现虚拟企业项目调度方案求解。实例分析验证了所提模型及调度算法的有效性。     

稳态调度下单臂组合设备时间延迟分析与优化

在半导体晶圆制造过程中,驻留时间延迟过长对晶圆质量具有消极影响.本文研究单臂组合设备稳态调度中如何合理地分配机械手等待时间,抵消驻留时间延迟的问题.首先,采用Petri网模型描述晶圆制造过程,分析了单臂组合设备稳态调度的时间特性,获得了稳态下工序驻留时间延迟计算表达式.其次,通过解构机械手等待时间对驻留时间延迟的影响机理,提出了一种机械手等待时间分配优先级规则.进一步,将虚拟瓶颈工序用于辅助分配机械手等待时间,结合优先级规则,提出了一种单臂组合设备稳态调度启发式算法.最后,通过例子验证了算法的可行性与有效性.与传统拉式策略和尽早加工策略对比,该算法能有效地减少单臂组合设备稳态调度下的驻留时间延迟并能满足晶圆制造的严格要求.     

晶圆重入加工的组合设备终止暂态的调度与分析

晶圆重入是半导体组合设备加工中典型的复杂加工工艺,分析和优化暂态加工过程对于晶圆重入加工具有重要意义.为了满足加工需求和提高组合设备的加工性能,基于稳态重入加工的双臂组合设备Petri网模型和1-晶圆周期调度策略,采用虚拟晶圆的加工模式分析了系统的终止暂态过程,讨论了系统终止暂态的加工时间分布,并给出相应的解析式进行描述.利用eM-Plant仿真平台建立了重入加工的双臂组合设备终止暂态的仿真模型,并用例子验证了1-晶圆周期调度的可行性及解析式的有效性,为研究晶圆重入加工过程的优化提供了有效方法和手段.     

具有多品种晶圆混合加工的单臂组合设备调度

为了提高晶圆制造中组合设备的生产效率,在考虑晶圆驻留时间约束条件下,研究没有共享加工模块的多品种晶圆混合加工的单臂组合设备调度问题.首先,采用面向资源的Petri网模型描述多种晶圆产品的混合加工过程,引入控制变迁避免模型的死锁,采用赋时库所和赋时变迁模拟系统资源的活动时间.其次,通过虚拟加工的方法平衡工序的负载,基于系统Petri网模型和拉式调度策略,推导出单臂组合设备在多品种晶圆混合加工情形下的可调度性判定条件,并以解析形式描述.最后,提出了系统稳态调度求解算法并以实例验证了算法的有效性和可行性.     

炼油生产调度的混合Petri网建模

文章首先分析了炼油生产调度问题,指出炼油生产调度是一个既具有连续时间特性,又具有离散事件特性的混合动态系统,针对这种特性,该文在研究了连续Petri网和混合Petri网之后,将混合Petri网用于炼油生产调度系统的建模,为解决炼油生产调度的实时性问题提供了有力工具。     

基于扩展混合Petri网的晶圆制造系统建模

提出了一种扩展的面向对象混合Petri网（EOHPN）的建模方法：针对晶圆制造系统的复杂性，在EOHPN模型中融入了面向对象的抽象机制；为了减少系统建模的复杂性，引入混合Petri网并用面向对象建模技术作了扩展。在定义EOHPN模型的基础上，作了对象模型的拓展。用实例描述了基于EOHPN的晶圆制造系统的建模过程，验证了模型在处理系统建模时的有效性。     

基于颜色Petri网的服务组合建模与验证

Web服务组合技术能快速、灵活的满足复杂多变的业务需求,Web服务组合及其形式化描述和验证已经成为Web服务中一个非常重要的研究方向.给出了一个基于颜色Petri网(CPN)的Web服务和Web服务组合的形式化定义和描述,主要描述了4种组合结构:顺序、选择、并发和循环.给出了一个颜色Petri网建模Web服务组合的实例,并且对模型进行了简单的正确性分析.分析结果表明,该建模方法满足正确性要求.     

基于扩展颜色Petri网的Web服务组合建模及应用

该文提出一个基于扩展颜色Petri网的Web服务组合描述模型,该模型在描述组合流程的控制流和数据流的同时还能描述流程中的参数、操作的语义和服务质量,能较全面地刻画Web服务组合流程;最后通过该建模方法给出一个建模实例。     

晶圆制造单元的Petri网建模和性能分析

晶圆制造是半导体制造过程中的一个重要环节,晶圆制造单元的性能直接影响晶圆制造的成本。为了有效地分析晶圆制造单元的动态性能,分别对加工设备存在瓶颈和搬运机器人存在瓶颈的两种情况,进行了赋时Petri网建模研究,建立了晶圆制造单元的赋时Petri网模型。在此基础上,进行了稳态生产率分析,同时用实例验证了模型的有效性和实用性。     

基于分层Petri网的半导体生产线建模

论文提出了一种分层Petri网模型用于半导体生产线建模。首先,总结了Petri网在半导体生产线建模中的应用,继而给出了分层Petri网的定义及其建模过程。最后以一个典型的半导体生产线为例,进行该方法的应用研究。     

基于Petri网的半导体生产线建模

总结了Petri网在半导体生产线建模中的应用,着重针对半导体生产线大规模,可重入,可靠性,混合加工方式,不确定性等特殊复杂性,对多种扩展Petri网模型进行了分析和比较,并进一步探讨了基于Petri网模型和扩展Petri网模型的半导体生产线建模方式,指出了存在的问题,并探讨了可能的研究方向。     

具有清洗工艺的单臂组合设备终止暂态调度

随着多品种小批量生产模式的普及,导致了组合设备频繁的暂态加工过程.为了提高组合设备的生产柔性,同时考虑晶圆驻留时间约束和腔室清洗时间约束,研究了单臂组合设备的终止暂态调度问题.首先,提出了 1-周期清洗工艺的暂态调度规则,并采用了面向资源的Petri网对单臂组合设备的终止暂态过程进行建模,引入避免死锁的变迁触发规则;其次,根据系统的终止暂态时间特性并考虑不同的调度情形,建立了终止暂态调度的线性规划模型;最后,通过实例验证了该方法的可行性.实验结果表明,与运用改进拉式策略的虚拟晶圆方案相比,该调度方案可有效地减少组合设备终止暂态的完工时间,并满足晶圆制造的工艺要求.     

基于Petri网的Web服务组合建模

针对Web服务组合流程进行建模,可以实现可靠的服务组合。文中首先提出了一种基于Petri网理论的Web服务组合建模方法,对服务组合进行形式化建模,然后通过分析Web服务网的可迭性和活性对Web服务组合进行验证,最后举例说明此方法的应用。     

多组合设备的调度控制研究综述

在半导体芯片制造中越来越广泛使用多组合设备.本文介绍了多组合设备的结构配置、生产运行过程、调度控制问题的一般特征条件、应该满足的约束及周期性调度策略;分析了问题的复杂性因素.从多组合设备的结构特征、运行过程特征两方面分类综述了调度问题的建模、分析方法、调度算法及存在的问题,最后指出了未来的研究方向.     

面向对象的Petri网建模技术的研究

将面向对象的概念引入到Petri网建模技术中，对网进行分类与抽象，给对象模型的消息和方法赋予新的含义，并将Petri网扩展成具有输入与输出的开放式系统，从而形成了面向对象的Petri网建模技术（简称OPNe技术）。给出的OPNet建模技术的一般方法具有较大的实际意义。     

基于Petri网的工作流建模

Petri网是计算机异步成分之间进行通信的理论基础.Petri网的应用涉及计算机学科的各个领域.文中运用Petri网工具来对工作流技术进行了详细的分析与描述,并用一个例子来说明如何使用Petri网来描述工作流的各种同步关系以及流向,最后,文章还给出了一个由功能模型、数据/信息模型、组织模型、资源模型组成的工作流复合模型.     

基于UML顺序图的Petri网建模

UEL（统一建模语言）是一种功能较强的面向对象图形建模工具，但其过程描述中缺乏严格的语义，而Petri网不仅有形象直观的图形描述还有严格的数学定义。针对一个简单运输系统的建模将二者结合起来，阐述了UML类图、顺序图的Petri网建模转换方法，避免直接进行Petri网建模过程的烦琐，使建模过程清晰可见。     

基于Petri网的分布式实时嵌入式系统调度的建模

提出了一种基于资源的时间Petri网模型,以便建模分布式实时嵌入式系统中的静态调度,分析系统性能。该模型将处理器资源和通信资源,以及相应的优先级附着到变迁上,从而建模以下的分布式实时嵌入式系统：在单处理器上采用基于固定优先级的抢先式调度,处理器之间的通信采用基于固定优先级的不可抢先式调度。最后分析了该模型的语义、性质以及状态类图的构造方法。     

基于Petri网的批处理调度研究

批处理过程存在于复杂的动态环境中,来自主客观的干扰及问题固有的易变性,会导致各种过程参数的变化,因此,需要研究对意外事件作出快速反应的动态调度方法,以捕捉生产环境的实时变化。该文针对批处理过程中最常出现的操作处理时间波动,提出了基于Petri网仿真技术的批处理过程动态调度方法。仿真结果表明,该方法能有效地改善调度性能,为批处理过程动态调度的研究提供了新思路。     

基于颜色Petri网的Web服务组合建模及应用

给出了用颜色Petri网来对Web服务及服务组合建模,在描述服务内部控制结构的同时兼顾了数据流的描述,而且还给出了模拟Web服务执行的引发规则,从静态、动态两方面描述了Web服务及服务组合,最后还给出了一个应用颜色Petri网建模的实例。