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根据MEMsic(微电子机械系统集成芯片)加速度传感器的工作原理及特点,提出把加速度传感器作为流量传感器应用于气体微流量检测中,为了验证,建立了一套实验装置用于MEMSic加速度传感器检测气体的流动变化,利用PIC单片机对数据进行采集和处理,经过具体实验验证,在不同温度下,经过一定的温度补偿,当气体流量从0到50sccm发生变化,加速度传感器是能够精确的测量出流量的变化,说明了MEMSic加速度传感器对微流量的检测具有较高的灵敏度和稳定性. 相似文献
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根据MEMSic(微电子机械系统集成芯片)加速度传感器的工作原理及特点,将其应用于气体微流量检测中。经过具体实验验证,在不同温度下,采取一定的温度补偿措施,在气体流量从0到50sccm的变化范围内,MEMSic加速度传感器能够精确地测量出变化,说明了MEMSic加速度传感器对徽流量的检测具有较高的灵敏度和稳定性。 相似文献
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为了完成所研制的MEMS气体流量传感器样品的流量测试与标定,设计制作了一种由标准流量发生器和传感器信号读出与数据采集电路组成的简易流量测试装置。标准流量发生器由注射器和可更换的砝码组成,利用不同的砝码配重,在注射器出气口产生合适的恒定气体流速。通过理论分析和Ansys有限元数值仿真,验证了简易标准流量发生器的可行性。传感器信号读出与数据采集电路基于内建多路A/D转换器的单片机实现,具有传感器加热电阻器的恒温控制、流量信号的数字检测和显示的功能。采用该简易流量测试装置对自行研制的MEMS气体流量传感器进行了流量测试与标定,获得了待测器件的标定参数、传感器流量测量的绝对误差和相对误差。 相似文献
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涡轮流量传感器在呼吸机上的应用 总被引:1,自引:0,他引:1
采用涡轮式流量传感器对呼吸机潮气量进行测量时,往往存在误差较大的问题.在介绍了呼吸机涡轮流量传感器的工作原理、结构及特点的基础上,讨论分析了涡轮流量传感器的流量特性.指出此种流量传感器由于自身结构特点从而会产生反应"滞后性".通过分析呼吸机典型流量特性曲线,提出了提高呼吸机吸入潮气量测量精度的方法,得出通过脉冲计数补偿和分段标定流量传感器容量系数的方法可以提高潮气量测量精度,并在产品研制中得到了很好的验证. 相似文献
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本文通过理论分析对金属丝在强迫热交换下,建立测量气体流量数学模型;并设计了温度补偿电路,难过实验数据对其性能作出了评价,使恒温热线式气体流量传感器,具有灵敏度高、响应速度快、测量范围宽等特点,本文测量方法可广泛应用于各种可燃气体流量的测量。 相似文献
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针对流量测量中流速分布不规则对气体流量测量精度的影响,提出了一种多传感器气体质量流量测量新方法。该方法基于均速管测量原理,在测量管道中按照对数线性法分布了4个热式气体流量传感器,采集不同特征位置的流量。通过流量标定实验,获得不同质量流量下测量管道内4个传感器的电压。然后利用GA和LS-SVM算法,将传感器电压和气体的质量流量作为训练集,建立了气体流量模型。实际测量中由4个传感器的电压计算出气体的质量流量。不规则流场的流量实验结果表明该方法是有效的。 相似文献
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汽车用热线式空气流量传感器 总被引:7,自引:1,他引:7
利用热式空气流量传感器直接测量空气质量流量的特点,设计了一种应用于测量内燃机进气系统进气量的热线式空气流量传感器。通过对传感器输出信号进行温度补偿、放大及线性化处理,其输出电压与质量流量近似呈线性关系。试验结果表明:热线式空气流量传感器应用于汽车电喷系统中,可以为发动机提供准确的进气质量流量。 相似文献
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针对目前工业现场天然气计量情况.设计基于16饽嵌入式微处理器MSP430F157为核心的罗茨流量积算仪.采用非线性校正算法实现对流量传感器非线性特征的校正,扩大流量积算仪的量程比:采用多周期测频法,提高传感器输出信号频率测量的精度;通过引入气体压缩因子,修正流量补偿计量公式.积算仪能够更精确地实时温压补偿.文中详细介绍了积算仪的硬件和软件设计方案,经测试和实际运行表明,该流量积算仪稳定可靠,测量精度高.量程比宽,具有一定的实用价值. 相似文献
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1 引言目前国内测量气体流量的手段多是采用DDZ—Ⅱ型或 DDZ—Ⅲ型电动单元组合仪表,完成具有温压补偿功能的气体流量计量。这种方法不仅成本高而且运算精度低、可靠性差。我所设计和研制的 XQB—13型气体流量计算器,由于采用了微型机技术和 相似文献
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针对目前卟啉传感器气体检测系统中采样气体流量控制的不足,提出了一种控制精度高、响应速度快、超调量小的流量控制系统。该系统利用增量式PID算法调整PWM脉冲信号的占空比,从而间接地改变直流电机两端电枢电压的大小,实现对采样气体流量的控制。流量控制精度为±1.5 cm3/min,且气体流量仅需15.6 s就能达到稳定。实验结果表明:控制采样气体流量,有助于卟啉传感器气体检测系统准确、快速地实现对目标气体的检测。 相似文献
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为了探索平板微热管的传热特性,了解微热管内不同温度区间的蒸汽传输特性,开展了热式气体微流量传感器及其检测系统的设计。设计了一种便于探索最佳温度测量点的热式微流量传感器结构,利用MEMS工艺进行加工制作,在不同环境温度下对其性能进行了测试,得到了环境温度与热式微流量传感器性能的关系。基于MSP430单片机和C#语言自主开发了流量传感器检测系统,可对一定范围内的流量进行实时检测,并实时绘制流速随时间的变化曲线。研究表明,采用本文设计的热式微流量传感器结构,可以检测高于室温环境下的微流量气体,并可通过提高加热器温度或改变测温电阻对的测量位置来提高测量灵敏度。 相似文献