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N/A 《激光与光电子学进展》1977,14(11):47
对基本全息照相机作些改进后,已制成一种多用途全息照相机,它能记录亮场全息照片(一次或两次爆光干涉全息照片),或稍作调节后能记录前向散射光全息照片。利用这一设备能拍摄小到1~3微米的粒子,其灵敏度和精度都令人满意。 相似文献
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J.Watson和P.W.Britton在1983年发表了一个技术报告,他们在实验室中把物体置于一水箱中来建立海洋中海水的扰动、温度梯度、悬浮粒子和浮游微生物的散射及吸收等因素如何影响全息照相的实验.本文与参考文献[1]的不同是:(1)为了了解水中的微粒散射对全息照相的影响问题,我们在水中加入了悬浮粒子和浮游微生物;(2)把一根橡皮管的 相似文献
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用激光双参考光两次曝光法检测机械变形 总被引:1,自引:0,他引:1
用可分离双参考光两次曝光全息干涉法叙述了测量物体变形的方向,并设计了光路系统。用两个平面反射镜将一束扩展激光束分成两束参考光和一束物光,记录物体变形下的可分离双参考光两次曝光全息干涉图,从理论上对此作了分析,给出实验结果。 相似文献
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《半导体技术》1976,(1)
用激光全息照相的方法,一次形成一个掩模的多重象以代替集成电路制版工艺中的重复步进照相的过程,这样可以保证不同掩模的精确套准,能够省略复杂的重复步进的电控和精密机械装置,而且还可以缩短生产周期,降低劳动强度。 为了发展我国的电子工业,我们对用激光全息照相来制造掩模版的工作进行了试验。经过一年多来的工作,在兄弟单位的支持下,取得了初步成果,已能具体应用于一些线条不很细的版子生产上。 用全息图产生多重象,基本上有两种光路,一种是由光点阵的严格的富里叶变换全息图利用通常的空间滤波器装置形成多重象;另一种是由光点阵的无透镜富里叶变换全息图得到多重象。后者光路简单,对镜头要求低,成象质量高,所以我们采用了后者,它的光路如图1所示。 相似文献
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第二章 粒子轨迹 本章主要讨论荷电粒子在电磁场中运动的轨迹。在电子束器件中应用最广泛的场是轴对称场。其次,近年来四级场以及多极场的应用逐渐增多。因此,我们的注意力将放在轴对称场上。同时对四极场对及我极场也给予必要的讨论。 荷电粒子这个词的含义是广泛的。在电子束器件中,可以讲毫无例外的都是利用电子构成的束。为此今后我们不再使用荷电粒子这个词,而且电子代替。迂有特殊情况,我们将说明是何种粒子。 电斗在轴对称场中的运动轨迹,在电子光学中已有详细的论述。我们这里仅从矩阵代数的角度重新加以讨论,以使和束流传输衔接起来。 相似文献
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基于干涉成像原理,提出了一种结构简单的轴向可调式共光路干涉成像系统的设计。该设计充分利用光路可逆性和分光棱镜的反射、折射特性,先通过棱镜将入射光分为两束平行光,一束照射到样品上被反射载物台反射作为物光,另一束则直接被反射作为参考光,然后利用上述棱镜使反射回的物光和参考光合束发生干涉。通过调整棱镜的分光层与光轴之间的夹角可分别实现不同类型的干涉。分别以傅里叶变换和三步相移范数法为例对实验获得的干涉条纹进行相位恢复,并通过对结果的分析评估了系统的性能,对设计用于生物细胞相位成像的可行性进行了论证。所设计的系统结构简单、操作方便、系统误差小,可为均质细胞的无损免标记形态检测提供一种简单易行的方法。 相似文献
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中国科学院安徽光机所三室全息术组 《中国激光》1978,5(4):13-16
本文报告了利用一台叶绿素d染料作Q开关的红宝石选模巨脉冲激光器为光源,以典型的全息照相光路布置,在超音速风洞和激波管风洞中进行了全息干涉测量实验,成功地拍摄了风洞的流场显示全息图.为风洞空气动力流动的干涉测量研究提供了一个新的有效方法. 相似文献
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大颗粒细水雾测量中光学系统布局的数值实验研究 总被引:8,自引:2,他引:6
本文通过计算模拟和实验研究,用三维APV系统对雾场中大粒子的特性参数进行了测量,对三维APV的光路系统进行了选择设定。 相似文献
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《半导体技术》1976,(3)
用激光全息照相的方法,一次形成一个掩模的多重象以代替集成电路制版工艺中的重复步进照相的过程,这样可以保证不同掩模的相对精确套准,能够省略复杂的重复步进的电控和精密机械装置,而且还可以缩短生产周期,降低劳动强度。 为了发展我国的电子工业,我们在党组织的正确领导下,把教学、生产、科研结合起来,对用激光全息照相来制造掩模版的工作进行了试验。经过一年多来的工作,在学习无产阶级专政理论和反击右倾翻案风的推动下,在兄弟单位的支持下,取得了初步成果,并对一些10微米以上线条的版进行了初步的试验制作。 用全息图产生多重象,基本上有两种光路,一种是由光点阵的严格的富里叶变换全息图利用通常的空间滤波器装置形成多重象;另一种是由光点阵的无透镜富里叶变换全息图得到多重象。后者光路简单,对镜头要求低,成象质量高,所以我们采用了后者,它的光路如图1所示。 相似文献
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用Y型多模光纤束拍摄半导体激光全息图 总被引:2,自引:0,他引:2
介绍了在半导体激光全息照相中,使用一种特殊的Y型多模光纤束,以克服半导体激光相干长度小、光斑光强分布不均匀的缺点,提高了半导体一激光全息图的像质,使用这种方法,结构和光路简单、调节方便、效果良好。 相似文献
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基于空间光调制器外光路分束进行并行加工是提高超快激光加工效率的有效方法。高均匀度分束算法是实现外光路分束的关键。在实际光路中,由于光路不完全满足理论条件,经典的GS算法生成的多光束均匀度远低于理论值,不满足阵列化激光加工的要求。基于GS-GA算法的思想与图像处理技术,在程序设计中引入了实时反馈的功能,以达到提高分束均匀度的目的。并采用加载菲涅耳透镜相位的方式分离零级光,避免重建光场离轴带来的畸变。最终实现了均匀度接近94%的分束,并通过加工实验验证了高均匀度分束算法在精密加工中的应用效果。 相似文献
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董志义 《电子工业专用设备》1992,21(3):35-43
本文提出了一台高分辩率激光扫描光刻系统的对准性能数据。该系统采用了通过成像物镜进行对准的同轴对准原理(TTL),其具有多束光路、亮场和暗场照明及高低倍放大光学系统的特点。整机的总套刻精度优于0.1μm。 相似文献
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1.在普通双曝光全息干涉计量中,两次曝光之间使物体产生离面倾斜.便可实现波前纵向剪切.全息再现时,两束物光波产生的干涉场强度分布为:I(x,y)=A[1+cos((4π/λ)α(x~2+y~2)~(1/2)sinθ)](1)式中A为常数,λ为再现光波长,θ为物光波的入射角,α为物面倾斜角.物面倾斜可用一个矢量α来表示,它的大小为物面倾斜角α的大小,方向垂直物面倾斜的转轴,指向光路差增加的一边,如图1.图1中O为倾斜前的物体表面,O'为倾斜后的物体表面,(?)为物体倾斜 相似文献
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