乳胶模制球面微反镜阵列

英国南安普顿大学的科研人员将研制出一种以球面反射镜阵列构成的阵列器件.该器件包含激光器或由光学活性材料填充的微谐振腔,以金(Au)、铂(Pt)或者其他材料作反射表面.为了制造这种阵列,把含有微型乳胶球的胶体溶液铺在金膜上,在合适的条件下,微乳胶球置于密堆积的单层中.然后把一种金属电镀到球体上,在用溶剂溶解掉微型乳胶球后留下微型凹球面反射镜阵列.     

微反射镜阵列在光束整形中的应用

在激光的实际应用中,需要利用光束整形技术将激光器的输出光束调制为期望的光强分布。微机电系统的发展为光束整形提供了一种解决方案。采用微反射镜阵列,实现了激光光束的整形。基于随机化的思想提出了相应的算法,分析了算法在不同单元数目和不同噪声水平下的表现,为实际应用提供了有价值的参考依据。最后,建立了实际的光路模型,进行了光线追迹,给出单模高斯光束以及考虑噪声情况下的仿真结果。分析结果表明,使用微反射镜阵列可以有效地实现不同输入下的激光光束整形,并且具有极大的灵活性,为光束整形提供了一种新的手段。     

被动红外系统会聚装置—多边球面反射镜

简述用热释电传感器做接收器的会聚装置——多边球面反射镜设计原理与实例和制作方法。设计原理是将同一球径的球面反射镜分割成若干相同反射面积的小球面反射镜,重新排列在所需焦距的圆周上组成多边球面反射镜。     

下一代太空望远镜大面积、可独立寻址的微反射镜阵列的封装

用来替代哈勃望远镜的下一代太空望远镜 (NGST)的开发和部署是美国航空与航天局(NASA)为推进宇宙探索的一个挑战性项目。NGST上装配一个包括 0 .6～ 5 μm多目标分光计的照相机 /分光计系统。为从太空的不同区域有选择地将光线引导至分光计 ,采用可独立寻址的微电子机械反射镜阵列作为分光计的狭缝掩模。Goddard太空飞行中心的NASA小组设计了一套能够满足系统要求的集成微反射镜阵列 (MMA/CMOS)驱动器芯片。样机的芯片构造和检测结果均符合预期要求。欲构建完全基于MEMS的狭缝掩模 ,设计要求 4片大规模集成芯片以 2× 2镶嵌方式精确排列 (至少为 9cm× 9cm)。另外 ,必须在低于 4 0K温度条件下掩模才能发挥作用。上述要求对集成MEMS芯片的封装提出了严峻的挑战。本文对 2× 2掩模中的大面积MEMS芯片的粘附、调整定位以及将其与系统的其他部分互连的构想进行了讨论。用倒装技术将大面积芯片焊接到硅基板上 ,解决了由于芯片和基板之间热膨胀系数失配而产生的整体热机械应力的问题 ,利用软熔过程中焊接凸点的复原力自动对准芯片。可行性实验 (实验中利用具有二维阵列焊盘的“机械”芯片 )表明 ,可粘附芯片以产生密堆积的镶嵌模式 ,芯片间的相对倾斜角小于 0 .0 5° ,符合系统的要求。热应力模拟结果表明 ,当     

微光学电子机械系统中的微型反射镜阵列的应用前景

综述利用微加工技术制作微型反射镜阵列；简要叙述其发展历程，着重阐述其主要功能和优点。分类分析微镜阵列的基本工作方式和主要应用领域及其发展方向，并对应用前景进行分析。     

压电薄膜自适应变形微反射镜阵列研究

介绍了自适应光学系统中的一种全新的基于Pb（ZrxTi1-xO3）（PZT）薄膜的微反射镜阵列。通过控制PZT薄膜两端电压实现微镜单元的微量形变,改变反射镜局部面形,校正畸变波面的波差,改善成像质量。该方案在重掺杂Si片基底上依次制备PbTiO3（PT）、PZT,最后镀Al作为反射面,形成Si／Pr／PZT／Al的膜层结构。对制备完全的试片在数字波面干涉仪上进行了形变测试,尽管受到了薄膜热形变作用的影响,仍实现了约1．2μm的可控形变,证明该方案用做自适应变形反射镜的可行性。     

投影显示用数字微反射镜器件

数字微反射镜器件(DMD)是得克萨斯仪器公司(TI)研制的,它是一种利用硅基微电子机械系统的(MEMS)反射式空间光调制器。调制器阵列中的每个小反射镜能够单独控制,使入射光线进入或者偏离于透镜的通光口径。虽然这种技术已广泛地用于图形识别和光纤互连,然而TI确把投影显示选为这种技术的商业应用市场。1.数字化微反射镜器件工作原理和结构     

具有快速响应的MEMS同步反射镜阵列

台湾Tamkang大学和台湾国立大学的研究人员正在开发出一种能使激光打印机打印速度更快、消耗功率更低的新型微反射镜阵列。将每一个反射镜像元分割成由许多较小的反射镜构成的阵列,因而使同样面积的反射镜能耗更少。这种新器件包含一种能使反射镜保持在子像元锁相状态的机构,因此提高了它的光效率。这一研究目前只处于初期的样机研制阶段,但研究人员已经证明了这种阵列器件的同步技术的工作原理,并能制造出器件所需的各种结构。     

运用遗传算法优化共形球面天线阵列

针对共形球面天线阵列,采用遗传算法这一全局优化方法,在保持阵列孔径不变的情况下,以阵元分布位置作为优化参量,以最大相对副瓣电平为优化目标,进行稀疏优化,减少了阵元数量,降低了成本。仿真结果表明,该方法可有效地降低球形阵列的旁瓣电平。     

低旁瓣球面共形随机稀疏阵列

针对平面阵列不能实现大范围空域扫描,角度分辨率不高的缺点,对比分析了球面共形阵列的辐射优点,后采用均匀随机排列的方法对球面共形阵列进行稀疏,最终在高角度分辨率和较低成本间实现了很好的性价比折衷,有很大实际意义。     

用于X光激光实验的离轴球面反射镜线聚焦系统的研究

本文对用于Ｘ光激光实验的离轴式线聚焦光学系统作了详细的理论与实验研究。该系统已成功地用于“星光Ⅱ”激光装置的Ｘ光激光实验研究，取得了良好的结果     

用于X光激光实验的离轴球面反射镜线聚焦系统的研究

本文对用于X光激光实验的离轴式线聚焦光学系统作了详细的理论与实验研究。该系统已成功地用于“星光Ⅱ”激光装置的X光激光实验研究,取得了良好的结果。     

球面阵列的阵元分布及副瓣特性分析

天线单元数目及位置是影响阵列天线辐射特性的两个重要参数.文章针对半球面,在满足口径及最小阵元间距的约束条件下,采用了一种新的建模方法对天线单元进行球面建模.仿真结果表明:通过与传统的建模方法比较,新模型可有效的避免主波束指向变化对旁瓣特性的影响,达到了令人满意的结果.     

基于遗传算法的球面阵列旁瓣电平优化方法

针对共形球面天线阵列,采用有向天线阵元,在保持阵列孔径不变的条件下,以阵元分布位置作为优化变量,以降低最大相对旁瓣电平为优化目标,运用改进的遗传算法对阵列进行稀疏优化,仿真结果表明:该方法能够降低球形阵列的旁瓣电平,达到了减少阵元个数、降低天线系统成本的目的。     

微反射镜阵列角位置检测中的光斑串扰抑制算法

针对微反射镜阵列（MMA）微反射镜集中度高、尺寸小,在实际检测过程中相邻镜面反射光容易出现串扰的问题,提出了一种用于微反射镜阵列角位置检测的光斑串扰抑制算法。对照射到阵列中待测微反射镜及邻域微反射镜上的光强进行标定,通过求解光强矩阵方程获得每个微反射镜的角位置信息。仿真结果显示,在检测光斑尺寸大于单个微反射镜尺寸的串扰情况下,该方法的检测精度可保持10μrad以上,满足光刻机使用指标需求。所提出的检测方法可有效解决MMA检测过程中的串扰问题,对光刻机自由光瞳照明模块的角位置检测具有重要意义。     

激光束经凹球面反射镜偏转发散后光斑大小的近似计算

本文采用几何光学方法，导出了激光束经凹球面反射镜偏转发数后在垂直于入射激光束对称轴平面上的光斑大小计算公式。对焦距f满足πωo^z1/λf≥1或Z1/f-1≥1的短焦距凹球面反射镜，用本文的结果，可以估算激光束经此凹球面镜偏转发散后在垂直于入身激光束对称轴平面上的光斑位置、大小及平均功率密度。     

液晶微透镜阵列研究进展

液晶微透镜阵列是基于微透镜光子技术和液晶技术而发展起来的学科交叉研究领域。就液晶微透镜阵列的工作原理、主要设计方法及其研究进展进行了论述,并对微透镜阵列的发展趋势及尚待解决的问题进行了总结。     

电磁激励的单晶Si微反射镜光开关的设计与制作技术

介绍了电磁激励Si微反射镜偏转的光开关的结构,工作原理和制作技术。光开关单元由单晶Si反射镜板、A1弹簧、A1格子、磁性材料、夹持电极、锁挡、矩形杠杆和外磁场组成。通过控制光开关单元的箝位电压、夹持电压和外磁场,可实现独立寻址的光开关阵列。器件制作使用了表面和体微机械工艺(如电镀、体湿法腐蚀和XeF2的深反应离子腐蚀等)工艺。这种器件可实现任一反射镜偏转角的光开关,最大偏转角可达90°。这种光开关是目前极力推崇的全光网络光开关。     

用数字微反射镜器件合成体视全息图拍摄系统

本文介绍了数字微反射镜器件（DMD）的工作原理和使用DMD的合成体视动态全息图拍摄系统。本系统采用计算机图形输入和处理技术,以在DMD上分别产生的数十幅分立时间序列的物体的不同角度图像制做出有体视效果的动态全息图。     

用于改善PtSi红外焦平面阵列器件响应特性的长焦距GaAs微透镜阵列器件的制作研究

提出了一种新的曲率补偿法用于长焦距微透镜阵列的制作.扫描电子显微镜(SEM)显示微透镜阵列为表面极为平缓的方底拱形阵列,表面探针测试结果显示用曲率补偿法制作的微透镜的焦距可达到3861.70μm,而常规光刻热熔法很难制作出焦距超过200μm的相同尺寸的微透镜阵列.微透镜阵列器件与红外焦平面阵列器件在红外显微镜下对准胶合,显著改善了红外焦平面阵列器件的响应特性.