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本文介绍了采用"固体连接结构"的固态压力传感器的结构设计、性能指标、非线性及其温度补偿措施,并提供了性能测试的有关情况及其具体数据。 相似文献
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Yahoo!新推出的20条高性能网页开发规则涵盖了服务器端、cookies、页面内容、JavaScript、CSS、图片、移动手机应用这七大类别。 相似文献
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本文介绍的高性能多晶硅压力传感器,以重掺杂的LPCVD多晶硅薄膜作应变敏感电阻,用二氧化硅层隔离单晶硅衬底,使其工作温度高达200℃以上,若用恒流源供应惠斯登电桥,即使在没有外电路补偿情况下,灵敏度系数(TDS)也仅1.32×10~(-6)FS/℃,可实现近乎理想的灵敏度温度补偿. 相似文献
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五七四厂与黑龙江省电子技术研究所合作,经过一年多的努力,共同研制组装了直径为φ3mm的微型固态压力传感器,并干1981年12月经厂技术委员会通过了设计定型。为考验本传感器结构对振动、冲击的承受能力,根据三机部部标《HB6-71-76飞机电机 相似文献
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本文论及到一种新的高温超小型压力传感器的设计和研制,特别是其中的固态工艺可把这种传感器的使用温度范围扩展到P-N结以上。本文还对P-N结的基本温度范围及其它先进的隔离工艺进行了评论。下面将详细讨论三种不同的工艺方法。1.用不透明的低温焊料玻璃来实现半导体敏感元件与金属传感器组件之间的粘接。2.用静电封装技术来实现半导体敏感元件与传感器的玻璃组件之间的封接。3.用外延淀积法制造集成隔离固态敏感元件。用以上三种技术使传感器的使用温度达到或超过600°F(315.5℃) 文章对以上三种技术的优缺点进行了讨论并指出工艺技术与设计之间的关系。 相似文献
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1 固态图象传感器固态图象传感器按其结构可分为两大类:MOS型和CCD型图象传感器.前者由金属氧化物半导体器件构成,后者由电荷耦合器件构成.MOS型图象传感器质量很高,可用单极低压电源驱动.外围电路不复杂是其突出的优点.CCD型图象传感器噪声低,在很暗的环境条件下性能仍旧良好.当前市面上较好的摄象机包含了MOS和CCD两种图象传感器,因而具备良好的整机性能. 相似文献
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研究了通过烧结曲线优化来实现无排气孔结构的高性能低温共烧陶瓷( LTCC)无源高温压力传感器的制备。通过对比实验,成功摸索出了无排气孔结构的传感器烧结温度曲线。相比于传统LTCC压力传感器,该无排气孔结构的传感器由于无需玻璃浆料封口,避免了由于两种材料高温下热膨胀系数不匹配导致的传感器密封失效问题,确保了传感器在高温下工作的可靠性。测试结果表明:在2.0 bar,400℃以内,所制备的LTCC高温压力传感器具有极好的灵敏度和线性度,最大平均灵敏度为1.96 MHz/bar,最大非线性误差为4.52%,优于之前国内外研究水平。 相似文献
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<正> 众所周知,量测土压力是比较困难的,因为土介质和结构物材料的变形特性是变化的,所以要求土压力传惑器与土介质或结构材料的变形特性达到完全匹配是不可能的。一个设计得好的土压力传感器,就是在不完全匹配的情况下,使传感器在量测时的工作特性按一定的规律变化,所产生的误差是可知的。一、设计土压力传感器的理论依据 几十年来,国内外对土压力传感器进行了大量的理论和实验研究,如美国的泰 相似文献
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<正> 早期在汽车速度、发动机转速测试中多采用磁电式传感器,它测量高速时性能较好,但输出的幅值随转速变化,输出的零交点也随转速而变化,所以目前国内外都采用光电式、霍尔元件、接近开关等先进器件来检测速度、转速等物理量。又因光电式传感器有不受外界电磁波干扰、尺 相似文献
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本文介绍了固态压阻压力传感器的敏感芯片、工艺制作、装配结构设计思想和主要技术性能,并对这类压力传感器的应用作了简要说明。 相似文献
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<正> 一、概述力敏传感器是对力形态信息敏感的传感器。最早出现力敏元件之一是金属电阻应变片。由于应变灵敏系数小,存在蠕度滞后,而且要粘贴在试件上等问题,它的应用受到了一定限制。自从1954年发现半导体压 相似文献
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《传感器与微系统》1984,(4)
。40001展望用于流最检测仪表中传感器 工业自动化仪表文摘84年6期1页84。。02未来的传感器技术 航空测试技术84年2期9页840003传感器的发展动向 仪器与未来84年5期pg一10.840004气敏半导体场效应传感器 半导体文摘8续年4期40页840005气体和液体的差压传感器 工业自动化仪表文摘84年6期22页640006用电磁传感器测且流纽一一电磁 流量计 工业自动化仪表文摘84年6期22页84。。。7可调整薄膜张线式传感器一一有 可作各种调整的电阻元件,它们 有选择地与形变监测电阻串联连 接。 工业自动化仪表文摘84年6期35页84。。。感过程装置位移传感器一一… 相似文献
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汽车是传感器重要应用领域,其技术已日臻完善。本刊从这期起将连续六次请西安公路学院系统介绍汽车用传感器,以促其研制与推广。 相似文献