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本文着重讨论激光修调厚膜电阻时,激光机的输出功率、Q-开关速率、光斑直径、尖刻尺寸以及所选择的修调图形对厚膜电阻的影响。 相似文献
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研究用溅射法制作CrSi电阻中,工艺技术与工艺参数间的相互关系,给出了高方阻,低温度系数CrSi薄膜电阻制备的方法,及其工艺条件的确定。 相似文献
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CrSi薄膜电阻退火条件的优化 总被引:3,自引:1,他引:2
针对CrSi薄膜电阻稳定性,对CrSi薄膜电阻阻值变化的机理进行分析;通过开展退火条件对CrSi薄膜电阻稳定性的影响实验,获得优化的退火条件,将CrSi薄膜电阻的温度系数从原来的100 ppm降到20~50 ppm,大大提高了电阻网络的稳定性. 相似文献
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微电子线路的被动或主动元件的激光修调技术,经过二十多年的实践已经发展成一项成熟技术了。在生产精确的混合信号、线性和被动网络方面,该项技术已成为必要工序。由于市场要求器件的尺寸更小、性能更高,因此在大多数情况下必须用激光来精确修调电路。同时,被修调的元件尺寸越来越小,公差越来越严格,也推动了激光修调技术走向更高水平。传统的1m激光波长产生的光斑尺寸及其热影响区域(HAZ),可能不够小,不足以维持电阻的稳定性,也难以使阻值温度系数(TCR)的漂移和改变降到最小。
本文研究了用更短波长的激光进行电阻修调,并将结果与传统的1m波长的修调技术作了比较。 相似文献
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采用先进的激光工艺,对硅上集成电路进行修调(trimming)时,不需要物理接触,可以大大减少电路上pad的数目;同时,激光修调工艺可以实现对电路中的薄膜电阻阻值高精密的调整,等等,半导体集成电路制造商可以大大提高产品的成品率、实现更多以及更高精度的电路功能、获得更高的利润回馈。现在,全球超过70%的模拟电路半导体公司正在采用基于激光的修调工艺(trimming)和融丝(link-blowing)工艺,来提高集成电路的性能和缩短新产品的上市周期,以获得更高的利润空间。全球有超过700台GSI集团公司的硅上集成电路激光修调系统(如图1)在运转。首先,通过… 相似文献
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在激光修调过程中,激光的修调路径和控制策略是影响修调精度和修调速度的关键因素,而常规激光修调方案难以同时满足高精度和快速修调。因此,提出了一种高精度快速激光修调方案,使用“离散+连续”结构的金属薄膜电阻图形提高修调效率和可靠性;利用阶梯形的激光修调路径提升修调精度;采用动态测试步长的控制策略提高修调速度。采用上述方案对60个金属薄膜电阻样品进行激光修调,结果表明:修调精度可达0.004%,平均测试步长为2.53,验证了所提出的修调方案可有效提升修调精度和修调速度。进一步将该方案应用在200个温度传感器芯片的校准中,结果表明200个温度传感器芯片的测温误差均校准至±0.2℃以内,平均测试步长为6.29。 相似文献
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详细介绍了激光微调厚薄膜电阻的基理、激光调阻系统的构成、激光器选择、光束定位扫描系统及实时检测原理,并给出了调阻过程中各种相关参数。 相似文献
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薄膜混合集成电路中,高方阻、高稳定、低TCR、高命中率的薄膜电阻网络制备是一大难题。本文介绍使用直流磁控反应溅射工艺攻克该难题的方法,即通过对影响电阻结构的多种工艺要素(反应气体成分、比例,磁场强度,热处理温度等)的实验归纳,寻找出制作高方阻CrSi电阻的最佳工艺条件。 相似文献
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片式电阻激光微调过程中的调阻精度控制 总被引:5,自引:1,他引:5
提出了一种基于激光刻蚀路径的修调电阻精度控制方法。该方法通过动态确定L型调阻图形的横、纵向切割长度实现对调阻精度的控制。存保证阻值测量精度的条件下,应用该法在0.1Ω~100MΩ的薄膜电阻阻值进行修调,调阻精度可达到1%。 相似文献
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为了获得一种用于自动激光调阻机中的激光打标系统,选用VB程序设计语言并采用API函数从TureType字库中提取字符信息,将字符信息保存为激光调阻机可读取的文件,以激光划线和激光扫描打点的方式打印空心字和实心字,并将激光打印程序指令化。结果表明使用API函数可以方便地提取字符信息和进行各种字符格式的变换,该系统已经运用到自动激光调阻机中。 相似文献
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This paper reports the effect of varying laser trimming process parameters on the electrical performance of a novel CuAlMo thin-film resistor material. The films were prepared on Al2O3 substrates by direct-current (DC) magnetron sputtering, before being laser trimmed to target resistance value. The effect of varying key laser parameters of power, Q-rate, and bite size on the resistor stability and tolerance accuracy were systematically investigated. By reducing laser power and bite size and balancing this with Q-rate setting, significant improvements in resistor stability and resistor tolerance accuracies of less than ±0.5% were achieved. 相似文献
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本文提出了激光功能微调技术在高精度混合集成电路上的应用,讨论了关键技术问题,并以实例具体说明。该技术的应用为研制高精度混合集成电路开辟了新途径。 相似文献