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微电子制造技术的高速发展使微机电系统MEMS的应用迅速普及。本文以CPS120为例介绍数字压力传感器的应用,CPS120是电容式MEMS绝对压力传感器,在紧凑的封装中提供高精度气压测量功能,它同时还集成了温度传感器,适用于各种对成本敏感的消费电子产品和工业控制应用。 相似文献
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微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)是一种基于半导体技术,以硅作为主要材料,集成了微机电元件和微电子信息处理系统的微型器件。这种器件通常是在硅晶片上制造的,采用半导体加工技术,通过光刻和刻蚀等工艺在半导体材料上制造微型机械结构,如微桥和悬臂梁,并将它们与电路相融合,形成一个可以采集信号的装置。硅的机械性能良好,可以作为微型机械的结构材料,而且与传统的集成电路制造工艺兼容。文章主要探讨了MEMS传感器的发展及其在医疗领域中的应用。首先,介绍了MEMS传感器的定义和发展历程,举例说明其工作原理、主要类型以及发展趋势;然后,重点讨论了MEMS压力传感器在医疗诊断、临床治疗和健康监测中的应用;最后,对MEMS传感器面临的主要挑战和发展机遇进行总结,并对其在医疗领域的应用前景进行展望。 相似文献
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金属半导体异质混合结构是一种特殊的压阻结构,其具有高于传统MEMS压阻式压力传感器的压阻性能.鉴于此,设计和研究了一种由掺杂单晶硅和金属铝混合形成的MEMS异质结构压力传感器.首先结合理论模型和ANSYS有限元模拟仿真分析了硅铝异质结构传感器的灵敏度特性,然后通过MEMS工艺制作了硅铝异质结构压力传感器芯片,并对其进行了封装与测试.实验结果表明,硅铝异质结构压力传感器的灵敏度可达到0.1168 mV/(V·kPa),而利用参考结构能够明显减小环境温度对其性能的影响.在此基础之上,本文采用基于遗传算法改进的小波神经网络对传感器的温度漂移和非线性误差进行了补偿,补偿后硅铝异质结构压力传感器的测量误差小于±1.5%FS. 相似文献
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提出了一种新的压力传感器的设计,该传感器基于Fabry-Perot腔干涉和波长解调理论测量压力.设计用MEMS技术以及普通的光通讯接插件制作出工艺简单,分辨率高的光纤MEMS压力传感器.阐述了传感器的工作原理,分析了硅膜的厚度对传感器性能的影响以及FP腔的长度对反射光信号的影响.系统采用可调谐激光器进行信号访问,利用反射谱的相位变化完成信号解调.理论分析和模拟计算验证了传感器加工制作方案的可行性. 相似文献
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弹丸的膛内运动参数可以反映火炮工作状态特性,针对常规火炮弹丸内弹道运动测速需求,设计了基于MEMS加速度传感器和姿态传感器的膛内惯性测速系统;采用Kalman滤波和四元数姿态解算算法对传感器数据进行FPGA片上处理,实现了从弹丸挤进到出膛运动过程的时间记录,成功获取弹丸内弹道运动过程中加速度、速度和位移变化;实验结果表明,相对激光区截测速方法,该系统出膛速率测量误差小于2.93%;相对火炮身管原参数,出膛位移测量误差小于1.85%,为内弹道过程弹丸运动参数测量获取提供了技术支持,对火炮系统设计评估具有重要意义。 相似文献
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N. K. S. Lee R. S. Goonetilleke Y. S. Cheung Geommi M. Y. So 《Microsystem Technologies》2001,7(2):55-62
The use of pressure sensors made of conductive polymers is common in biomechanical applications. Unfortunately, hysteresis,
nonlinearity, non-repeatability and creep have a significant effect on the pressure readings when such conductive polymers
are used. The objective of this paper is to explore the potential of a new flexible encapsulated micro electromechanical system
(MEMS) pressure sensor system as an alternative for human interface pressure measurement. A prototype has been designed, fabricated,
and characterized. Testing has shown that the proposed packaging approach shows very little degradation in the performance
characteristics of the original MEMS pressure sensor. The much-needed characteristics of repeatability, linearity, low hysteresis,
temperature independency are preserved. Thus the flexible encapsulated MEMS pressure sensor system is very promising and shows
superiority over the commercially available conductive polymer film sensors for pressure measurement in biomechanical applications.
Received: 1 December 1999/Accepted: 17 August 2000 相似文献