平晶检定时干涉条纹的快速调整方法与平面度计算

在平面等厚干涉仪上检定平晶工作面平面度时,需要在被检区域调整出3到5条干涉条纹,依据测量原理和计算公式求出被检平晶工作面的平面度.文章重点分析干涉条纹的快速调整方法与标准平晶平面度的正确引用方法.     

平面等厚干涉仪校准方法探讨

本文作者提出了JJF 1100-2003平面等厚干涉仪校准规范中仪器示值误差计算公式存在的问题,并就其结构分类、校准方法和环境条件等作了进一步探讨。     

一级平面等厚干涉仪示值误差的测量不确定度分析

本文介绍了一级平面等厚干涉仪示值误差的测量不确定度分析。     

等倾与相移两种干涉仪的平面度绝对测量比对

采用三平面互检测量方法,分别在等倾干涉仪和相移干涉仪上对平晶平面度进行了绝对测量比对。针对两种干涉仪不同的测量原理,提出了一种规范方法以从相移干涉仪数十万点阵测量数据中,提取符合等倾干涉仪测量数据格式的结果;对比等倾干涉仪的结构与环境控制方法,研究了相移干涉仪进行平面度绝对检验过程中的温度、温度梯度、温度分层情况,采取双重保温措施下达到了0.002μm的测量重复性,和0.01μm的绝对检验测量不确定度。与等倾干涉仪的检定结果的差异小于0.01μm,证明了相移干涉仪用于平晶的平面度检定工作可行性。     

接触式干涉仪的数字化改造

为解决接触式干涉仪使用过程中对线不准、人工读数误差大等问题,采用图像采集与处理技术对其进行数字化升级改造。使用工业相机,将实时采集的干涉条纹图像传输至计算机,同时基于灰度投影法,实现自动定度与零级干涉条纹中心的定位,根据零级干涉条纹中心的偏移量,计算被测量块与标准量块的差值,并将相关测量信息自动存储至数据库。实验表明：改造后的接触式干涉仪性能稳定可靠,能准确计量检校三等及以下的量块长度。     

平晶平面度综合测量方法探讨

在JJG28-2000平晶检定规程中,对平晶有效直径d范围内的平面度和(2/3)d范围内的平面度均有规定的要求.本文将对此问题进行分析,最后给出了符合现行规程要求的新测量方法,补充了计算公式.     

自适应系统在单频激光干涉仪上的应用研究

通过对单频激光干涉仪焦平面上等倾干涉条纹的能量分析和环境因素带来的随机噪声分析,研制一种自适应系统。该系统采用了四阶累积量计算法、信号滤波和信号直流分量提取算法。实验结果表明,可有效处理噪声信号,提取信号直流分量,从而提高直流分量跟踪精度。将该系统安装在单频激光干涉仪上,在非实验室环境条件下其线性测长准确度可达0.9×10^-6 L,测量重复性为0.09 μm。     

工作平晶平面度测量不确定度评定

本文对JJG2 8-2 0 0 0《平晶》中以等厚干涉法检定工作平晶 (D3 0mm～ 10 0mm)平面度的方法进行了分析、评定 ,得出了平面度的测量结果不确定度。     

用"牛眼"型麦克尔逊干涉仪测量入射激光

设计了一种新型的麦克尔逊干涉仪,因其干涉图状如牛眼,故称为“牛眼”型麦克尔逊干涉仪。它以两个球面反射镜代替了原有的平面反射镜,使得干涉加强,干涉图更清晰,同时省去了成像透镜,使系统体积紧凑,便于调节。应用这种仪器探测入射激光,对采集的干涉图进行条纹提取和细化后,可推算出入射激光的波长和入射角。实验对632.8nm和532nm的入射激光进行了测量,波长测量的相对误差分别为5.72%和3.91%。     

双频激光干涉仪的程控倍频计数器设计

在介绍双频激光干涉仪工作原理的基础上,给出程控倍频计数器系统总体设计图,详细论述了基于NE564程控倍频模块和双通道缓冲连续计数模块的硬件设计,实现了按键控制对输入信号进行2、4、8、16四种倍频处理,并对输入信号连续计数,硬件求出频差,通过单片机计算将最终测量结果显示到液晶屏上。最后用实验验证程控倍频计数器特性。     

接触式干涉仪干涉条纹变级的原因与消除方法

根据接触式干涉仪光波干涉原理,阐述了干涉条纹变级的原因及消除方法。对实际测量操作者有一定的参考价值。     

基于相移干涉仪的平面度测量软件设计

以相移干涉法测出的点阵波面数据为基础,设计了计量用平面度测试软件Flat Ex,包括标准平晶的绝对检验、研磨面平尺的斜入射测量和子孔径拼接及三个功能算法模块。通过与等倾干涉仪检定过程的比较,从理论上说明从密集点阵数据中提取稀疏点数据的合理方法,以符合规程的要求或约定俗成的做法。程序已经用于处理Matro Pro和Phase One等多种相移干涉仪数据,提取出符合要求的平面度结果。在相移干涉仪与等倾干涉仪检定结果进行比对实验中,表现出良好的一致性。     

平晶表面形状加压分析判断法的原理与应用探讨

平晶表面形状的判断对于平晶平面度的计算非常重要，错误的判断将会直接导致计算错误。该文通过对加压分析判断法原理的介绍，讨论在实际检定工作中的注意事项。灵活掌握该方法不仅对于平晶检定工作，而且在使用平晶测量量具或工件表面平面度时都非常重要。     

用改进的迈克耳孙干涉仪测量杨氏模量

提出用改进的迈克耳孙干涉仪,用调零光程差的方法测量金属的杨氏弹性模量,通过对碳钢丝杨氏弹性模量的实际测量,验证了该测量方法的可行性。     

等厚干涉数字处理系统研究与测量

将CCD和计算机图像处理技术融入到等厚干涉仪测量系统中,实现测量过程自动化,数据处理微机化,降低劳动强度,提高测量效率和测量准确定。     

基于不同光路仪器的平晶表面形状判断方法探讨

讨论了在不同光路的仪器上,平晶表面形状的判断方法.具体分析了加压分析判断法的应用技巧,了解其原理,灵活运用;说明了阶跃温升法的通用性,介绍了该方法对于一级平晶表面形状判断的优势;介绍了试测分析判断法的参考价值,说明其适用范围.     

一种检测平晶和透镜面形的方法

介绍了数字式激光平面干涉仪的测量优势,阐述了利用其进行平面和球面面形的测量方法,弥补了传统平面等厚干涉仪只能测量平面平晶的不足。同时分析了影响测量结果的几个因素,并利用ZEMAX软件模拟平晶位置,观察干涉条纹。     

基于数字波面干涉的平面度测试方法

本文介绍了一种基于数字波面干涉的平面度测试方法,该方法基于菲索干涉仪结构,通过数字CCD采集单帧干涉图像,运用zernike函数基于单帧图像拟合被测平面三维面型,以PV值综合评价整体平面度,区别于传统的等厚干涉仪与移相干涉测试方法。经验证此方法正确可行,测试数据准确可靠。