金刚石丸片与固结磨料抛光垫研磨硅片的比较研究

采用金刚石丸片和固结磨料抛光垫两种方式研磨加工硅片,以硅片的材料去除率(MRR)和表面粗糙度(Sa)为指标对金刚石丸片和固结磨料抛光垫的研磨性能进行了评价.结果表明:固结磨料抛光垫研磨硅片的材料去除率高于金刚石丸片;研磨后硅片的表面粗糙度也优于金刚石丸片,且表面粗糙度(Sa)在中部和边缘相差不大.最后分析了研磨硅片的产物-磨屑的形状特征,得出固结磨料抛光垫研磨硅片时的塑性去除量远高于金刚石丸片.     

二氧化硅磨料粒径分布对蓝宝石化学机械抛光的影响

针对蓝宝石晶圆化学机械抛光(CMP)高去除速率和高抛光质量的要求,对比了分别采用单一粒径、连续粒径和混合粒径的SiO2磨料对蓝宝石晶圆的抛光效果.结果表明,将粒径为120 nm的40％(质量分数)硅溶胶与粒径为30 nm的20％(质量分数)硅溶胶按体积比8:2混合作为磨料对蓝宝石晶圆进行CMP时,去除速率最高,抛光后蓝宝石晶圆的表面粗糙度(Ra)低至0.158 nm,无明显的划痕、划伤等缺陷.     

研磨液对440c不锈钢磁力研磨效果的影响

分别以46#机械油和煤油对440c不锈钢表面进行磁力研磨。通过正交试验对研磨加工的工艺参数进行优化,从表面粗糙度、基体质量损耗、三维表面形貌等方面对比研究了上述2种研磨液对不锈钢表面光整效果的影响。结果表明,以机械油为研磨液时的光整效果更好,磁力研磨的最佳工艺条件为:主轴转速2 500 r/min,加工间隙1.8 mm,进给速率60 mm/min,磨料填充量2.0 g。在最佳工艺条件下研磨后,工件的表面粗糙度由0.381μm降至0.032μm,大量毛刺和划痕得以去除,镜面效果良好。     

不同粒径SiO2磨料混合对钴化学机械抛光的影响

针对钴互连化学机械抛光(CMP)高去除速率的要求,提出将不同粒径的 Si O₂ 组合作为磨料进行 CMP。对比了使用单一粒径与混合粒径 Si O₂ 磨料对钴去除速率的影响。结果表明,使用单一粒径磨料时,随着磨料粒径由 40 nm 增大到 130 nm,钴的去除速率先增大后减小,Si O₂ 粒径为 100 nm 时钴的去除速率最高,达到了 447 nm/min。将两种不同粒径的 Si O₂ 磨料混合使用能够显著提高钴的去除速率。将粒径为 40 nm 和 100 nm 的 Si O₂ 磨料按质量比 3∶1 混合使用时,钴的去除速率最高,达到了563 nm/min,抛光后钴的表面粗糙度(Sq)约为 1.05 nm。     

磁力研磨对440c不锈钢表面形貌的影响

基于磁力研磨,采用雾化快凝法制备的Al2O3系球形磁性磨料,选取440c不锈钢进行光整加工。采用正交试验设计,选用不同粒度磨料对工件进行磁力研磨,并得出优化加工参数。试验结果表明,优化参数为主轴转速2500 r/min、加工间隙1.5 mm、进给速度60 mm/min、磨料填充量2.0 g。440c不锈钢工件微观表面形貌和微观纹理得到改善,表面粗糙度由0.450μm下降到0.043μm,达到镜面效果。表明磁力研磨对440c不锈钢有良好的光整加工效果,其疲劳强度和耐腐蚀性得到不同程度的提高。     

磨料粒径对铝栅CMP去除速率和粗糙度的影响

在铝栅化学机械平坦化(CMP)中磨料直接影响去除速率和表面粗糙度。采用不同粒径的磨料配置抛光液对铝栅进行CMP实验,对去除速率和表面形貌测试结果进行分析。结果表明,去除速率与参与抛光的磨料颗粒数目和单个颗粒去除速率有关,表面粗糙度与单个磨料颗粒机械作用和抛光后磨料颗粒表面吸附有关,并对抛光液稳定性进行了研究。最终选用粒径70 nm,质量分数为5%的磨料,去除速率可达到181 nm/min,表面粗糙度为9.1 nm,对今后铝栅CMP的研究提供了参考。     

不同粒径纳米二氧化硅磨料对蓝宝石CMP去除机制的影响

采用不同粒径的纳米二氧化硅磨料对蓝宝石晶圆进行化学机械抛光(CMP).结合实验与量子化学参数的仿真计算,研究了磨料粒径对抛光后蓝宝石晶圆表面性能的影响及其材料去除机制.结果表明:在CMP过程中,纳米二氧化硅磨料与晶圆表面发生了主要基于磨粒表面羟基官能团与加工材料表面之间强相互作用的固相反应.提出了磨粒粒径影响固相反应强...     

不同粒径磨料对蓝宝石晶片及其抛光过程的影响EI北大核心CSCD

采用不同粒径的W28和W7碳化硼（B4C）磨料对蓝宝石晶片进行研磨和化学机械抛光。研究了不同粒径的B4C磨料对蓝宝石晶片研磨和化学机械抛光后的移除率、粗糙度、平坦度、弯曲度、翘曲度等参数的影响。结果表明：W28和W7的磨料有不同的研磨和抛光性能,在相同的加工条件下,使用W28的B4C磨料,移除速率较快,但研磨所得蓝宝石晶片的损伤层较深,单面抛光20μm不足以去除其损伤层,抛光后表面划痕较多,粗糙度较大（Ra=1.319 nm,Rt=2.584 nm）,表面有明显起伏;而W7磨料的移除速率慢,研磨时间长,在单面抛光移除20μm后其损伤层全部移除,抛光所得蓝宝石晶片平坦度略佳,抛光表面平整,粗糙度较小（Ra=0.194 nm,Rt=0.361 nm）,无明显起伏,表面质量相对较高,适于精修平坦度。     

石灰石粉含量和粒径对水泥水化热的影响

为研究石灰石粉(以下简称石粉)参数对水泥水化热的影响,利用TAM Air-八通道微量热仪探究不同石粉含量和粒径对水泥水化放热量以及水化放热速率的影响。研究表明,随着石粉含量的增加,辅助胶凝材料的水化放热量和水化放热速率总体上呈降低的趋势。其中当石粉含量为15%(质量分数)时,石粉粒径为400目时放热量为223.22 J/g,水化峰值速率为2.399 2 mW/g,石粉粒径为3 000目时放热量为215.98 J/g,水化峰值速率为2.214 0 mW/g,其放热量和水化峰值速率降低的趋势最明显。同时,当石粉掺量较大时,石粉粒径对水化反应的影响更加明显,粒径过小或者过大都会提高水化放热量和水化放热速率。当石粉粒径为1 250目时水化放热量较小且水化放热速率较低。通过物相分析发现,石粉的加入不会使体系产生新物质,当石粉含量为15%(质量分数)、粒径为1 250目时,Ca(OH)₂衍射峰强度最高并伴随着大量C-S-H的生成,说明了该组石粉能够更大程度地促进水泥水化,使反应更充分。     

内相粒径对现场混装乳化炸药热感度的影响

为研究内相粒径对现场混装乳化炸药热感度的影响,制备了5种含不同粒径的现场混装乳化炸药基质,使用光学电子显微镜和激光粒度仪对不同转速下制备的现场混装乳化炸药基质试样的微观结构和粒径进行了观察和测试,使用爆发点测定仪测试各组炸药试样的爆发点并计算其活化能。结果表明,随着现场混装乳化炸药试样的内相粒径由13.13μm减小至3.97μm,其5s延滞期由9.96s降至3.13s,爆发点温度降低35.13K,反应活化能降低29.00kJ/mol;炸药爆炸所需外界激发能量随内相粒径降低而降低,热感度上升,热安定性下降,在实际生产中应合理控制炸药内相粒径大小,以确保其安全生产和稳定使用、满足其爆炸性能和安定性的平衡关系。     

内相粒径对现场混装乳化炸药爆炸性能的影响

通过光学显微镜、激光粒度仪、测时仪法和铅柱压缩法测试了不同转速制备的现场混装乳化炸药样品的微观结构、内相粒径分布、爆速和猛度,采用理论计算与实验测试相结合的方法,研究内相粒径对现场混装乳化炸药爆炸性能的影响。结果表明,对于相同敏化剂含量的现场混装乳化炸药,其密度、爆速和猛度均随着炸药样品内相粒径的增大而减小;在炸药内相粒径由14.01μm减至4.99μm且敏化剂质量分数由0.9%减至0.3%的过程中,爆速由3450m/s增至3981m/s,最大爆速为最小爆速的1.15倍,猛度由6.22mm增至13.63mm,最大猛度为最小猛度的2.19倍。基于本实验条件,应合理控制现场混装乳化炸药的内相粒径及敏化剂含量,以确保现场混装乳化炸药具有良好的爆炸性能。     

TiB2粒径对BN-TiB2复相陶瓷致密化和性能的影响

以平均粒径分别为8.1μm和12.2μm的两种TiB2粉末为原料,通过热压烧结方法制备BN–48%（质量分数）TiB2复相陶瓷,研究了TiB2粉末粒径对复相陶瓷致密化和性能的影响。结果表明：平均粒径小的TiB2粉末所制备的复相陶瓷致密化速率更快,致密度更高;在1 850℃烧结1.5 h后,表观相对密度为95.3%,体积...     

内相粒径对现场混装乳化炸药基质抗振动性能的影响

通过改变乳化分散机转速制备不同内相粒径的现场混装乳化炸药基质试样,使用调速振荡器模拟不同粒径基质试样在运输中受振动过程,测试受振动前后基质试样的内相粒径、微观结构、硝酸铵析出量和黏度变化,评估内相粒径对现场混装乳化炸药基质抗振动性能的影响。实验结果表明,随着内相液滴粒径增大,乳化炸药基质的抗振动性能减弱,内相粒径大于5.00 μm的基质更易受振动作用破乳析晶。内相粒径为9.47 μm的1^#基质多分散指数(PDI)为2.78,在1个振动周期后明显破乳失稳,3个振动周期后的析晶量增大143%、黏度增大1.4倍,破乳严重且黏度过大不利于泵送;内相粒径为3.97 μm的5^#基质PDI为1.88,3个振动周期后析晶量增大52%、黏度增大1.07倍,仍保持乳化炸药基质形态,有较好的稳定性。内相粒径过大的乳化炸药受振动后内部液滴易析晶导致性能降低,实际生产中应控制炸药基质制备时的内相粒径小于5.00 μm。     

内相粒径对现场混装乳化炸药基质抗振动性能的影响

通过改变乳化分散机转速制备不同内相粒径的现场混装乳化炸药基质试样,使用调速振荡器模拟不同粒径基质试样在运输中受振动过程,测试受振动前后基质试样的内相粒径、微观结构、硝酸铵析出量和黏度变化,评估内相粒径对现场混装乳化炸药基质抗振动性能的影响。实验结果表明,随着内相液滴粒径增大,乳化炸药基质的抗振动性能减弱,内相粒径大于5.00 μm的基质更易受振动作用破乳析晶。内相粒径为9.47 μm的1^#基质多分散指数(PDI)为2.78,在1个振动周期后明显破乳失稳,3个振动周期后的析晶量增大143%、黏度增大1.4倍,破乳严重且黏度过大不利于泵送;内相粒径为3.97 μm的5^#基质PDI为1.88,3个振动周期后析晶量增大52%、黏度增大1.07倍,仍保持乳化炸药基质形态,有较好的稳定性。内相粒径过大的乳化炸药受振动后内部液滴易析晶导致性能降低,实际生产中应控制炸药基质制备时的内相粒径小于5.00 μm。     

反应条件对均相沉淀法制备纳米羟基磷灰石粒径分布的影响及其表征

采用均相沉淀法在水、乙醇两种溶液体系中合成纳米羟基磷灰石(nanohydroxyapatite,nano-HAP)晶体。考察了温度、溶液体系、L-谷氨酸(Glu)等因素对样品平均粒度及粒度分布的影响。样品分别通过激光粒度仪、傅里叶变换红外光谱(Fouriertransform infrared spectroscopy,FTIR)、X射线衍射(X-ray diffraction,XRD)、透射电子显微镜(Transmission electron microscopy,TEM)、选区电子衍射(Selected area electron diffraction,SAED)、X射线能量色散仪(Energy-dispersive X-ray spectroscopy,EDX)进行表征。结果显示添加总钙量5%的Glu、室温、水溶液体系为nano-HAP最佳制备条件;在此条件下制备的样品为片状多晶体,具有较高结晶度和纯度,由Ca、P和O等元素组成,其Ca/P摩尔比为1.58。     

焙烧对铝土矿尾矿相转变,失重率及平均粒径与比表面积的影响

本文对铝土矿尾矿以不同温度进行焙烧,采用X射线衍射分析、差热-热重分析、平均粒径与比表面积分析等分析手段详细表征了焙烧温度对铝土矿尾矿主要矿物的矿相转变,尾矿的失重率及平均粒径与比表面积的影响.结果表明尾矿中的一水硬铝石及高岭石在600℃以前完全分解,分别转化为刚玉相及偏高岭石相;伊利石在500℃以上开始脱水生成脱水伊利石相;石英相、赤铁矿相与锐钛矿相基本无明显变化;由于一水硬铝石及高岭石在400～600℃之间完全脱除结构水,尾矿在此温度区间剧烈失重8.4％左右;随焙烧温度的提高,铝硅酸盐矿物逐步脱水分解导致尾矿的平均粒逐渐减小,比表面积逐步增大;但高于800℃以上,在脱水伊利石相与赤铁矿相接触面处,由于K2O-SiO2-Al2O3-Fe2O3四元系低熔点化合物的生成,尾矿颗粒产生粘结,导致尾矿的平均粒径转而上升,比表面积转而下降.     

AEO表面活性剂EO加成数对铜互连阻挡层抛光液的影响

铜互连化学机械抛光(CMP)是IC制备中的关键工艺,阻挡层抛光液的性能是决定平坦化效果及减少表面缺陷的重要因素.研究了不同环氧乙烷加成数(EO加成数)的AEO表面活性剂对阻挡层抛光液性能的影响.结果 表明,随EO加成数增加,抛光液表面张力和接触角逐渐增大,润湿性逐渐变差,抛光液中大颗粒数先减少后增加,当EO数为9时,大...     

AEO表面活性剂EO加成数对铜互连阻挡层抛光液的影响

铜互连化学机械抛光(CMP)是IC制备中的关键工艺,阻挡层抛光液的性能是决定平坦化效果及减少表面缺陷的重要因素。研究了不同环氧乙烷加成数(EO加成数)的AEO表面活性剂对阻挡层抛光液性能的影响。结果表明,随EO加成数增加,抛光液表面张力和接触角逐渐增大,润湿性逐渐变差,抛光液中大颗粒数先减少后增加,当EO数为9时,大颗粒数最少,且粒径分布(PSD)趋于窄化。随EO加成数增加,Ta去除速率基本不变,Cu和Si O_2介质去除速率分别由378 ?/min和695 ?/min降至167 ?/min和234 ?/min,当EO加成数为9时,粗糙度最低,可达0.72 nm,且Cu和Si O_2介质去除速率与baseline接近。     

油相材料对乳化炸药性能和稳定性的影响

伴随着现代工业体系的不断完善与发展,亟需高质量的现代工业炸药以大规模安全生产的需要,在其推动作用下,工业炸药的种类与性能在不断地更新与升级,以上世纪70年代的诞生的新型炸药——乳化炸药为例,其属于一种机热力学上较活跃的体系,是借助乳化剂的催化作用,将氧化剂溶液均匀地分散于油相介质之中所形成的的一种油包水型的乳胶状炸药体系,因其具有密度高、爆速大、抗水性能好、起爆感度好等优良特性,在全世界范围内得到了很好的发展,但是受到种种因素的制约,在经历了四十年左右的发展之后,这种新型的炸药并未形成一会完备的生产工艺规范,在我国也并朱出台相应的专门的安全生产质量标准来保证炸药的质量,实际的生产中,各个生产企业往往是按照自己本企业的生产技术规范以及管理方法来进行乳化炸药的生产,由此可见,诸如生产设备、工艺流程、管理模式等因素将会很大程度上影响乳化炸药的性能与稳定性,而油相材料作为氧化剂溶液微粒的有效载体,其质量的好坏、性能的优劣、选择方法的合理与否直接关系到乳化炸药的性能与热稳定性。本文主要从油相材料的角度着手,系统的阐述了油相材料对乳化炸药性能和稳定性影响的作用原理,分析了几种不同种类的油相材料和实际的生产实践中对乳化炸药的不同影响,最后基于油相材料提出了若干提高乳化炸药质量与稳定性的措施。     

表面处理对3Y-ZTP/玻璃复相材料表面结构和化学稳定性的影响

在3Y—TZP中加入质量含量为10％～20％的La—Si—B系玻璃粉料,复相材料能在1 300℃烧结致密,液相烧结是试样烧结温度降低的原因。对试样分别进行表面研磨和稀醋酸浸泡后发现:试样表面发生了部分t—ZrO2到m—ZrO2的相变;随玻璃含量的增加,试样在稀醋酸中的化学稳定性下降。经过表面研磨和稀醋酸浸泡后材料的强度均有所下降,但在牙科陶瓷材料中仍处于较高水平。实验结果表明:表面研磨后材料的破坏主要是由表面划痕引起的,而稀醋酸浸泡后材料的失效主要是由于材料表面的玻璃相在醋酸中的溶解和腐蚀而产生的腐蚀坑和孔洞所致。