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化学机械抛光是获取高表面平整度的有效关键技术,获得了广泛的研究和应用,其表面材料的去除作用依赖于所处的真实接触状态。归纳了抛光垫/晶圆相互作用的形式,即相互滑过而没有直接接触、混合润滑和直接接触。分析了接触状态及其转变过程中的影响因素,包括抛光垫的变形、釉化和磨损,抛光液中磨粒的影响及表面活性剂对钝化层厚度的改变等。重点总结了化学机械抛光中接触状态问题的研究进展,包括光学显微镜测量计算接触面积比、薄膜传感器测量接触面积比、利用双发射激光诱导荧光技术测量抛光液厚度、抛光垫表面形貌演变对材料去除速率的建模等方法的特点及存在的问题。最后提出了纳米间隙测量技术测量化学机械抛光中接触率动态变化,从而得到真实接触状态和接触状态转变规律的新思路。 相似文献
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软接触结晶器电磁连铸中初始凝固的基础研究 总被引:32,自引:0,他引:32
通过实验和数值模拟研究了软接触结晶器电磁连铸传热凝固特点,测定了金属Sn在连铸中的温度场,初始凝固点和坯壳厚度,得到了电磁场影响它们的基本规律。在数学模型中考虑了高频电磁场对金属的传热凝固的以下影响;(1)对结晶器的感应加热;(2)对金属的加热;(3)电磁力推斥液力金属,减少金属与结晶器壁接触的影响。 相似文献
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不锈钢板翅结构钎焊残余应力及其影响因素 总被引:2,自引:0,他引:2
利用有限元软件ABAQUS,对不锈钢板翅结构在真空钎焊过程中产生的残余应力进行有限元分析,讨论钎缝间隙,隔板厚度、翅片内距、翅片内高,翅片厚度、钎焊温度、翅片层数、材料匹配程度以及压力对残余应力的影响.计算结果表明,由于镍基钎料和不锈钢母材力学性能的不匹配,在钎焊接头中产生了较大的残余应力.钎角处应力集中且状态复杂,成为最薄弱环节.钎缝间隙、隔板厚度、翅片内距、翅片厚度、材料匹配程度以及压力是残余应力的主要影响因素,钎焊温度、翅片层数以及翅片内高对残余应力的影响不大. 相似文献
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利用数值模拟研究了软接触电磁连铸中两段式无缝结晶器的传热及初生坯壳的厚度.结果表明;相同工艺条件下,两段式结晶器与传统结晶器相比,出口坯壳厚度减薄约0.4 mm.铸坯表面温度升高约2.5 K,初始凝固点下降约9 mm,有利于提高铸坯的表面质量.两段式结晶器上半段长度增加使凝固坯壳厚度略有降低,但将导致钢液对连接处的冲刷增大.在本研究条件下,考虑到安全生产的需要,结晶器上半段长度为120 mm是较佳的长度.两段式结晶器壁的传热计算表明,本研究条件下,结晶器的耐热强度满足安全生产的要求. 相似文献
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为提高液压外骨骼机器人油箱的换热性能,采用CFD数值模拟方法,对不同翅片结构的圆环形槽翅片油箱流动传热性能进行了三维数值模拟,得到了不同入口风速下翅片表面平均换热系数、进出口压降和综合评价系数JF因子随翅片结构变化的特性曲线。研究结果表明:翅片厚度在0.5~0.9 mm时,换热系数随翅片厚度的增加而减小,同时压降随厚度的增加而增大;翅片间距在2.1~2.9 mm时,换热系数随翅片间距的增大而增大,同时压降随间距的增大而减小;翅片高度在10.5~14.5 mm时,换热系数和压降都随翅片高度的增加而增大。研究结果表明:当翅片厚度为0.5 mm,翅片间距为2.9 mm,翅片高度为12.5 mm时,翅片单元整体综合换热性能最优,仿真结果为翅片油箱结构优化设计提供了参考。 相似文献
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对深冷处理技术及传统的深冷处理设备进行了简单总结,在此基础上提出了一种带有液氮回收的深冷处理设备。采用翅片管式换热器作为该深冷设备的中间换热设备,液氮通过换热器管侧进行热交换,翅片侧通过风机提供一定流速的气流进行强制对流换热,利用热交换后的气流控制设备的温度,热交换后的氮气流出换热器进行回收利用。根据使用要求对换热器进行了设计计算,确定了换热器的结构及尺寸大小。采用经验公式对该换热器的压降进行了计算,对比了该设备与传统深冷设备的效率和经济性。 相似文献
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The tube-fin contact status is an important factor influencing both thermal resistance and service life of the tube-fin heat exchanger. Tube expansion process brings forming defects of gaps at the tube-fin interfaces. And elimination of this forming defect is proved to be difficult. This paper presents a novel method in improving the tube-fin contact status of heat exchanger. From simulation results, distribution of the contact pressure along the tube-fin interface can be obtained. Then, an optimization process integrated with FE simulation is established for the sectional profile of the fin collar. The fin collar is represented with spline curves. Results show that after the optimization, the gap at the tube-fin interfaces is basically eliminated and the tube-fin contact status is significantly improved. Furthermore, flanging process for the optimized sectional shape of the fin collar is discussed. 相似文献
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为提高热管换热器的性能和紧凑度,设计并采用金属增材制造获得了直翅片型(DPHE-1)和周期排列翅片型(DPHE-2)两类密集纵向翅片套管换热单元。通过剖切及几何检测,总结了制造偏差分布特点,显示其内部结构完整。通过光学检测,显示出倾斜翅片两侧的粗糙度分布不均。采用稳态传热实验方法对4种密集纵向翅片套管换热单元进行了传热特性研究。结果显示,由于换热面积的增大和流动掺混作用的增强,在雷诺数Re=2000~15000工况范围内,纵向周期排列翅片(DPHE-2)的平均传热努塞尔数是纵向直翅片(DPHE-1)的1.3~1.4倍,DPHE-2平均阻力系数是DPHE-1的12.6~28.6倍。对比综合传热性能,直翅片型中的长翅片结构,即长翅片(DPHE-1-B)具有相对最优的强化传热性能。 相似文献
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介绍管翅式换热器的加工专用技术装备,通过此装备将铝箔与铜管进行胀管、扩口、翻边加工,形成空调器的四大部分之一的两器即蒸发器和冷凝器。取代传统的液压动力,整机由伺服电机系统驱动,采用伺服数码控制技术,将铜管的胀管、扩口与翻边等加工工序集成于一体,提高了生产效率,保证了产品质量,节约铜管用量。并对铜管胀管、扩口、翻边加工进行分析。 相似文献
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针对基于Nb Ti微合金化超高强钢热轧原板添加Nb、Ti、Si、Mn、Cr等合金元素,酸洗时与盐酸反应产生难溶物,容易堵塞循环系统,影响酸洗效率的问题,通过对流传热阻垢试验研究了石墨管与钽管的传热与结垢性能。根据试验结果以及热交换器工艺参数,设计了钽管换热器的换热面积,替换了原有的石墨换热器。结果表明,钽合金换热器流动特性和传热性能有所提高,阻垢性能优越,能延长结垢周期,提高酸洗机组的生产效率。 相似文献
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Plastic deformation was newly introduced in transient liquid phase (TLP) diffusion bonding of steel sandwich panels. The effect
of plastic deformation on bonding strength was investigated through lab experiments. It was assumed that three factors, including
newly generated metal surface area, deformation heat, and lattice distortion, contribute to the acceleration of interface
atoms diffusion and increase of diffusion coefficients. A numerical model of isothermal solidification time was developed
for TLP bonding process under plastic deformation and applied to carbon steel sandwich panels bonding with copper interlayer.
A reasonable isothermal solidification time was obtained when an effective diffusion coefficient was used. Based on lab experiments,
the effects of plastic deformation on interlayer film thickness and isothermal solidification time were studied through theoretical
calculation with the new model. The evolution of interlayer film thickness indicates a good agreement between the calculation
and experimental measurement. The results show that the isothermal solidification time is obviously reduced due to the effect
of plastic deformation. Furthermore, a new steel sandwich cooling panel for heat exchanger was fabricated by TLP diffusion
bonding under 13.1% plastic deformation. The test results suggest that a steel sandwich panel of inequidistant fin structure
can provide enhanced heat transfer efficiency. 相似文献
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改进接触传热测量装置,利用有限元模拟镁合金轧制过程辊缝界面的瞬态换热特性,以准确分析温度、压力和粗糙度对接触传热系数的耦合影响。结果表明,接触传热存在2个明显的临界阈值。当温度在150℃以下且界面压力低于22.1 MPa时,存在良好的线性规律。当超过第一阈值后,接触传热明显增强,呈现显著的非线性特征。另外,当界面压力超过50 MPa(第二阈值)且温度超过300℃时,接触传热很快趋于稳定。显然,此时的第二阈值与镁合金带材表面摩擦峰的弹塑性变形直接相关,通过增加微接触面积和摩擦峰的交互扩散,从而形成高压接触传热。基于这一现象的规律特征,有助于精确控制辊缝的接触界面温度,便于设计合适的轧制参数或优化轧制工艺。 相似文献