圆管分子流流导几率的初等函数拟合公式

以修正的 Nawyn 结果为依据,提出了一套拟合公式,流导几率的拟合误差小于0.02%。同时给出了多种简化公式可供选择。它们具有精度适中,记忆容易,使用方便等优点。     

束流效应对圆管分子流导几率的影响

用解积分方程方法计算了等直径圆管串联时束流效应对分子流导几率的影响。在两管串联情况下,若进行束流效应修正后再用奥脱莱(Oatley)公式,结果误差可减小到<1%。文中推得更精确的考虑束流效应的串联公式。应用此公式,误差进一步减小到<0.15%。     

关于计算传输几率α的一些问题

流导法广泛用于真空系统的设计和分析以及计算分子流通过真空元件的流导。流导法是基于与电路类比的基础上发展起来的。不幸的是,却带来了某些混乱和误解。这是因为分子流与电流本质不同,因此由流导法得到的某些公式,例如流导的串联公式、短管公式以及肘管公式等,都存在一定问题。自从奥特莱(Oatley)创造性地把何氏系数的概念用于计算短管流导以来,引起了有关流导法的动摇,对于流导法的某些基本结论和解释逐步予以纠正。在分子流领域,传输几率法比流导法更本质、更基本,某些复杂形状的真空元件应用流导法无法计算,却可以应用传     

真空管路中后续管道的传输几率

由于集束效应的影响，真空管路中后续管道与入口连接大容积的管道的入口条件不相同，因而其传输几率的计算用现有的近似计算公式将会导致较大的误差。本文计论了集束效应对后续管道的影响结果，以现有的计算公式为基础，导出了后续管道传输几率的较为精确的近似计算公式。     

短管近似方法及其应用

以短管近似方法导出了分子流在圆截面粘附管内的流动分布及其通过几率和反射几率公式。公式计算结果与蒙特卡罗计算结果进行了对比。以同样的方法导出了各种元件的串联反射几率公式，并作为各种升华泵的抽速计算公式。结果表明，这一套公式可以用于工程计算。本文最后导出了真空元件串联几率的最普遍的计算公式，并对分子泵 的性能测试方法提出了新的建议。     

气体沿圆管道湍流的流导公式

一、引言在真空技术中,对处于粘滞流、粘滞—分子流、分子流等情况下各类管道的流导公式,人们早有研究。可是对质点运动极为复杂的湍流的流导公式在有关文献中尚不多见。本文通过分析真空容器充气过程的气流状态,认为湍流的流导公式在真空技术中也有一定的应用价值。并用流体力学的有关公式,推导出长圆管道湍流的流导公式。     

在全压强范围内径向辐射流的流导计算

本文利用作者在对全压强范围内圆形管道的流导计算中提出的理论,对径向辐射流的全压强范围内的流导进行了计算,得到了较为实用的公式,计算结果表明与现有半经验公式结果基本相符。     

蒙特卡罗法计算分子流状态下真空管道的传输几率

采用蒙特卡罗法对分子流状态下真空管道的传输几率进行了计算。计算精度随着模拟分子数的增加而显著提高,对于圆柱管道,模拟分子数为1.0×109时误差在2.7×10-5以下。气体分子与管壁的平均碰撞次数与管道纵横比基本相等。分析了传输几率与管道内壁吸附性的关系,通过测量管道两端气压便可计算出管道的抽速。另外,对椭圆和矩形截面管道的流导也进行了计算。     

全压强范围内同心圆环截面管道的流导计算

本文利用作者在全压强范围内圆形管道的流导计算中提出的理论,对在全压强范围内同心圆环截面管道的流导进行了计算,得到的公式表明,比目前通用经验公式结果更为合理。     

弯曲圆筒传输几率与弯曲角度关系之二

用蒙特卡洛法对圆筒弯曲角度与分子流导关系的初步研究业已完成。本文通过计算有效分子的平均路径,对传输几率受弯曲角的影响作出物理解释;计算了圆筒弯管两边长度不等情况下的传输几率,发现它与方向无关;最后,对程序的特点作了扼要说明。一、前言作者等曾采用蒙特卡洛方法考查了图1所示的弯曲圆筒中弯曲角度θ与传输几率P的关系。用自由分子流模型,以角度和长径比为几何参数,并假定     

光学成像法测量细丝直径的误差及照明方式分析

分析了细丝表面对背景光源反射成像的现象 ,导出了光学成像法测量细丝直径的误差公式 ,证明误差与照明光源的辐射角有关 ,发现当照明光源的辐射角与成像系统孔径角相等时 ,误差将消除     

基于动态差压法的分子流流导测量

提出一种基于动态差压法测量固定流导元件流导的新方法。固定流导元件是以阳极多孔氧化铝(AAO)为模板制作而成。在测量流导过程中,通过测量连接AAO固定流导元件两端的容器的动态差压变化关系,运用最小二乘法对实验数据进行指数函数拟合,计算出AAO固定流导元件的流导值。分别以氮气、氦气和氩气作为实验气体对AAO固定流导元件的流导进行了测量。结果表明,在大气压力以下,AAO固定流导元件的流导不随入口压力变化而变化,始终保持恒定。对He、起始压力为30 kPa、初始压差为1.97 kPa、测量时间为60 s的测试点进行了不确定度评定,其相对合成标准不确定度为13%。对评定过程进行分析,发现测量点的不确定度随测量时间的增加急剧增大。该流导测量装置的测量范围为1×10~(-4)～1×10~(-7)m~3/s,此方法具有操作简便、结果精确等优点。     

在全压强范围内圆形管道的流导计算

本文假定,气体沿圆形管道流动过程中,靠近器壁线度在(1-e~(-ξλ/R_0))R_0的范围内,可忽略气体分子之间的碰撞,近似为分子性流动;其余部分可忽略气体分子与器壁间的碰撞,近似为粘滞性流动。由此得到了适合于全压强范围内的半经验流导公式,计算结果与目前通用半径验公式结果相符。     

铟封接和硅硅键合技术制作微通道型固定流导元件

提出了一种制作微通道型固定流导元件的方法,即基于硅硅直接键合将刻蚀深度约为1μm的沟槽结构密封成微通道,利用铟熔融封接技术使其与金属法兰结合构成通道型固定流导组件,使用氦质谱检漏仪对其漏率测试。测量结果表明,固定流导元件的流导测量值与理论计算值接近,相对误差不超过22.2%。氦气作为测量气体时,固定流导元件能够从高真空到30000 Pa压强下实现分子流状态,即流导恒定。     

第八讲：真空系统设计

④考虑管口影响时，圆管的流导（上接１９９８年第５期第４７页）设圆管的长度为Ｌ，半径为Ｒ，直径为Ｄ＝２Ｒ。在分子流条件下，考虑管口影响时，圆管的流导几率ｐｒ如下：当Ｌ／Ｒ≤１．５时，ｐｒ＝１１＋Ｌ２Ｒ当Ｌ／Ｒ＞１．５时，ｐｒ＝２０＋８ＬＲ２０＋１９ＬＲ...     

微小流导测量系统

介绍了一套微小流导测量系统，它集成了定容法、定压法和线性规方法。各种方法可以满足不同量限的测量需求，可在原位进行测量，互相验证准确性。该系统能够测量流导前的压力在0．1Pa到1x10^5 Pa时所对应的流导值，可用于研究流导值与流导前压力的特性关系。     

万能渐开线检查仪零位误差及其图谱

本文通过分析轨迹的方法分析零位误差及其对齿形测量的影响，导出了相关的公式和图谱。     

全压强范围内等边三角形截面管道的流导计算

利用文献[1]提出的分层流动模型流导计算理论，对等边三角形截面管道的流导进行计算，得到了在全压强范围内适用的流导计算公式。     

对直线度检测的“多测头消差法”数据处理的探讨

本文对国家标准“直线度、平面度误差检测”中，直线度测量的“多测头消差法”提出了一个新的数据处理公式，这个公式较之“标准”中所列公式要简单得多，并且导出过程简单明了，读者容易理解。     

非刚体模型仪器的误差补偿技术

根据数控刀具预调仪的结构特点，分析了力变形对仪器准确度的影响，建立了非刚体数学模型并推导出误差补偿公式。最后，采用激光仪测量轴向位置直线定位误差的方法对修正效果进行了验证。