一种基于Matlab的干涉条纹自动处理方法

对接触式干涉仪量块检定时产生的两种干涉条纹进行了研究,图像整体采用傅里叶级数曲线拟合法,实现干涉暗条纹大致定位.局部采用最小二乘二次曲线拟合法,确定干涉暗条纹中心的精确位置及暗条纹个数.利用Matlab和VC平台进行编程,快速有效地实现了干涉条纹中心位置的自动判读. 该方法已应用在中国计量科学研究院接触式干涉仪的量块检定中.     

接触式干涉仪工作台平面度在量块长度测量中引入误差的探讨

通过JJG 101-2004《接触式干涉仪》和JJG146-2011《量块》检定规程,本文探讨了接触式干涉仪工作台平面度在量块长度测量中的引入误差,结果显示使用接触式干涉检定量块长度时,在极端条件下,工作台平面度引入的误差较大,可能会影响量块的合格评定。     

新型移相量块干涉仪的研制

研制了一台用于0.5~100 mm量块测量的新型移相量块干涉仪,分别以波长为633 nm和543 nm的两台稳频激光器作为测量光源,通过一根单模光纤引入到干涉仪内。高精密移相器实现5步移相干涉测量,CCD相机采集干涉条纹并计算干涉条纹小数,被测量块长度采用多波长的小数重合法计算。移相量块干涉仪的测量不确定度达到U=0.015μm+0.07×10~(-6)L(L为量块长度,mm)。     

接触式干涉仪干涉条纹变级的原因与消除方法

根据接触式干涉仪光波干涉原理,阐述了干涉条纹变级的原因及消除方法。对实际测量操作者有一定的参考价值。     

接触式干涉仪的调整和修理

0引言 接触式干涉仪是以光波干涉原理为基础，采用微差比较法测量长度的高准确度仪器。主要用于检定尺寸小于150mm的2等和2等以下的量块，也可对其他高准确度零件进行测量或作高准确度定位。在一般计量部门．接触式干涉仪较多地使用于检定和校准3、4等量块。     

关于（0～100）mm0级量块的检验方法及测量不确定度分析

本文主要对利用二等陶瓷量块作为基准，利用接触式干涉仪进行比较测量，检验0级陶瓷量块的检验过程的测量不确定度进行分析。     

双波长激光量块干涉仪研制

本文介绍了双波长激光量块干涉仪的工作原理,详细描述了仪器的光学,机械设计以及干涉图象处理和量块中心长度自动判读技术,该干涉仪满足1等量块的测量不确定度要求,目前已用于高等级量块的自动化测量。     

基于光纤干涉仪的振动测量技术

本文介绍了基于光纤Mach-Zchndcr干涉仪的振动测量系统,用线阵CCD测量条纹动态位移,实现了光纤干涉条纹图像的连续采集.针对干涉条纹图像噪声的特点完成了低通滤波器的设计、图像的平滑处理,消除了干涉条纹中心的定位误差.文章绘制了干涉条纹位移曲线并对其进行了离散傅里叶变换,给出了所测振动的频谱特性.最后讨论了测量系统的灵敏度以及影响测量精度的因素,为了能够辨别条纹的移动方向,指出了条纹最大允许的移动速度限制,给出了实验结果.     

利用白光的一次条纹定位的可能性

干涉仪是灵敏度和准确度都很高的一种仪器。因此,在精密测量中,特别是高精度的自动化测量中(例如测量量块),人们自然就想到用白光干涉条纹来作为定位信号。用一光电元件接收白光干涉条纹信号,通过电路处理,取出零次干涉条纹的顶点即可作为定位信号。要准确地、不加鉴别地取出各次干涉条纹的顶点是容易的,但是要从达一组顶点信号中鉴别出哪一个顶点信号对应零次干涉条纹,这却是十分困难的事情。我们为此作了许多工作,     

引入平板系统对量块长度测量结果的影响

以光谱辐射线的波长作为标准、以光波干涉条纹小数部分重合的原理设计的光波干涉仪、用直接测量的方法测量量块长度时，必须引入一系列大孔径（Φ≥５０ｍｍ）的平板干涉系统，本文讨论各平板各自的平面度在干涉仪光学系统中的相互叠加对量块长度的测量结果的影响     

满足一等量块检定要求的接触式激光量块干涉仪

最新研制的接触式激光量块干涉仪主要用于测量一、二等量块的中心长度，其长度测量不确定度达到（0.02 0.2L)μm。文中介绍了其工作原理、测量不确定度分析，给出了量块测量的验证数据。     

三等量块标准装置不确定度评定

不确定度是测量工作的质量和测量结果可信赖程度和评价。利用三等量块、接触式干涉仪、平面平晶、温度湿度计、干涉显微镜等组成建立三等量块标准装置,通过对三等量块标准装置测量不确定度来源的分析,评定了三等量块标准装置测量不确定度大小,分析得到的结果满足采用比较测量法检定四等及四等以下量块。     

干涉条纹小数的测量

对高精度干涉条纹小数测量的方法进行了系统的介绍.就干涉条纹小数的定义、暗条纹中心的确定、量块中心长度测量的起始和终了位置进行了较全面的分析,实现了不确定度为2 nm的干涉条纹小数的测量.引用实验与国际比对结果理论分析予以验证.     

接触式量块激光干涉仪测量软件的设计与应用

本文针对接触式量块激光干涉仪的自动测量软件提出一套简便实用的设计方法 ,包括数据结构的定义、测量界面的组成、数据文件的自动处理及测量结果的自动保存等。在实验中 ,测头接触的重复性优于 1nm ,测量量块的重复性小于 5nm。     

长度计量基础知识讲座(二十七)

1概述接触式干涉仪(以下简称干涉仪)是应用光波干涉原理,采用微差比较测量法测量长度的高精度计量仪器。干涉仪由前苏联计量仪器专家乌威尔斯基设计并制造,因此通常称为乌氏干涉仪。干涉仪主要用于检定尺寸小于150mm的3等及以下量块的尺寸,也可以对其他高精度零件进行精密测量或作高精度测量的定位。     

长度计量基础知识讲座(二十七) 第二十七讲 接触式干涉仪

1概述接触式干涉仪(以下简称干涉仪)是应用光波干涉原理,采用微差比较测量法测量长度的高精度计量仪器。干涉仪由前苏联计量仪器专家乌威尔斯基设计并制造,因此通常称为乌氏干涉仪。干涉仪主要用于检定尺寸小于150mm的3等及以下量块的尺寸,也可以对其他高精度零件进行精密测量或作高精度测量的定位。     

新型零差激光干涉仪测量误差因素分析

介绍了新型零差激光干涉仪的测量原理,实验和理论分析了干涉条纹宽度、激光光强、散斑效应对该激光干涉仪测量误差的影响。结果表明,干涉条纹宽度对振幅测量值影响并不明显,测量误差为0.5%;光强变化引起的振幅测量误差为0.5%,光强较弱会增大测量误差;散斑效应引起的振幅测量误差与透镜参数有关,测量误差为0.4%。该新型零差激光干涉仪可有效降低测振系统对测量环境的要求。     

量块的电脑化测试装置

接触式干涉仪是计量部门测试三等量块的法定仪器。本文介绍了一种基于接触式干涉仪的量块自动测试系统，它以光电探测替代目视估测，免除操作人员的视力疲劳，并能自动处理数据。软件系统以最新的国家检定标准编制，易学好用。     

高等级量块的检定技术

新量块检定规程(JJG146-94)，提高了各等级量块的测量不确定度要求，传统的目视测量方法在测试精度和效率上已经不适应实际需求。本文将对一、二等量块直接测量技术和用于三、四等量块的接触式干涉仪测量自动化技术作一介绍。     

PG15-J4型激光平面干涉仪的数字化改造

本文研究对中国科学院上海光学精密机械研究所生产的PG15-J4型激光平面干涉仪进行数字化改造,通过加装CCD相机,将干涉图像采集到计算机中,然后对采集到的图像进行滤波、细化等处理,并按照JJG 28—2000《平晶检定规程》对图像处理后得到的条纹进行计算,得到被测平晶的平面度。经实验验证,改造后的干涉仪满足了对?150mm以下的一、二级平晶的检定要求,适用于计量部门对平晶进行检定。