BEPC储存环真空系统

本文描述了ＢＥＰＣ储存环真空系统的设计、制造和运行。为了使储存环中正负电子的寿命达到８—１０小时，要求真空系统的动态压强低于３×１０－９Ｔｏｒｒ。储存环真空系统的主要气载是由同步辐射光与真空盒壁相互作用产生的。由于弯转的铝真空盒具有容易加工、高的热导性和低的放气率等特性，被广泛应用于真空系统。１１０Ｌ／ｓ的涡轮分子泵机组把系统预抽到１０—６Ｔｏｒｒ左右，主抽泵是工作在弯转磁场中的分布式溅射离子泵。５００Ｌ／ｓ的溅射离子泵安装在特殊的部位，如高频腔，静电分离器以及物理实验区等．１００Ｌ／ｓ离子泵每隔６．５米安装一台，当分市泵不工作时用来维持系统真空．八个全金属闸板阀把真空系统分成八个部份。为了减少由于高次模造成的束流能量损失，要求真空系统光滑过渡。     

获得2.9×10~(-10)Pa的三极溅射离子泵

我所为完成原第一机械工业部下达的７２１８１超高真空技术研究课题，研制了Ｌ－１００型三极溅计射离子泵。经试验、鉴定，该泵抽速为１６０Ｌ／ｓ，极限真空为２．９×１０－１０Ｐａ（ＳＧ－４型冷磁控极高真空测量），并成功地应用到为航天工业部某单位研制的ＪＷＺ－１００型静电支承仪表无油超高真空排气台上做为主泵。该排气台系统极限真空达到５．５×１０－８Ｐａ。     

油扩散泵的工况分析与结构设计

在泵口压强为１０－４～１０－３托时，油扩散泵的抽速明显下降，而扩散喷射泵（油增压泵）尚未有效地发挥作用，形成薄弱区段．因此研制在高压强端抽气能力较强的油扩散泵，将能弥补这段不足，从而为真空应用设备在高压区段大量排除气体，提供理想的抽气设备．     

有油排气系统的改进

以普通油扩散泵一机械泵组成的有油排气系统是当前电真空器件生产中获得高真空的重要手段。由于目前电真空器件在该有油排气系统上排气封离时极限真空都限制在１０－７～１０－６乇，且存在油蒸汽对被抽器件的污染，使许多要求耐高压、高放射率和长寿命的器件的性能不能稳定和提高。 本文试验了由钛升华阱──冷阱──普通扩散泵──活性氧化铝吸附阱－机械泵组成的真空系统的抽气性能。结果表明系统极限真空度用液氮冷却在五～八小时内达到 （５～８） × １０－１０乇，自然冷却达到（３～４） × １０－９乇。并用该试验系统试排了数只 ＴＭ－８５电子管，在基本上不改变原排气工艺规范和不延长排气时间的条件下封离时真空度为 （１～２） × １０－８乇比原系统提高了二个数量级，参数全部合格，试验结果说明，系统的操作步骤对极限真空有很大影响，如在管内采用锆铝吸气剂并适当改变排气工艺规范以适应系统的超高真空性能可能获得更高的极限真空度。     

10^—10Pa溅射离子泵的研制

本文主要介绍１０－１０Ｐａ溅射离子泵的研制，提高极限真空和抽气速率的方法。     

极高真空溅射离子泵的研制

研制出了获得极高真空的溅射离子泵，该溅射离子泵４小时烘共烤后温度降至１００℃，装磁钢，妄动离子泵进行敢，３４小时后压力达５．８×１０＾－１０Ｐａ。从抽速实验结果来看，该泵在１０＾１０Ｐａ时仍有１００Ｌ／ｓ的抽速。说明此泵在较 压力下仍有较强的潘宁放电。     

钢液最大放气量与估算真空泵抽气能力的探讨

本文综合国内外有关资料，讨论以下几个问题：一、钢液最大放气量，其中包括真空脱气类，真空吹氧精 炼类（５０托时真空吹氧脱炭阶段和０．５托时真空炭脱氧阶段）及在真空冶炼中的吹氩量，二、如何估算真空 泵的抽气能力．为了选泵方便起见，我们将每吨钢每小时最大放气量换算成相当于２０℃的干燥空气量。选泵时 只须将此数乘以所需处理钢液的吨位，再扩大７％～１０％即可。井进行了验算。     

微型化真空泵技术

微型化真空泵对于微机电系统和真空微电子器件的真空封装极具意义。本文从工作原理和工艺实现方面，分析了常见传统真空泵实现微型化的可行性，介绍了膜片泵、射流/扩散泵、努森泵和离子泵的微型化进展，并总结了当前存在的技术障碍。结果表明，目前热点研究的微型化真空泵已经可以构建从大气状态至高真空的真空系统。虽然真空泵微型化后，其性能和工作稳定性相对传统宏观真空泵有较大降低，但具有低功耗、可集成优势，对便携式系统和高真空微系统十分必要。     

低温抽气的实验冶金装置(节译)

本文涉及到无坩埚高熔点金属的热处理和区域熔炼所设计的实验冶金装置的有关问题。一只１０千瓦电子束枪用作加热器。该装置仅用低温泵从大气压抽到 １０－１０托的极限真空。井特别注意到对氢的抽气作用。本文还对抽氢效率达１０４升／秒的氦吸附和冷凝低温泵的特性进行了实验。业已发现：吸附泵的液氦耗量是４０～５０厘米３／小时，而对冷凝泵的液氦耗量是 ７厘米３／小时。实践证明，具有冷到２．３Ｋ表面的冷凝泵，其应用似乎是最为有效的。     

高真空直排大气干泵的最新进展

为了降低半导体设备中的真空系统的成本、实现高真空获得设备的清洁化、简单化和微型化,人们一直在寻求能达到高真空并且直排大气的干式真空泵。近几年,国外已经出现了仅用一台泵就可以实现从高真空到大气的全部抽气过程的高真空直排大气干泵,并实现了商业化,已经应用于实际生产中。本文以其中具有代表性的英国BOC Edwards公司的EPX干泵和德国Pfeiffer Vacuum公司的OnTool干泵为例,简单介绍了其原理、结构、性能,为国内从事真空应用和干泵研发人员提供参考。     

《真空物理学和工艺》

《真空物理学和工艺》(Vacuum Ph-ysics and Technology)一书于一九七九年在纽约出版。 这是一本颇有名望的真空专业书籍,由多位作者分章节集体编写。书的内容相当广泛:分子输送、表面物理、全压测量、分压测量、高真空的获得(前级泵、扩散泵、分子泵、喷射泵、水银扩散泵、吸附泵),超高真空的获得(基本原理、收气泵、离子泵、低温泵、涡轮分子泵),金属和玻璃真空系统,材料(金属、玻璃、陶瓷、弹性体、密封体、气体)的真空性能,真空设备的制造,保护装置,高真空系统的设计、操作和维修,可烘烤的超高真空系统和其操作上的特殊要求,检漏技巧(…     

高真空干泵螺旋级抽气性能的数值计算模型

微型化和一体化是干式真空泵发展的重要趋势,高真空干泵是具有代表性的一种新型干泵。本文对高真空干泵的重要部件之一的单螺旋转子进行了数值研究,通过对几何模型重要参数的分析,结合了直接模拟蒙特卡罗的程序思想,对单螺旋转子工作过程进行仿真。模拟得到了单螺旋转子几何参数对抽气效率的影响机制,得到影响高真空干泵性能的参数调节机制,为高真空干泵的设计提供了理论依据和指导。     

低温水泵和分子泵组合替代低温泵的新设备

本文介绍了一种新型超高真空辅助设备－低温水泵，用之和分子泵组合，可以获得１０＾－８Ｐａ的清洁超高真空，用在半导体集成电路生产过程中，可以使产品质量以及生产效率均得到改善和提高，抽气机理以及设计要点均在文中有所论述。     

高压强大抽速油增压泵用于炼镁业及其效益与前景

１９７４年真空行业会议确定四大攻关项目之一是油增压泵对应高吸入压强提高抽速。１９７８年沈阳真空所研制成功Ｚ－４００型泵，经全国真空行业鉴定，确认样机指标达到设计要求，完成了攻关任务。鉴定会议认为泵的综合性能超过国内同类泵水平，接近国外先进水平。本文对照罗茨－滑阀机组，论述此种油增压泵的优点与特点，用于炼镁业及其他的经济效益与市场前景。     

一种单螺旋转子型线及其热变形研究

微型化和集成化是当前干式真空泵发展的重要趋势,高真空干泵正是具有代表性的一种新型干泵。本文对高真空干泵的螺旋级转子进行了研究,对组成螺旋级转子的外螺线、内螺线、母线的型线方程分别进行了方程推导和几何建模,利用有限元分析的方法,对转子受热所产生的温度场,结构场进行了耦合计算,研究了转子热变形结果对型线设计和间隙设置的影响,得到影响高真空干泵性能的参数调节机制,为高真空干泵的设计提供了理论依据和指导。     

兰州重离子加速器真空系统的设计问题

兰州重离子加速器是串列回旋加速器系统，用以加速从氢到氙的重离子。注入回旋加速器真空系统利用了原有油扩散泵。主回旋加速器真空系统是由一台１００立方米真空室和一套相应的超高真空系统组成的。本文介绍了主回旋加速器真空系统的设计要求、选取的设备和运行情况。选用的八台ＢＡＬＺＥＲＳ ＲＫＰ８００低温泵具有总抽速１６０ｍ２／ｓ，可满足设计气载的要求，在真空室内获得１０－６Ｐａ真空．两台ＰＦＦＥ　ＩＦＥＲ　ＴＰＨ５０００涡轮分子泵组成辅助排气系统．另外还有粗抽系统和液氮流程。全系统已于 １９８６年９月建成并投入运行。其性能满足设计要求．     

新型K-800A高真空油扩散泵的研制

介绍了新研制的高真空油扩散泵在拓宽抽气速率范围、提高临界前级压力、降低返油率方面的创新设计。给出了新研制的K-800A高真空油扩散泵各项技术指标的实测结果。     

原子能院自由电子激光器真空系统

介绍中国原子能科学研究院自由电子激光器的真空系统。激光器由Ｌ波段行波电子直线加速器、束流输运系统和包含１．５ｍ援摆器的光学谐振腔组成,１０台钛油射离子泵分布在各段以获得并保持超高真空。     

IF—2型分子筛吸附泵(超高真空维持泵)研制小结

一、概述 分子筛吸附泵是利用分子筛加热脱去吸附的气体和水份后,在低温时能吸附大量活性气体的特性而制成的一种吸气泵。这种真空泵既可以做予抽的前级泵,也可以做主泵,它可以用在低真空、高真空,也可以用在超高真空。目前用于低真空和高真空的较多,而用于超高真空则较少。在冷却方式上有外冷式和内冷式的种。现在,低真空用的外冷式结构较多,两者各有优缺点,今后的发展趋势应是内冷式的结构。 分子筛吸附泵比其他真空泵的结构简单,操作容易,活化了的分子筛只要连续供给液氮,在不需要水和电的条件下。就能吸附大量活性气体获得低真空、高真…     

高黏稠物料真空定量灌装设备核心部件的设计与流量分析

为解决以方便米饭、豆沙、枣泥、莲蓉等高粘稠物料为原料的肠类食品的定量灌装问题,通过分析真空定量灌装机的核心部件——真空滑片泵的设计原则、工作原理、运动状态、流量变化来,研究了高黏稠物料为原料的肠类食品的定量灌装技术。采用数学推导方式得出了以下结论:真空滑片泵的输出流量并不是恒定的,而是呈一定周期性的波动,可以影响高黏稠物料肠类食品灌装的定量准确性;采用合适的真空滑片泵结构参数,能够提高高黏稠物料肠类食品灌装的定量准确性;将双卡打卡机与真空滑片泵的工作参数互相协调,能实现肠类食品的定量灌装。