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调修6J型干涉显微镜,其干涉条纹的寻找和对比度的调整是件很麻烦的工作。本文介绍的方法,经实践证明,过程简便而且能获得对比度令人满意的结果。一、仪器光路和元件相对位置仪器光路如图1。光由白炽灯,经聚光镜2和滤色片3会聚于孔径光栏4上,照亮视场光栏5,孔径光栏位于物镜6和测量物镜9(或参考物镜10)的组合前焦点上,视场光栏位于物镜6的前焦面上,光束经分光板7分为测量光束和参考光束,分别通过物镜9和10到达被测件11和参考镜12,然后返回在分光板上相遇。被测件和参考镜应分别置于物镜9和10的焦面 相似文献
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在计量技术中,用白光“零”级干涉条纹作端面长度精密定位或精密水银气压计液面定位,是精确度较高的一种方法。但是寻找“零”级干涉条纹却是极其精细面又困难的工作。本文叙述一种用激光源寻找静态“零”级干涉条纹的新方法。 相似文献
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一、引言精密计量技术中有不少测试手段利用白光源的双光束干涉仪,它是利用两束相干光在等光程条件下产生“零次”无色条纹的物理特性,作为测长定位手段。例如应用在量块比长的乌氏干涉仪;精密 相似文献
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平晶检定时干涉条纹的快速调整方法与平面度计算 总被引:1,自引:1,他引:1
在平面等厚干涉仪上检定平晶工作面平面度时,需要在被检区域调整出3到5条干涉条纹,依据测量原理和计算公式求出被检平晶工作面的平面度.文章重点分析干涉条纹的快速调整方法与标准平晶平面度的正确引用方法. 相似文献
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高性能白光干涉测量技术的发展对零光程位置精确拾取提出了更高的要求。基于白光干涉光强对称分布特点设计了对称性判据,并根据此判据和实际采样数据的离散性,提出了一种白光干涉零光程位置拾取算法。算法分为两步:首先,从数据中寻找最大测量峰值,然后搜索最大峰值附近的子峰,利用对称性判据及其变化趋势来确定最接近的零光程位置的子峰;接着,由于采样点的离散性,需要进一步对搜寻到的子峰进行局部数据拟合,通过拟合峰值最终确定零光程干涉峰值和零光程位置。此时对称性判据还可用于评估零光程拟合位置与真实位置间距。通过实测数据处理和算法对比实验表明:该算法能够进一步提高零光程位置辨别能力和拾取精度,保障高性能白光干涉测量设备的超精密测试需求。 相似文献
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光干涉型甲烷测定器应用了光的干涉原理,迅速而准确地测定煤矿井下甲烷(俗称瓦斯)的含量,为煤矿安全生产提供保障。光干涉型甲烷测定器的气室维修与干涉条纹的调整属仪器大修中的重点和难点问题。本文将气室的拆卸、清洗、胶沾、气密检查与干涉条纹调整步骤的要领分别介绍给读者,供参考。一、光干涉型甲烷测定器气室的维修光干涉型甲烷测定器的气室是仪器的重要组成部件,它分为三个室,两边为空气室,中间为气样室,气室的两端面用专用气室胶将两块平行玻璃板沾合而成。仪器经过使用一段时间后,由于通过气室的气体不清洁、水蒸气、灰尘和药品小… 相似文献
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在日常检定中.经常会遇到无法看到干涉条纹.或条纹模糊、过粗、过宽的光干涉式甲烷测定器。下面笔者介绍在日常工作中摸索出的寻找干涉条纹及解决条纹清晰度、宽度、准确度的方法。 相似文献
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根据接触式干涉仪光波干涉原理,阐述了干涉条纹变级的原因及消除方法。对实际测量操作者有一定的参考价值。 相似文献
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白光干涉谱数据处理的新方法 总被引:1,自引:1,他引:0
提出了一种基于动态均值滤波、二次曲线法解调和拟合法求光程差的数据处理新方法。与传统的算法比较,动态均值滤波避免了耗时的快速傅立叶变换,二次曲线法解调有更好的解调精度,拟合法求光程差可去除噪音较大的数据。新算法有快速、可使用的测量范围大和抗干扰能力强的优点。新方法可适用的白光干涉谱数据距离范围为 10μm 到 100μm。在样品上采集到的白光干涉谱数据的对比度约为 0.06、信噪比约为 18dB。用新方法和传统方法分别对这些数据进行了处理。新方法处理结果的短期数据方差小于 10nm,精度比常用方法好 4 倍。 相似文献
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利用光的波动特性的进行的干涉和衍射现象已用于科学研究和生产实践的各个领域,因此,提高光波的相干性对充分利用干涉和衍射现象具有重要意义,光波的相干性与光源的性质有着密切的联系,因此搞清楚光源的时间相干性和空间相干性具有重要意义。 相似文献
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本文介绍了利用CCD 固体摄象传感器和386微机动态测量 F—P 多光束干涉条纹的方法,介绍了实现动态检测的原理和软件设计思想,利用此原理,提出了一种微小位移的高精度动态测量方法,采用无畸变摄象物镜和精密伺服系统,相应微小位移的测试精度可达3nm—6nm(约λ/100的数量级)。 相似文献
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干涉条纹快速预处理的新方法 总被引:3,自引:2,他引:1
介绍一种基于数学形态学的新方法以实现干涉条纹的快速预处理(去噪声、细化条纹等),该方法所采用的光学系统结构简单,具有图像处理的快速并行性。用它处理了三种干涉条纹,获得了很好的处理效果。 相似文献
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在利用干涉仪和光栅进行长度测量的仪器中,干涉条纹的对比度、频率和信噪比等因素,将直接影响到光电转换后信号的对比度、幅度和信噪比。其中,以干涉条纹的对比度和干涉条纹数(在接收视场中)对转换后信号的对比度影响最大,若不注意两者的配合,则会带来光电转换的非线性失真。干涉条纹的对比度K为:K=(I_(max)-I_(min)/I_(max) I_(min)) (1) 相似文献