高性能的类金刚石红外光学薄膜

综述了类金刚石红外光学薄膜在红外光学领域的应用，表明该薄膜不仅是一种高性能的红外光学材料，而且是各种红外镀膜元件的高性能保护膜。文中还提出了金刚石薄膜进一步开发，研究及应用中仍需解决的一些工艺及技术问题，描述了制备大尺寸均匀性类金刚石薄膜的可行性方案。     

金刚石薄膜作为红外窗口增透膜或保护膜的研究进展

本文综述了金刚石薄膜作为红外窗口增透膜或保护膜的最新研究进展,讨论了目前存在的问题和未来的发展。     

类金刚石薄膜的结构和红外光学性能研究

本文用辉光放电等离子体化学气相沉积(PCVD)法在Si、Ge玻璃等基片上制备出品质较好的类金刚石薄膜。首先,用拉曼光谱和红外吸收谱研究了所制备薄膜的结构,并且研究了制备膜的光吸收和光学带隙,然后,研究了沉积有类金刚石膜Si,Ge等基片的红外透过率。     

MPCVD金刚石薄膜的红外椭偏光学性能研究

椭圆偏振光谱法是一种非破坏性光谱技术。为了获得微波等离子体化学汽相沉积(MPCVD)金刚石薄膜的最佳沉积条件,用红外椭圆偏振光谱仪对MPCVD金刚石薄膜的红外光学性能进行了表征测量,并分析了衬底温度和反应室的压强对金刚石薄膜的红外光学性质的影响。当甲烷浓度不变,衬底温度为750℃,反应室的压强为4.0kPa时,金刚石膜的红外椭偏光学性质达到最佳,其折射率的平均值为2.393。研究结果表明,金刚石薄膜的光学性能与薄膜质量密切相关,同时也获得了最佳的金刚石薄膜工艺条件。     

照明节能红外光学薄膜

红外反射光学薄膜主要包括金属一介质复合膜和全介质多层膜，在白炽灯、卤素灯等照明光源上使用红外反射薄膜可达到节能和改变光源光谱能量分布的目的。     

红外光学薄膜技术

介绍了红外光学薄膜在红外光学系统中的作用.详细阐述了红外光学材料的选择、相应薄膜材料的选取以及红外增透保护膜的几种设计方法,并重点介绍了类金刚石(DLC)、碳化锗(GexCl-x)、磷化物(GaP)、金刚石(Diamond)等几种薄膜材料光学性能及其应用,最后对红外增透保护膜未来的发展进行了展望.     

金刚石薄膜和类金刚石薄膜

本文介绍了金刚石薄膜和类金刚石薄膜的制备与薄膜性能分析方法,也介绍了它们的应用前景。本文给出了华北光电所研究类金刚石薄膜的结果。     

金刚石薄膜的红外增透性

以 CH_3COCH_3/H_2为工作气体,用 HFCVD 方法,制备出适用于红外光学的金刚石薄膜。用 SEM 观察到了所制备膜的表面晶形。讨论了金刚石薄膜的红外增透性。     

Near Infrared Electoluminescence of Er—doped ZnS Thin Film Devices

Near infrared electroluminescence characteristics of the Er-doped ZnS thin film devices,fabricated by thermal evaporation with two doats,are reported.The study of the film microstructure has been carried out using X-ray diffraction.The effects of the E-rdoped film microstructure on luminescence are pointed out.     

金刚石薄膜的红外吸收谱研究

研究了热丝CVD金刚石薄膜的红外反射吸收谱,讨论了金刚石薄膜中H、N等杂质和晶粒晶型、晶粒尺度对膜红外透过率的影响。     

诱导透射干涉滤光片中银膜厚度和性能

银膜的性能和厚度直接影响诱导透射滤光片（简称ＩＴＦ）的性能和指标。在设计在镀制ＩＴＦ时，确定适当的银膜厚度尤为重要。本文的主要工作是：用结构分析和光谱分析法，得到在衬底温度１００℃时，膜厚大于２５ｎｍ的银膜呈多晶状态，且其结构接近于大块银料。首次确定出用于ＩＦ各银膜的下限厚度为３２ｎｍ，并给出了镀制过程中理论监控曲线和实测监控曲线。     

钨氮化物薄膜与GaAs接触热力学稳定性

从反应热力学计算的角度，对ＷＮｘ／ＧａＡｓ界面可能存在的界面反应，进行了估计和讨论，结果表明，ＷＮｘ薄膜在ＧａＡｓ衬底上是稳定的，这种热力学稳定性是薄膜和衬底界面接触电学性能稳定性的基本保证，实验现象与此结果相一致。     

类金刚石薄膜的Raman光谱分析及红外光谱特性

用酒精和氢气的混合气体为工作气体 ,在不同的酒精浓度下 (1 0 % ,1 5% ,2 0 % )下利用微波等离子体化学气相沉积法在较低温度下 (450～ 50 0℃ )以单晶硅为衬底制备出类金刚石薄膜样品。 Raman光谱分析了酒精浓度对薄膜中金刚石成份的含量的影响。红外光谱分析表明薄膜的红外光透过率与薄膜的表面形貌、薄膜结构有关。酒精浓度为 1 0 %时得到的金刚石薄膜的红外光透过率最高 ,达到 62～ 72 % ,同时透过率曲线因薄膜干涉而引起的振荡也最为显著。     

用XPS法研究硫化锌薄膜

运用ＸＰＳ法研究ＺｎＳ：Ｃｕ，Ｃｌ，Ｅｒ薄膜器件的界面态及所掺激活剂的纵向分布，认为氧吸附形成的ＺｎＳ薄膜的表面构态是产生薄膜界面态和界面陷阱能级的主要原因，对研究薄膜器件的激发过程有参考意义。     

Comparing Crystalline Silicon Solar Cells with Thin Film

１ＩｎｔｒｏｄｕｃｔｉｏｎＳｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒｓｈａｖｅｂｅｅｎｅｍｅｒｇｅｄａｓｔｈｅｍｏｓｔｐｒｏｍｉｓｉｎｇｃｌａｓｏｆｍａｔｅｒｉａｌｓｔｈａｔｃａｎｃｏｎｖｅｒｔｓｕｎｌｉｇｈｔｄｉｒｅｃｔｌｙｉｎｔｏｅｌｅｃｔｒｉｃａｌｅｎｅｒｇｙ...     

金刚石镶嵌非晶碳膜表面微尖对场致发射的增强作用

用微波等离子体化学气相沉积设备,在金属钼衬底上沉积出了表面存在大量微尖的金刚石镶嵌非晶碳膜,分别用扫描电子显微镜（ＳＥＭ）、金相显微镜和Ｘ射线衍射谱（ＸＲＤ）及Ｒａｍ ａｎ谱对样品进行了分析测试,并研究了各样品的场致电子发射特性。结果发现：在笔者的实验范围内,金刚石薄膜表面微尖对场致电子发射具有增强作用,且薄膜表面微尖数目越多,场发射电流密度和发射点密度越高,场发射的发射阈值越低。最后建立了一个二次场增强模型对实验结果进行了解释