共查询到10条相似文献,搜索用时 31 毫秒
1.
为了满足高温环境下的压力测量需求,研制了一种基于CO2激光焊接的高温F-P光纤压力传感器.介绍了MEMS压力敏感结构的制作过程,分析了传感器各组件之间的焊接工艺,实现了高温F-P光纤压力传感器的无胶化封装.在此基础上,对传感器的温度特性和高温压力性能进行了研究.结果表明,采用CO2激光焊接封装的传感器可靠性高,在高温下... 相似文献
2.
本文着重介绍Ti-10Mo-8V-1Fe-3Al高强度钛合金的性能及热处理工艺。用它制造压力膜片的应变压力传感器,理论分析和实验表明,采用钛合金制作压力膜片可以较大幅度提高小量程压力传感器的精度.采用钛合金制造膜片较之采用不锈钢膜片,其压力传感器的非线性误差降低1/3,YCB-10D应变压力传感器(196×10~4Pa以下规格)的非线性、回差、重复性均在0.2~0.5%以内. 相似文献
3.
热压罐成型工艺是复合材料的主要成型工艺之一。其压力、真空参数目前大部分采用数字化测量技术用于数据采集和记录,热压罐的压力真空系统一般是由压力传感器(变送器)、显示仪表和记录仪表组成。本文从压力传感器(变送器)及仪表的校准方法角度分析,通过实验验证,指出了热压罐压力真空系统校准过程中需要注意的问题并给出相应的完善方案。 相似文献
4.
5.
本文所述的非晶态合金是采用单辊决速冷凝法制备的。合金成分为Ni_(78)Si_(10)B_(12).用电测法测量合金的弹性模量E,泊桑比μ,剪切模量G及体积模量K等参数。合金淬火态E=1.805×10~4kgf/mm~2,μ=0.327,G=0.680kgf/mm~2.K=1.738kgf/mm~,无磁性。合金采用真空予处理和氩气处理,E值可达2.34×10~4kgf/mm~2. 采用非晶态合金所制成的φ5.5mm的压力传感器,分别在0、0.001,0.002、0.003,0.004,0.005,0.006、0.007kgf/mm~2 8个检定点正反行程理复时传感器微应变标定值,其重复性一致性都符合使用要求。该传感器与钛合金小型压力传感器压力—应变曲线相比、前者应变为后者的2.7倍. 实验结果表明,这种传感器具有线性关系好、重复性、一致性好、成本低、热处理工艺简单、灵敏度高、传感器易小型化、适于在腐蚀性介质中使用等优点. 相似文献
6.
为了解决无源压力传感器的无线信号传输性能问题,采用环氧树脂基底制作无源压力传感器模拟结构.传感器无线测试装置由共振电容空腔和感应天线组成,内部无需有源器件、电池等.通过改变压力敏感结构电感天线的金属层厚度和线宽等因素来研究无线信号传输性能.经过实验测试,电感的品质因素Q影响传感器的信号传输.可以通过对金属层加厚,对线宽加宽,达到减小电感的电阻,从而增大传感器电感的Q值,即有利于无线信号的传输. 相似文献
7.
高雅许高斌朱晓萌张宇关存贺冯建国 《真空科学与技术学报》2023,(11):947-953
针对飞机供氧、液压、环控和燃油等系统故障预测与健康管理(PHM)对小量程压力传感器的重大需求,设计了一种新型梁膜复合结构微电子机械系统(MEMS)压阻式压力传感器,该研究通过小量程、高灵敏度的压力传感器力学机理分析和力学仿真建模,提出一种具有弧形膜和米字梁复合型结构,采用弧形硅杯支撑,通过结构和尺寸的优化设计以及压敏电阻位置的确定,在-2~12 KPa的量程内具有较高的灵敏度和线性度。利用ANSYS软件仿真分析得到设计的压力传感器灵敏度为21.801 mV/KPa,非线性度为0.02%。然后基于MEMS加工工艺设计了SOI表压压力传感器的工艺流程。 相似文献
8.
用于橡胶制品硫化的硫化罐,按照相关工艺规范要求,罐内温度均匀性为±5℃,压力为0. 3MPa,恢复时间为10min。本文针对橡胶制品硫化罐硫化工艺这些严格、特殊的要求,研究了硫化罐的温度控制和测量方法。研究表明:只有采用合理的测量方法,才能准确地测量出温场温度,根据测量结果正确选择控制传感器,科学地设定加热时间、蒸汽压力等参数,方能使设备满足硫化工艺对温度均匀性和恢复时间的要求。 相似文献
9.
为了满足高温环境下的压力测量需求,研制了一种基于CO2激光焊接的高温F-P光纤压力传感器。介绍了MEMS压力敏感结构的制作过程,研究了传感器各组件之间的焊接工艺,实现了高温F-P光纤压力传感器的无胶化封装。在此基础上,对传感器的温度特性和高温压力性能进行了研究。结果表明,采用CO2激光焊接封装的传感器可靠性高,在高温下信号传输正常,未出现光谱能量衰减现象。在300 ℃高温下,传感器在0~2.5 MPa范围内的测量误差小于0.2 %FS,能够实现高温压力的准确测量。但温度对传感器的影响不可忽略,在实际应用过程中需对传感器进行温度补偿。 相似文献