一种适用于193nm光刻胶的硫鎓盐光产酸剂的制备与性质

制备了一种阳离子含有萘基,阴离子分别为对-甲苯磺酸、甲磺酸及三氟甲磺酸的硫鎓盐．它们有高的热解温度和在常用有机溶剂中较好的溶解性．测定了此类光产酸剂在水溶液及聚乙二醇固体膜层中的紫外吸收特性．结果表明,阴离子不合苯基时,在193nm处有很好的透明性．考察了其在低压汞灯照射下的光解性质,在254nm附近的吸收峰随光解进行迅速减弱．此类光产酸剂适用于氟化氩激光(193nm)等的化学增幅型光致抗蚀剂．     

一种新型UVA光敏型季铵盐类光产碱剂

针对光固化领域自由基聚合体系中存在的氧阻聚问题以及UV-LED灯作为光固化领域未来发展一趋势,本文以对UVA段紫外光敏感的硫杂蒽酮作为母核,合成了一种季铵盐类光产碱剂TX-Q-BPh_4。通过~1H NMR和ESI(±)-MS对该结构进行表征,UV-Vis,UV-DSC对其光敏性,光解性能以及光引发性能进行测试,结果表明该光产碱剂TX-Q-BPh_4在365/385/395 nm处的ε均达到10~3数量级,其光照后可光解产Lewis碱叔胺,可应用商业化的UV-LED灯,且该光产碱剂具有良好的抗氧阻聚性能。     

1-取代-顺式-1，2-环己二醇单磺酸酯类酸增殖剂的合成和性质研究

用过氧化氢氧化烯烃得到顺式邻环己二醇，继而和对甲苯磺酰氯反应得到两种1-取代-顺式-1，2-环己二醇单磺酸酯，以溴酚兰作指示剂，用作者自己的方法定量测定了它们在聚乙二醇膜层中的酸解性能，结果表明，在光产酸剂所产酸作用下，在加热条件下这些化合物发生分解并产酸，这两个磺酸酯的储存稳定性不是很好，在极性溶剂作用下易分解，限制了它们在化学增幅型成像材料中的应用。     

新型紫外光产酸剂的合成及其光聚合动力学研究

以2-硝基噻吩,甲基磺酰氯及苯乙腈为原料合成了一种紫外光产酸剂(5-甲磺酸酯亚胺-5H-噻吩-2-亚基)-苯基-乙腈(MTPA),通过傅里叶红外光谱仪、核磁共振仪和紫外吸收光谱仪及热重分析对所合成的产物的结构和性能进行了表征,并利用实时红外(RT-IR)对该引发剂进行了光聚合反应动力学研究。考察了单体、产酸剂浓度对引发速率及单体转化率的影响。结果表明,在一定浓度范围内,随着引发剂浓度增大,聚合速率加快,最终的双键转化率也增高。     

一种新型深紫外正型光致抗蚀剂材料的研究

通过松香酸和丙烯酸的Diels—Alder反应得到了一种二酸——丙烯海松酸．丙烯海松酸有大的脂环结构和良好的成膜性，在固体膜层中，它可以和二乙烯基醚，如1，3-二乙烯氧基乙氧基苯，在加热条件下（80℃以上）发生反应，产物在稀碱水中难溶．这样形成的产物在光产酸剂产生的强酸催化下，在温度高于100℃时，可以迅速分解，从而变成稀碱水易溶．因此，用此二酸、二乙烯基醚和产酸剂可组成一种正型的光致抗蚀剂，当用254nm的低压汞灯曝光时，其感度在30mJ／cm^2以下．     

在膜中测量光生酸剂产酸量的标准工作曲线的建立

本文介绍了1种在膜中定量测量光生酸剂产酸量的标准工作曲线的建立方法。选用罗丹明B作为指示剂,通过其紫外吸光度的改变来反映酸度的变化。用紫外分光光度计测量盐酸、三氟甲磺酸在不同浓度时罗丹明B的特征吸收的变化,选取酸浓度与罗丹明的特征吸收的变化量呈线性关系的线段部分作为标准曲线。光生酸剂曝光后罗丹明B的特征吸收变化对应到标准曲线中,通过计算就可以得出光生酸剂曝光产生的酸量。     

一种基于三苯胺类光生酸剂的制备与表征

成功合成了1种以三苯胺为主体的硫盐光生酸剂,其结构经1HNMR、IR分析确证,并对其物性进行了基本考察,有较高的热分解温度和在常用有机溶剂中有较好的溶解性。并考察了其在相同浓度、相同光强、相同曝光波长(405 nm)下在3种不同溶剂(乙腈、四氢呋喃、二氯甲烷)中的分解及产酸性能,计算出分解量子产率和产酸效率。     

DUV光致抗蚀剂的研究进展Ⅱ——光产酸源、阻溶剂等添加剂部分

(续上期 )在DUV抗蚀剂中除第 1部分已介绍过的主体成膜高分子以外 ,产酸源、阻溶剂及其他一些添加剂也是抗蚀剂体系不可缺少的组分 ,对于抗蚀剂体系的成像性质有很大的影响。下面对其逐一进行介绍。2 2产酸源[72～ 73 ]产酸源是化学增幅抗蚀剂组成物中极为重要的组分。产酸源在DUV光的作用下产酸 ,催化曝光区树脂发生各种化学反应 ,形成潜影。在DUV光致抗蚀剂中的产酸源有 :硫盐、碘盐、三嗪类物质、磺酸酯类化合物、对甲苯磺酸衍生物、砜基重氮甲烷等。其中用得最多的是硫盐。通过研究可知 ,产酸源的结构、性质以及在体系中的含…     

三嗪类光生酸剂的产酸性能研究

采用UV-vis光谱分析的方法,选用罗丹明B为酸示踪剂,对4种新合成的三嗪类光生酸剂(PAG1 -PAG4),分别在405nm和365nm下乙腈中的分解及产酸性能进行了研究,推导计算得到了其分解及产酸量子产率,并对这4种化合物的产酸量子产率进行了比较。实验结果表明405nm光源下4种三嗪光生酸剂中2-(9-葸乙烯基)-4,6-双(三氯甲基)-1,3,5-三嗪(PAG4)的分解和产酸量子产率达到分别为10%,9%,为四者中最高的;2-(4-羟基-1-苯乙烯基)-4,6-双(三氯甲基)-1,3,5-三嗪(PAG2)几乎不分解也不产酸;而在365nm光源下4种光生酸剂的分解及产酸量子产率均很低。     

一种苯磺酸酯类光致产酸剂的合成与性能研究

以苯酐、盐酸羟胺和4-甲基苯磺酰氯为原料,合成了N-羟基邻苯二甲酰亚胺对甲苯磺酸酯,并利用红外、核磁共振和紫外对其进行表征,研究了溶解性、紫外吸收和光刻等性能。结果表明,该产酸剂在常见有机溶剂中表现出良好的溶解性,并在248 nm处有好的透明性,可应用于深紫外光致抗蚀剂体系。     

酸增殖剂研究进展

本综述了能有效提高化学增幅抗蚀剂体系感度的各种类型酸增殖剂及其酸增殖机理．对某些常用于光致抗蚀剂中的酸增殖剂的特性作了介绍．并对它们的应用前景、现存问题和改进方向进行了简单讨论和介绍．     

三嗪类产酸剂的合成及表征

合成了一系列的三嗪类产酸剂,利用IR,EA等分析手段确定了他们的结构,初步测定了所得产品在各类溶剂中的溶解性,并利用UV测定了其具有最大吸收的紫外波长,从而初定其产酸性能。     

非离子型产酸剂——N-羟基邻苯二甲酰亚胺对甲苯磺酸酯的合成与性能研究

以邻苯二甲酸酐、盐酸羟胺和对甲苯磺酰氯为起始原料，合成了非离子型光致产酸剂——N-羟基邻苯二甲酰亚胺对甲苯磺酸酯，对其进行了红外、核磁共振和紫外表征，测定了其化学结构、溶解性和紫外吸收等性能．结果表明，这种非离子型产酸剂较离子型产酸剂在常用溶剂中有非常良好的溶解性，并在248nm处有好的透明性，可用于深紫外光刻工艺体系．     

一种新型酞菁类光蚀刻记录材料的光生酸性质研究

通过研究对甲苯磺酸酯空心酞菁的性质，发现该化合物在紫外光照射下可生酸，是一种光生酸剂．由于酞菁类化合物本身具有光催化氧化反应的性能，因此这类光生酸剂在光蚀刻技术中将有很好的应用潜能．     

新型锍鎓盐类光生酸剂的合成及产酸性能研究

成功合成了两种新型锍鎓盐类光生酸剂,其结构经1HNMR和MS分析确认,并对其基本物性及在405、365nm光下乙腈溶液中的分解及产酸性能进行了研究,通过计算得出了分解及产酸量子产率.结果表明,两种化合物有较高的热分解温度和在常用有机溶剂中有较好的溶解性;在405nm光源下,4-（9′-苯基蒽基）苯基三氟甲磺酸锍鎓盐（PAGS1）和4-（4′-N,N-二乙基-1′-苯乙烯基）苯基三氟甲磺酸锍鎓盐（PAGS2）的分解量子产率分别为10%和15%,产酸量子产率为8.1%和13%;但在365nm光源下,分解及产酸量子产率均很低,说明两种光生酸剂对于405nm波长的光较敏感,适宜作为405nm光源下的光生酸剂.     

h-线敏感光致产碱剂PNCDP的合成与表征

设计并合成了一种对高压汞灯发射光谱中的h-线(405 nm)敏感的新型光致产碱剂(PBG)——N-{[(5-哌啶-2-硝基苄基)氧]-羰基}-2,6-二甲基哌啶(PNCDP).通过红外(IR)、核磁(NMR)以及元素分析对PNCDP的结构进行了表征.紫外-可见光谱(UV-Vis)测试结果表明,与传统的i-线(365 nm)敏感PBG——N-{[(4,5-二甲氧基-2-硝基苄基)氧]-羰基}-2,6-二甲基哌啶(DNCDP)相比,PNCDP的最大紫外吸收波长为395.5 nm,较DNCDP红移了52.5 nm.初步光刻实验表明,PNCDP对h-线具有较好的敏感度.     

光可裂解型LED敏感的光引发剂的研究进展

目前LED光聚合体系所用的光引发剂大多是多组分光引发体系,只有少数是单组分光可裂解型光引发剂体系。光可裂解型光引发剂具有机理简单、引发速率快、应用便利等众多优势。但多数工业上常用的可裂解光引发剂在LED光源下光吸收效率较差,必须红移它们的吸收波长达到与LED适配的效果。因此,研发新型的光可裂解LED敏感的光引发剂是光聚合领域迫切的需求。其中,鎓盐类和肟酯类光引发剂,由于其优异的光化学物理性质成为了研究的热点,本文综述了这两类光引发剂的研究进展,以期为更优异的光引发剂的设计提供有价值的启示。     

光引发剂与LED光源:光固化基础

光固化是指单体、低聚物或聚合体基质在光诱导下的固化过程,一般用于成膜过程,具有高效、适应性广、经济、节能以及环保的特点。早期的光固化光源主要是汞灯,但是其存在使用寿命短、发热高、效率低、不安全环保等缺陷,高效、绿色、环保的LED光源成为光固化领域的热点。系统介绍了LED光固化各种基础的光化学知识和相关的光引发剂进展,包括朗伯-比尔定律、摩尔消光系数、引发剂分子结构及性能等,以便使大家全面了解LED光固化存在问题、解决方法、目前的发展以及应用和未来的发展趋势。     

查耳酮衍生物接枝改性的聚硅氧烷UVA滤光剂

制备了查耳酮衍生物（E）-3-（4-烯丙氧基）苯基-1-苯基丙-2-烯-1-酮（Blank-Cha），（E）-3-（4-烯丙氧基）苯基-1-（4-羟基苯基）丙-2-烯-1-酮（Oxhydryl-Cha）和（E）-3-（4-烯丙氧基）苯基-1-（4-甲氧基苯基）丙-2-烯-1-酮（Methoxy-Cha）。再通过硅氢加成反应将Methoxy-Cha接枝到含氢硅油链上，制备了聚硅氧烷UVA滤光剂（WPUF）。采用NMR、LC-MS及FTIR鉴定产物化学结构，证明查耳酮衍生物和WPUF成功合成。研究了不同取代基对查尔酮衍生物的光吸收性能和细胞毒性的影响。结果表明，查耳酮衍生物摩尔吸光系数ε＞10000，Methoxy-Cha的细胞毒性最低；避光6个月和90 ℃加热12 h后WPUF的化学结构无变化，模拟阳光照射4 h后紫外吸收能力仅损失30.46%，且WPUF在250 μg/mL及以下的浓度不表现出细胞毒性。体外透皮试验结果表明WPUF角质层平均渗透深度为11 μm。体外测定WPUF的SPF值为36.21，与商用防晒剂相当。