激光全息照相在制版工艺上的应用

用激光全息照相的方法,一次形成一个掩模的多重象以代替集成电路制版工艺中的重复步进照相的过程,这样可以保证不同掩模的相对精确套准,能够省略复杂的重复步进的电控和精密机械装置,而且还可以缩短生产周期,降低劳动强度。 为了发展我国的电子工业,我们在党组织的正确领导下,把教学、生产、科研结合起来,对用激光全息照相来制造掩模版的工作进行了试验。经过一年多来的工作,在学习无产阶级专政理论和反击右倾翻案风的推动下,在兄弟单位的支持下,取得了初步成果,并对一些10微米以上线条的版进行了初步的试验制作。 用全息图产生多重象,基本上有两种光路,一种是由光点阵的严格的富里叶变换全息图利用通常的空间滤波器装置形成多重象;另一种是由光点阵的无透镜富里叶变换全息图得到多重象。后者光路简单,对镜头要求低,成象质量高,所以我们采用了后者,它的光路如图1所示。     

大景深多重全息及其应用

根据旋转光楔多重全息术和大景深全息照相的基本原理,本文提出并实现了大景深多重全息术。这种技术是采用参考光补偿光路和旋转光楔调制方式记事大景深物场的多重全息图。这种大景深多重全息照相系统的光路简单、所需光学元件少、调制方法灵活。这是一种通道数可以选择的大景深多重全息术。     

用全息照相制造光刻掩模

现代半导体器件生产过程中需要一套掩模。传统的方法是用精密的分步重复照相机,先制造一块母掩模。然后,用接触印制方法复制成一般常用的光刻掩模。但是,重复照相机成本高,曝光次数多,图象中心距不完全一致,每次套刻也难于对准。这就影响了器件生产的成品率。假若采用激光全息照相的办法,用同一张全息片一次就完成多重图象。这样,每次套版可以保持图象中心距一致,缩短了制造所需要的时间,具有一定的优越性。     

利用付里叶变换全息图的彩色胶片存储

在透明片和参考光路中引入光栅,用三色光照明记录付里叶变换点全息图。用三色光照明再现真彩色象,实现彩色胶片的存储。     

文摘

因傅里叶变换全息图在目标像以外,能再现点对称的图像,故损失掉一半光。因此,本文提出了只再现目标像的哈脱莱变换全息图的方法。当考虑2值相位型全息照相时,因博里叶变换全息图投影相位为0或π,故相位产生误差。而哈脱莱变换则是实数变换,故只用0或π.用2值相位调制器件无误差地显现全息图。哈脱莱变换全息图需要有周期结构,但从哈脱莱变换和傅里叶交换之间的关系看,可以用简单的光学系统实现图像再现。在P_1处配置哈脱莱变换     

基于傅里叶合成全息的彩色全息制作方法

提出了一种新型的傅里叶变换彩色编码彩虹合成全息图的自动化制作方法。根据数字合成全息原理和角度分区假颜色编码技术,三维模型经过图像处理得到拍摄图像并由空间光调制器显示。利用傅里叶变换全息光路和大数值孔径的物镜,在谱面上形成点元。借助计算机设定程序和运动控制系统,自动逐点干涉打印,实现大幅面大视角的彩色编码彩虹全息图的制作。     

用付里叶全息图进行单词互译

全息图可能当作翻译器。最早由Heer-dan于1963年从理论上预言。这个预言由Strok(1965年)和Pennington(1966年)的实验所证实。我们用付里叶全息图进行了单词互译尝试,并通过调制信息来改进效果。一般付里叶全息图是用一束平行光作参考光去与一个物的付里叶谱(物光)相干而记录下来的。从道理上讲,参考光与物光的地位是对等的。用有信息内容的光波作参考光来制作全息图,就可以进行文字互译。本文介绍了记录全息图和“翻译”所用光路。     

喷射现象的全息照相术

为了观测喷射现象中各个粒子在空间的分布以及粒子的形状和大小,我们应用了几种不同的全息照相光路,进行了实验分析.(1)透射式离轴全息照相光路照相时,把激光分为两束,一束用来照明物场,另一束则充作参考光,如图1所示,由物场中粒子散     

全息照相扫描器评述

全息照相扫描器(HS)已在超级市场中用来阅读商品上的条形码,并且已对激光印刷机和复制机以及激光材料加工产生重大的影响。因此,全息扫描器是一种很有应用前途的器件,但目前仍处于工业的开发阶段。由光在全息条纹上的衍射产生光的偏转,其中用空间相干和单色的激光照明移动或转动的全息图而完成光束扫描的。因此,目前可以在衍射和机械运动基础上,理解全息照相扫描。     

位相物体的快速检录技术

位相物体的快速检录技术基本原理是把全息信息存贮和全息干涉术中的两次曝光法、实时法结合起来,用准傅里叶变换光路,通过傅里叶变换全息照相,用两次曝光法把位相物体的两种状态先后快速记录在全息底片上的同一点,以提供观察分析、定量计算的依据。这种方法的最大优点是快速,从而可进行非接触式的低速动态测量,也可实现连续测量、现场测量。另     

多重分数傅里叶变换全息防伪术

基于分数傅里叶变换全息图 (FRTH)的记录和再现的特殊性 ,提出一种记录多重全息图的新方法 ,可发展一种多重FRTH防伪术。即利用简单的分数傅里叶变换系统 ,并改变其分数阶 ,就可以很方便地在一块感光板上分别记录多个物体 (或同一物体的不同部分 )在不同位置上的不同阶的FRTH。制作了多重分数傅里叶变换全息图 ,讨论了其防伪特性 ,并获得了满意的再现结果     

二元位相计算全息图的复制及其应用

对物体进行傅里叶变换,取其实部或虚部进行编码。由于位相只有0°和180°两个值,在频谱抽样单元中只处在两个位置上。取各单元透光孔的高度相同,宽度与该单元的振幅值成正比。由各单元透光孔组成的衍射物便称为二元位相计算全息图。在平行光照明下其再现像为原物体及其厄米共轭像。用成像光路可对这种全息图进行复制,有以下要     

利普曼全息照相

一 前言 最近在各地展出的可用太阳光、电灯光等白光再现的彩色全息图和多重全息图十分引人注目,关心这种全息照相术的人日益增多。全息照相术发明已有30年的历史,这种技术在干涉计量、非破坏性检查等方面已得到部分应用。此外,在使装置重量轻、体积小的光学元件以及显示器方面的应用越来越多,因为显示器可充分利用全息照相的特性:三维图象记录和“再现”。 利普曼全息照相从原理上来说也是可用白光再现的全息图,1962年由苏联的特尼休克提出。顾名思义,是以利普曼的天然色照相原理为基础。但由于记录的干涉条纹的间隔非常窄,在最初阶段再现像较暗,制作也困难,故并不引人注目。后来对记录材料和     

一种收集激光切割热辐射光的光学装置

提出了一种收集激光切割产生的热辐射光的光学装置,该装置可加入激光切割的光路中,不影响激光的正常传输,同时可以对激光穿透和切割过程进行监控.首先,利用ZEMAX进行光路设计,通过特殊的反射镜将热辐射光从激光光路中反射到激光光路外,最终良好地进入到传感器中.然后,利用三维结构设计软件将热辐射光收集光路结构加入到激光切割头的...     

原子全息术的新方法

我们提出了一种制作原子全息图的方法。实验装置如图 1所示 ,主要由 4部分组成 :原子束源、磁光冷阱、菲涅耳波带片和探测系统。图 1原子全息实验装置示意图Ｆｉｇ .1Ｓｃｈｅｍａｔｉｃｓｅｔｕｐｆｏｒｒｅｃｏｒｄｉｎｇａｔｏｍｉｃｈｏｌｏｇｒａｍｓ1)原子束源本实验采用亚稳态 1Ｓ3Ｎｅ 原子作束源 ,它可以通过以下两种方式获得 :( 1)通过高压放电获得Ｎｅ+ｅ Ｎｅ +ｅ( 2 )用 594ｎｍ激光激发产生Ｎｅ +ｈνＮｅ +ｅ　　 2 )磁光冷阱磁光冷阱由激光形成的驻波场和弱磁场组成。在光和原子相互作用过程中 ,借助于光与原子间线性动量共…     

基于频域合成的计算机制半周视彩色彩虹全息

根据光路可逆的原理,提出了一种基于频域合成的计算机制半周视彩色彩虹全息算法。首先对半周视彩色彩虹全息的原理进行分析,总结了观察窗口与频域的对应关系,指出半周视彩色彩虹全息图物光的频谱由三原色的半环形频谱组合而成;使用彩色三维物体在特定方向上的多个投影图像分别进行分色、插值,再进行二维傅里叶变换,在频域内合成半周视彩色彩虹全息的物光频谱,对合成的物光频谱进行二维傅里叶逆变换,取实部,加上一个偏置分量,得到半周视彩色彩虹全息图。采用该算法计算了一个面积为47 mm×47 mm、分辨率为84000pixel×84000pixel的全息图,通过全息输出系统输出,再进行显影定影漂白,实现了可白光再现的半周视彩色彩虹全息图,其显示的三维效果逼真,颜色绚丽,可以同时供多人观赏。     

通过镜头进行圆片—中间掩模对准的远紫外步进机

本文介绍一种具有0.42数值孔径、21.2mm像场尺寸、5×缩小率全石英镜头的新型准分子激光步进机,并报告其设计特色和实验结果。该系统的突出特点之一是采用了工作于633nm波长的直接以中间掩模为基准对准圆片的TTL对准系统。曝光波长同对准波长间焦差大的问题,是用镜头中的专用校正光路来解决的。所用激光器与步进机间的柔性光学接口和控制激光波长的联机校准系统,减轻了以准分子激光器作生产级光学光刻设备新型光源的困难。最后给出了分辨率及套刻精度的实验结果。     

关于全息术一个基本理论问题的研究

1 实验结果 文献[1]认为按图1(a)所得的全息图再现光路可以用图1(b),或图1(c)所示的系统,其中像面是照明光源C的共轭面。文献[2]认为按图1(d)记录的是Fourier变换全息图,输出检测面是Fourier变换透镜的焦平面。文献[1]还认为用图1(e)所记录的Fraunhofer全息图,用与参考波相同的照明光再现时,可以得到如图1(f)所示的结果。     

双片型多光谱富里叶变换镜头的设计

本文描述了一种新型的富里叶变换镜头,即多光谱富里叶变换镜头。给出了密接双片型多光谱富里叶变换镜头的系列化设计结果。     

迂回相位编码的傅里叶变换计算全息图及其再现

光学全息图直接利用光学干涉法在记录介质上记录物光波和参考光波叠加后形成的干涉图样,而采用计算全息(CGH)的方法可不借助参考光直接记录物光波的复振幅信息.如果对迂回相位编码的全息图再进行一次逆的快速傅里叶变换,则可由计算机模拟完成物光波的全息图再现.试验结果也验证了该方法的可行性.