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《半导体技术》1976,(3)
用激光全息照相的方法,一次形成一个掩模的多重象以代替集成电路制版工艺中的重复步进照相的过程,这样可以保证不同掩模的相对精确套准,能够省略复杂的重复步进的电控和精密机械装置,而且还可以缩短生产周期,降低劳动强度。 为了发展我国的电子工业,我们在党组织的正确领导下,把教学、生产、科研结合起来,对用激光全息照相来制造掩模版的工作进行了试验。经过一年多来的工作,在学习无产阶级专政理论和反击右倾翻案风的推动下,在兄弟单位的支持下,取得了初步成果,并对一些10微米以上线条的版进行了初步的试验制作。 用全息图产生多重象,基本上有两种光路,一种是由光点阵的严格的富里叶变换全息图利用通常的空间滤波器装置形成多重象;另一种是由光点阵的无透镜富里叶变换全息图得到多重象。后者光路简单,对镜头要求低,成象质量高,所以我们采用了后者,它的光路如图1所示。 相似文献
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华中工学院激光教研室全息小组 《中国激光》1977,4(5):13-15
现代半导体器件生产过程中需要一套掩模。传统的方法是用精密的分步重复照相机,先制造一块母掩模。然后,用接触印制方法复制成一般常用的光刻掩模。但是,重复照相机成本高,曝光次数多,图象中心距不完全一致,每次套刻也难于对准。这就影响了器件生产的成品率。假若采用激光全息照相的办法,用同一张全息片一次就完成多重图象。这样,每次套版可以保持图象中心距一致,缩短了制造所需要的时间,具有一定的优越性。 相似文献
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在透明片和参考光路中引入光栅,用三色光照明记录付里叶变换点全息图。用三色光照明再现真彩色象,实现彩色胶片的存储。 相似文献
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哈尔滨科学技术大学激光教研室喷射现象研究小组 《中国激光》1981,8(1):59-61
为了观测喷射现象中各个粒子在空间的分布以及粒子的形状和大小,我们应用了几种不同的全息照相光路,进行了实验分析.(1)透射式离轴全息照相光路照相时,把激光分为两束,一束用来照明物场,另一束则充作参考光,如图1所示,由物场中粒子散 相似文献
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Volker G.Gerbig 《激光与红外》1985,(1)
全息照相扫描器(HS)已在超级市场中用来阅读商品上的条形码,并且已对激光印刷机和复制机以及激光材料加工产生重大的影响。因此,全息扫描器是一种很有应用前途的器件,但目前仍处于工业的开发阶段。由光在全息条纹上的衍射产生光的偏转,其中用空间相干和单色的激光照明移动或转动的全息图而完成光束扫描的。因此,目前可以在衍射和机械运动基础上,理解全息照相扫描。 相似文献
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位相物体的快速检录技术基本原理是把全息信息存贮和全息干涉术中的两次曝光法、实时法结合起来,用准傅里叶变换光路,通过傅里叶变换全息照相,用两次曝光法把位相物体的两种状态先后快速记录在全息底片上的同一点,以提供观察分析、定量计算的依据。这种方法的最大优点是快速,从而可进行非接触式的低速动态测量,也可实现连续测量、现场测量。另 相似文献
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一 前言 最近在各地展出的可用太阳光、电灯光等白光再现的彩色全息图和多重全息图十分引人注目,关心这种全息照相术的人日益增多。全息照相术发明已有30年的历史,这种技术在干涉计量、非破坏性检查等方面已得到部分应用。此外,在使装置重量轻、体积小的光学元件以及显示器方面的应用越来越多,因为显示器可充分利用全息照相的特性:三维图象记录和“再现”。 利普曼全息照相从原理上来说也是可用白光再现的全息图,1962年由苏联的特尼休克提出。顾名思义,是以利普曼的天然色照相原理为基础。但由于记录的干涉条纹的间隔非常窄,在最初阶段再现像较暗,制作也困难,故并不引人注目。后来对记录材料和 相似文献
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我们提出了一种制作原子全息图的方法。实验装置如图 1所示 ,主要由 4部分组成 :原子束源、磁光冷阱、菲涅耳波带片和探测系统。图 1原子全息实验装置示意图Fig .1Schematicsetupforrecordingatomicholograms1)原子束源本实验采用亚稳态 1S3Ne 原子作束源 ,它可以通过以下两种方式获得 :( 1)通过高压放电获得Ne+e Ne +e( 2 )用 594nm激光激发产生Ne +hνNe +e 2 )磁光冷阱磁光冷阱由激光形成的驻波场和弱磁场组成。在光和原子相互作用过程中 ,借助于光与原子间线性动量共… 相似文献
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根据光路可逆的原理,提出了一种基于频域合成的计算机制半周视彩色彩虹全息算法。首先对半周视彩色彩虹全息的原理进行分析,总结了观察窗口与频域的对应关系,指出半周视彩色彩虹全息图物光的频谱由三原色的半环形频谱组合而成;使用彩色三维物体在特定方向上的多个投影图像分别进行分色、插值,再进行二维傅里叶变换,在频域内合成半周视彩色彩虹全息的物光频谱,对合成的物光频谱进行二维傅里叶逆变换,取实部,加上一个偏置分量,得到半周视彩色彩虹全息图。采用该算法计算了一个面积为47 mm×47 mm、分辨率为84000pixel×84000pixel的全息图,通过全息输出系统输出,再进行显影定影漂白,实现了可白光再现的半周视彩色彩虹全息图,其显示的三维效果逼真,颜色绚丽,可以同时供多人观赏。 相似文献
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刘恩荣 《电子工业专用设备》1991,20(3):48-56,13
本文介绍一种具有0.42数值孔径、21.2mm像场尺寸、5×缩小率全石英镜头的新型准分子激光步进机,并报告其设计特色和实验结果。该系统的突出特点之一是采用了工作于633nm波长的直接以中间掩模为基准对准圆片的TTL对准系统。曝光波长同对准波长间焦差大的问题,是用镜头中的专用校正光路来解决的。所用激光器与步进机间的柔性光学接口和控制激光波长的联机校准系统,减轻了以准分子激光器作生产级光学光刻设备新型光源的困难。最后给出了分辨率及套刻精度的实验结果。 相似文献
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本文描述了一种新型的富里叶变换镜头,即多光谱富里叶变换镜头。给出了密接双片型多光谱富里叶变换镜头的系列化设计结果。 相似文献