应用热管技术研制的精密采样电阻器

一、引言本文介绍的精密采样电阻器,是为电子束曝光机镜筒光路系统透镜电源研制的,透镜电源稳定度的高低,对电子束光路系统束点的稳定性和再现性,同样起着重要的作用;而透镜电源本身的稳定度要求在10~(-5)以上,精密采样电阻器的精度就要求达到100~(-5)数量级,当然这样高精度的采样电阻器亦可用于其它高稳定度电源。通过本采样电阻的工作电流一般在0.5～1A之间,并可适当调整,电阻器要求长时间的连续使用,而且本身的稳定度不大于3×10~(-6)v的数量级,要做到这些是有很大的困难的。对于透镜电源精密采样电阻器的处理方法是很多的,如有的用变压器油散热,油箱恒温;有的电阻基体采用螺旋管式中间通自来水冷却散热,然后再浸入油箱里恒温处理;还有的采用风冷等,这些所采取的各式各样的媒质散热的控温方法,都有着共同的弱点:结构复杂,使用不方便,从已达到的效果来看,是不很理想。     

亚微米电子束曝光机数控电流源系统

对于亚微米级的电子束曝光机而言,电子光柱体电流源系统的自动化程度及各路电流源尤其是物镜电源的稳定度,对束斑的影响极大。为突破0.1μm的束斑,特研制了一种电流源系统,集高稳定度、高精度、高抗干扰性、大电流、低噪声、多路输出、计算机控制于一体,它的研制成功为亚微米电子束曝光机的自动化调机奠定了基础,并可推广用于其它需要高稳定度数控电源的领域。 系统构成 该系统在结构上抛弃了传统的开环控制方式,首次将电压/频率转换器(VFC)用于连续可调的电源。整个电流源系统由23个模块组成,其中20块电源板输出20路独立的电流;一块8255板作为IBM主机     

电子束物镜及像差分析

电子束曝光系统的设计关键是调整电子束束流和系统曝光分辩率及电流密度。良好的物镜电源稳定度可减少像差的弥散斑,确保电子束束流的高质量。介绍了连续可调的物镜系统,以双 Ｄ Ａ Ｃ１６ 输入控制,将 １００ｋ Ｈｚ 频率的压频转换,完成了一个闭环反馈控制电路。使要求极高的物镜电源稳定度达到２×１０６／２ 小时,满足了 ０１μｍ束斑的要求。     

亚微米电子束曝光机数控电流源系统

本文介绍了亚微米电子束曝光机电流源系统。该系统在国内首次使用计算机实现了自动化调节,系统内关键部位使用了大量先进器件,多达20路独立可调的电流输出,稳定度均达到2×10~(-5)/1小时。其中对稳定度要求最高的物镜电源,由于首次将电压/频率转换器(VFC)用于连续可调的电源系统,形成了一个闭环反馈控制电路,使它达到5×10~(-6)/4小时的稳定度。该系统还具有很强的抗干扰能力,纹波<1×10~(-5)V_(P-P)。这些指标保证了0.1μm束斑的精度要求,它的研制成功为电子束曝光机的自动化调机奠定了基础。     

高稳定电源虚拟测试系统

为了测试电子显微镜高稳定线圈恒流电源的稳定度,设计了一种基于虚拟仪器技术的在线测试系统。该系统硬件平台基于GPIB总线,以8位半数字多用表为高精度电压采集设备,软件系统以LabVIEW为开发平台,可以实时采集处理线圈电流反馈的电压信号。应用该系统测试了稳定度为2 ppm/min的物镜线圈电源。结果表明,该测试系统精度高,反应快,使用方便,满足自动测试高稳定电源的需求。     

电子束曝光系统中的物镜像差和最佳电子束电流

本文讨论微米及亚微米级电子束曝光系统中各种透镜像差对合成透镜弥散斑的影响,分析了最佳电子束电流与末级透镜束会聚半角的关系。计算结果表明,计算模拟技术用于求取电子束曝光系统最佳参数是方便的,该方法很适合于求取个别系统的精确答案;电子枪电源及透镜电源稳定性的提高可以减小透镜像差弥散斑并提高可获得的最大电子束流;衍射像差在亚微米电子束曝光系统中有不能忽略的影响。     

非对称磁透镜物镜的数字计算

采用数字化电子光学设计软件计算了扫描电子显微镜(SEM)物镜的光学特性并能在满足给定的条件下优化物镜设计。本文通过采用已发表的通用数据和用软件计算实际透镜得到的数据来计算电子束斑直径，研究非对称透镜物镜的光学特性。德国Tuebingen大学应用物理研究所的一个扫描电子显微镜电子光学系统采用了本文的计算结果。     

亚微米电子束曝光机镜筒光路与结构

介绍了亚微米电子束曝光机光路与结构设计，该电子光学系统采用透镜内偏转设计，系统象差小，偏转灵敏度高，工件面上电流密度大，通过调试和使用，电子束流、最小电子束斑直径等主要设计指标均达要求。     

Nd:YAG激光器AM主动锁模稳定性的研究

本文着重介绍有关提高锁模激光器稳定性的几项重要技术:研制由三根石英棒支撑的并具有温度补偿结构的稳定谐振腔,获得腔长温度膨胀系数<0.1微米/℃、抗震性能好的结果。谱振腔还带有一个具有独特设计的精密平动微调支架,平动精度达0.01毫弧度;研制200兆赫高效率声光调制器,调制深度为18％,大于最佳锁模时所需的10％调制深度的要求。调制器能在自然空冷的条件下连续长时间稳定锁模运行;研制100兆赫高稳定度射频驱动电源,在0～8瓦输出中频率稳定度优于10~(-8)/天;在锁模激光器中成功地采用了光反馈自动稳光技术;     

改善半导体激光器驱动电源性能的研究

提出了采用通用器件研制高稳定度的连续半导体激光器驱动电源的方案。该电源采用负反馈技术可以向半导体激光器提供 0～ 2 0 0 m A连续可调的高稳定度的驱动电流 ,同时加入了恒温控制 ,保证了激光器的输出光波长的单一性和输出功率的稳定性 ,有效地延长了其使用寿命。实验结果表明 ,连续工作 2 h,其输出电流稳定度为 8.1× 1 0 -5,温度变化范围不超过0 .0 0 3°C。电源具有抗干扰能力强、稳定度高、安全可靠、使用方便、价格低廉等优点。     

用微计算机控制透射电子显微镜

由微机组成的电器系统可靠性高、功能强、操作简便、成本低。一、硬件结构及电性能 AIM65单板机通过接口电路控制DX4型透射电镜的六个透镜电源及照明束的四个偏转电源。为了便于操作,采用了单键控制,键盘布局模拟了DX4型电镜的操作面板设置了一组多功能键使得操作台小型化。显示装置是一块二十位字母—数字模板。物镜电源电流最大为7A,连续可调,稳定度优于2×10(-6)/分,系统设计和调试过程中消除了各种干扰。     

聚焦离子束光学系统中高压电源稳定度对获得亚微米束斑影响的研究

介绍了应用于亚微米微细加工的２级透镜聚焦离子束系统，从象差和散焦的角度利用理论分析和模拟计算，研究了决定光学系统性能的离子源、离子引出极、预聚焦极、聚焦极等高压电源的稳定度对离子束径的影响，得到了束径小于０．２μｍ时电源必须达到的稳定度（纹波系数小于１０－５），最后提及了所研制的高稳定度高压电源。     

高分辨率透射电子显微镜试制中的几个问题

本文简要介绍了DXB2-12型电子显微镜成象系统的光路计算数据,并与实际仪器进行比较。说明采用了强激励物镜的一些特点。再叙述了加速电源获得高稳定度的措施,介绍了关键元件——高压反馈电阻进行老化筛选的方法。     

DXS—3扫描电子显微镜

一、DXS-3扫描电镜是我国首次自行设计研制的电脑控制的高性能扫描电镜。该产品涉及精良的电子光学系统,高稳定度的高压和透镜电源,电脑控制,多功能扫描显示线路,高真空技术及自动控制系统,微米级精密机械,高灵敏度信号探测系统,低噪声宽频带信号放大和处理系统,字符显示,照相记录等技术。二、在研制DXS-3扫描电镜时首先考虑用户普遍关心和迫切需要解决的课题,即仪器技术先进性,性能稳定性和使用方便性。我们采用了计算机辅助设计的方法设计电子光学系统。采用了模块式电脑控制结构控制电气系统。在总体设计中做了适当安排,可派生出不同用户需要的系列产品。     

大型单氟化钙的批量生产

TOKUYAMA公司研制出一种新型透镜材料 ,该材料将对新一代半导体制造用步进机 (缩小投影曝光装置 )的发展起关键作用。该公司在世界上首次成功地拉制出大直径氟化钙单晶 ,并即将投入批量生产。然而 ,制作大尺寸且高合格率的透镜材料仍很困难。为此 ,一些步进机制造公司计划采用下一代电子束和X射线作光源 ,以提高透镜材料的成品合格率大型单氟化钙的批量生产     

用于光纤测量的1310nm/1550nm半导体激光驱动电源

为了实现光纤的精确快速测量, 设计了一种高稳定功率连续可调的1310nm/1550nm半导体激光驱动电源。该电源采用电流串联负反馈技术组成精密恒流源驱动半导体激光二极管,恒温控制电路驱动半导体制冷器,从而保证了激光器输出功率的稳定。控制器局域网络总线电路实现激光源的功率连续可调及激光的选择,通过变速积分PID控制算法消除了积分饱和,加速系统温度的稳定。采用激光保护和软启动电路,实现半导体激光器可靠稳定运行。结果表明,半导体激光器工作在室温25℃时,温度稳定性达0.01℃,激光长期输出功率稳定度达0.018dB。相对于传统的1310nm/1550nm半导体激光光源,该光源稳定性高、稳定速度快、体积小,方便光纤在线测量。     

具有电流补偿的单级直流稳压电源

本文介绍一种能适应市电电压在180～250伏波动的高稳定度精密晶体管直流稳压电源.目前晶体管稳压电源在要求较高,负载电流较大的场合,往往需要复杂的线路或二次稳压.而本电路具有线路简单,负载能力强,稳定度甚高,纹波电压小,且温度稳定性好,调试方便等优点.非常适合于作为低噪声电路的电源,以及作为仪器仪表及实验室的精密稳压电源. 该电路采用了差动放大双端输出形式,恒流源负载,以及负载电流变化补偿电路.并且有过载自动保护.原理图如图1所示.     

摘要

微光夜视仪光学物镜系统的设计何良芳 ,张泽男(浙江工业大学 ,浙江杭州 3 10 0 2 7)针对目前国内微光夜视仪光学物镜系统均采用球面物镜系统 ,因而导致体积 ,重量过大的情况 ,作者根据微光夜视仪物镜的像差 ,传函要求讨论了在微光夜视仪光学物镜系统中如何引入非球面透镜的设计 ,并给出了作者应某厂家要求设计的 1 微光夜视仪光学物镜系统的一种结构 (5片式 )。这种采用非球面透镜的微光夜视仪光学物镜系统与采用球面透镜的系统相比 ,体积与重量大大地减少 ,更能适应使用者的要求 ,而且成像质量也有了比较大的提高。分辨率对生物芯片荧光扫…     

天气雷达回扫充电调制器的应用分析

为了提高发射机输出脉冲幅度的稳定度,研制了平均功率约30kW的脉冲电源,采用回扫充电技术给线型调制器的脉冲形成网络充电。该电源充电、放电分时进行,可控制调制器连通以减小电源纹波影响调制器指标;采用IGBT作为充电开关。研究了临沂新一代天气雷达回扫充电调制器的工作原理和电路组成,最后还阐述了回扫充电电源中重要参数指标。     

大功率全固态发射机用开关电源研制方法

本文分析了某型雷达全固态发射机用大功率开关电源设计的基本原理及研制方法、该电源通过采用零电流准谐振工作方式的单元模块多路时域分割合成的办法、满足了固态发射机所必需的大功率、高效率、低纹波、高稳定度和高可靠性等多指标要求。最后给出了一些实验测试数据。