化学汽相沉积法制SnO2掺杂薄膜及其气敏特性的机理研究

】文中探讨用汽相沉积法制备ＳｎＯ２掺杂薄膜的不同工艺。研究ＳｎＯ２掺杂薄膜的光谱透过率气敏特性,测试掺５％Ａｇ的ＳｎＯ２薄膜在不同比例乙醇气体气敏作用下表面电阻气敏特性曲线。结果表明,汽相沉积法制备ＳｎＯ２掺杂薄膜工艺重复性好,灵敏度高,可用于制造新型的“气敏—光透过性”型气敏传感器。     

光纤传感用的TiO2：V2O5湿敏光学薄膜

用溶胶—凝胶法制备ＴｉＯ２∶Ｖ２Ｏ５光学薄膜，研究了它的湿敏光学特性，并用表面吸附理论、电子理论较好地解析了湿敏—光学特性机理。     

银离子玻璃NO2气敏感传感器的研究

本文报道了一种电流型银离子玻璃固态电解质ＮＯ２气敏传感器,该传感器可在室温下工作,各应及恢复速度较快;能检测低达０．５ｐｐｍ的ＮＯ气体浓度;在０－１００ｐｐｍ范围内与被测气 度具有线性关系;基本消除了记忆效应且不受空气及氧气的影响。     

掺杂ZnO臭氧敏感特性研究

通过主体材料ＺｎＯ掺入多种掺杂剂对Ｏ３气敏特性影响的研究,得到了对Ｏ３敏感的较佳材料,用该材料制作 成的气敏传感器对Ｏ３具有较高的灵敏度、较低秘较好的响应恢复特性。     

一种基于纳米SnO2材料的CO气敏器件的研制

介绍了纳米ＳｎＯ２－ＰｄＯ混合材料及其ＣＯ气敏器件的制备过程,并对该敏感器件的敏感特性进行了测试和分析,结果表明,由纳米材料制备的敏感器件对ＣＯ的敏感特性大大提高。     

气敏薄膜传感器SnO2：Sb的制备及性能研究

利用等离子体化学气相沉积制备了ＳｎＯ２∶Ｓｂ导电薄膜。研究了膜电阻与沉积温度、电极间距及掺杂浓度间依存关系和薄膜阻温特性。测试了薄膜对ＮＯ２气体的气敏性,并进行了理论分析。     

常温SnO2—Pd气敏元件的研制

采用共沉淀方法，制备了ＳｎＯ２和Ｐｄ粉两种主要敏感材料，研制成了常温ＳｎＯ２－Ｐｄ气敏元件。该元件功耗低，小于０．１Ｗ，对Ｈ２，煤气等灵敏，稳定，响应快，小于７Ｓ，恢复快，小于２５Ｓ。讨论了ＳｎＯｘ的结构与气敏性的关系。     

在线分析仪器维修技术(四)

高纯氢（Ｈ２）：９９·９９９％Ｈ２；高纯氧（Ｏ２）：９９·９９％Ｏ２；高纯氮（Ｎ２）：９９９９９％Ｎ２；高纯氩（Ａｒ）：９９．９９９％Ａｒ。１２标准样气的配制标准样气在在线分析器中起着准确度校正和监督作用。维修人员如能掌握标准样气的配制方法和操作技术，对长期保持仪器的分析准确度就有了主动权。标准气体的配制方法很多，有压力配比法、体积配比法、电解配气法、重量配比法和流量配比法等。但是，由于上述配气装置复杂，操作技术难度大，只有少数分析仪器专业制造厂家和研究部门应用较多一些。实际上。分析仪器用户应用…     

氨气泄漏检测材料的研究

简述了氯气等制冷工业中的化学气体的性质与检测方法。详细研究了ＷＯ３系半导体氨敏材料及元件的敏感特性,对Ｉｎ２Ｏ３,ＳｎＯ２等半导体氨敏材料也进行了探讨。     

分光光度法测定脱硫液中PDS浓度的研究

PDS脱硫催化剂是酞氰钴化合物,其水溶液为酞氰蓝色,溶液颜色的深浅随着其浓度的大小而变化,该化合物的吸光度与其浓度成正比例关系,因此,可在特定波长下测定吸光度来决定其浓度,结果令人满意。     

TiO2—K2O—LiZnVO4陶瓷薄膜的制备及其湿敏性能研究

采用溶胶凝胶法制备了ＴｉＯ２－Ｋ２Ｏ－ＬｉＺｎＶＯ４陶瓷薄膜湿敏元件,研究了薄膜的结构和元件的感湿性能。薄膜主要由金红石型ＴｉＯ２构成,化学组成为Ｔｉ：Ｋ：Ｌｉ：Ｚｎ：Ｖ：Ｏ＝１：０．０４：０．１：０．１：０．１：２．４２（原子摩尔比）。工作频率为４０Ｈｚ时,湿敏元件在全湿度范围内具有良好的阻抗一湿度特性及电容－湿度特性,感湿特性曲线线性良好。元件还具有灵敏度高,滞后小,响应快,长期稳定性好等优点     

一种新型密封结构

我厂曾为用户设计制造了６台不锈钢铁路罐车，其盛装的介质为Ｎ２Ｏ４，由于Ｎ２Ｏ４为剧毒、强氧化剂，散发出带刺激性气味的棕色气体，对皮肤、眼睛和粘膜有强烈刺激，吸入会发生延迟中毒，与光气相似，所以其密封性要求很高。从结构上看，罐车罐体内置于封闭的空调箱体内，由此保证罐体内Ｎ２Ｏ４介质操作运行时的温度在－４０～１０℃之间，这是因为Ｎ２Ｏ４沸点为２１３℃，极易分解为ＮＯ２，在常温下与ＮＯ２混合存在，在低于０℃时，几乎只有Ｎ２Ｏ４存在，设计上考虑到非正常情况存在，取设计温度上限为４０℃，下限为－４０℃，…     

NSA—308烟道气多成分气体分析仪

新开发的岛津烟道气多成分气体分析仪ＮＳＡ－３０８可以在一台仪器上同时测定燃烧排气的ＮＯｘ、ＳＯ２、ＣＯ、Ｏ２五个成份。在ＮＳＡ－３０８的分析部，ＮＯｘ、ＳＯ２、ＣＯ、ＣＯ２４成分使用可同时测定的比率式红外吸收式检测器，Ｏ２使用磁风式检测器，同时使用了新开发的高性能、高精度气体分析器ＵＲＡ－２０８。ＮＳＡ－３０８除了具有做为连续监测仪所必需的各种接点信号和报警功能外，还具有最多１０路的输出信号。其次     

一种新颖的氧量测量仪

一种新颖的氧量测量仪上海工业自动化仪表研究所袁蓓蓓一、概述在燃烧系统中（炉窑、锅炉等）的含氧量是很重要的参数，氧量过低，燃料不能充分燃烧会有大量烟气产生、燃烧时氧量太高烟气带走热量太大，能量损失大，燃烧的效率降低，烟中有ＳＯ２、ＳＯ３和氮的化合物ＮＯ...     

陶瓷与灰铸铁在水润滑条件下滑动摩擦学特性的研究

在Ｍ－２００环一块磨损试验机上研究了蒸馏水润滑条件下Ｓｉ３Ｎ４、Ａｌ２Ｏ３陶瓷与灰铸铁（ＨＴ）配副时的滑动摩擦磨损特性，并与这两种陶瓷和０．８％Ｃ钢（Ｔ８）配副相对比；在扫描电镜（ＳＥＭ）下对磨损后的试样表面进行了形貌观察和能谱分析。结果表明：Ｓｉ３Ｎ４／ＨＴ的摩擦系数最小，而且Ｓｉ３Ｎ４与ＨＴ的磨损率均比Ｓｉ３Ｎ４与Ｔ８配副时低得多，其原因是由于在灰铸铁表面形成了一层含石墨的氧化膜；Ａｌ２Ｏ３／ＨＴ与Ａｌ２Ｏ３／Ｔ８的摩擦系数差别不大，但灰铸铁的磨损体积小于Ｔ８。这是由于当Ａｌ２Ｏ３与ＨＴ配副时，很难在ＨＴ表面形成含石墨的表面膜，但ＨＴ中的石墨膜减轻了Ｆｅ向Ａｌ２Ｏ３表面的转移从而降低了磨损。     

微结构气敏传感器制造工艺的研究

本文主要介绍了微结构气敏传感器制造工艺中的关键技术,例如双面光刻、反应等离子刻蚀、硅的各向异性腐蚀、采用溶胶—凝胶镀膜技术制备ＷＯ３敏感薄膜。文中还给出ＷＯ３薄膜的ＸＲＤ和ＳＥＭ表面分析图。对结构和表面形貌进行了分析,并给出传感器的气敏特性曲线。最后对存在的问题进行了简单的讨论。     

WO3对O3敏感特性研究

】实验发现ＷＯ３半导体材料对Ｏ３有好的敏感特性,而且元件的烧结温度和工作温度对其敏感特性有大的影响。在对这些参数优化的基础上,研制出了具有较好特性的Ｏ３气敏元件。测定了元件灵敏度与Ｏ３浓度的关系,初步讨论了元件对Ｏ３气体敏感的机制。     

气敏膜的喷涂—热处理法研究

本文根据气敏光学特性ＳｎＯ２膜的要求，研究采用可控气压喷涂，然后在高温下热处理成膜的方法，使用的设备及工艺方法简单，膜质量好，此法有应用前景     

利用有限元分析工具优化设计微气体传感器结构

利用金属铂的热阻、热敏特性以及SiO2、SiNx良好的绝热绝缘特性，设计一种以金属铂薄层为加热器，叉指状金薄层为信号电极，SiO2和SiNx为隔热和电绝缘层的硅基微结构气敏元件。利用有限元分析工具ANSYS，对该硅基微结构气敏元件的加热衬底的温度场进行模拟和分析，根据分析的结果对所设计的气敏元件优化，优化后的气敏元件热损耗将更小，响应速度将更快。     

掺杂对甲醛气敏元件气敏特性的改善

纳米材料SnO2对大多数VOC气体具有敏感性.文中以SnO2为基料制作了旁热式甲醛气敏元件,为改善甲醛气敏元件的气敏特性,选择了2%Sb,3%Sb,2%Pd,3%Pd,4种比例的掺杂材料,并以低体积分数甲醛作为测试气体,对SnO2气敏元件的气敏特性进行了测试.结果显示:掺杂2%Pd的气敏元件气敏特性良好.