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相似文献
 共查询到20条相似文献,搜索用时 31 毫秒
1.
硅片直接键合制作SOI结构的工艺研究=[刊,俄]1994,23(6).-46~54本文研究了硅片热压键合前化学处理原始硅表面对低温下表面半粘附键合质量和SOI结构质量的影响。采用二次离子质谱方法分析硅片直接键合形成的SOI结构中的杂质分布剖面表明,在...  相似文献   

2.
在Ⅲ-Ⅴ族半导体GaAs外延层上共注入Er和O离子(GaAs:Er,O).经面对面优化退火后,光致发光(photoluminescence-PL)谱中观测到对应Er3+第一激发态到基态4I13/2-4I15/2跃迁,其相对强度较单注入Er的GaAs(GaAs:Er)增强10倍,且谱线变窄.从二次离子质谱(SecondaryIonMasSpectrometry-SIMS)和卢瑟福背散射实验给出退火前后Er在GaAs:Er样品中的剖面分布.SIMS测量分别给出O注入前后Er和O在GaAs:Er,O中的深度剖面分布,分析表明Er和O共注入后形成光学激活有效的发光中心.  相似文献   

3.
极薄SOIMOSFET的2维解析模型=Two-dimensionalanalyticmodelingofverythinSOIMOSFET's/[刊,英]/Jason,C.S…∥IEEETrans.ElectronDev-1990.37(9).-19...  相似文献   

4.
自对准硅化物CMOS/SOI技术研究   总被引:2,自引:2,他引:0  
在CMOS/SIMOXSOI电路制作中引入了自对准钴(Co)硅化物(SALICIDE)技术,研究了SALICIDE工艺对SOIMOSFET单管特性和CMOS/SOI电路速度性能的影响.实验表明,采用SALICIDE技术能有效地减小MOSFET栅、源、漏电极的寄生接触电阻和方块电阻,改善单管的输出特性,降低CMOS/SOI环振电路门延迟时间,提高CMOS/SOI电路的速度特性.  相似文献   

5.
温梦全  周彬 《微电子学》1996,26(3):153-155
采用大剂量氧离子注入(170keV,1.8×1018+/cm2)p型单晶硅,高温退火(1300℃,6h)后形成SOI-SIMOX(SiliconOnInsulator-SeparationbyImplantatlonofOxygen)样品。俄歇电子能谱仪和扩展电阻仪测试表明,该样品表层硅膜的导电类型由p型反型为n型。SIMOX样品的反型是硅中的氧施主所致,由近自由电子的类氦模型计算,SIMOX样品中氧施主的电离能为0.15eV,与早期文献报导的实验值一致。  相似文献   

6.
耗尽态SIMOXMOS晶体管的低频噪声=Low-frequencynoiseindepletion-modeSIMOXMOStransistors[刊.英]/Elewa,T.…∥IEEETrans.ElectronDev.-1991.38(2).-3...  相似文献   

7.
在研究一般MIM(Al-Al2O3-Au)结的基础上,为了克服Al的不稳定性和改善结的性能,我们采用半导体材料Si代替Al,研制成功MIS(Au-SiO2-Si)隧道结,观察到了稳定的发光现象.介绍了MIS结的基本结构和工艺流程,分析了结中SPP的各个模式,讨论了结的发光光谱,阐明了MIS结的发光机理.  相似文献   

8.
基于氧化多孔硅的SOI结构=[刊,俄]1994,23(6)-61~68本文研究了在100mm硅片上基于氧化多孔硅的SOI结构的主要制作工艺过程。所开发的工艺具有操作简单、成本低和生产率高等特点,可以制作出与衬底隔离的0.2~0.5μm厚的无缺陷单晶硅...  相似文献   

9.
ZMRSOI结构的电物理特性:研究方法与试验结果=〔刊,俄〕-1994,23(6)-18~31要制作SOI器件和集成电路,就必须了解硅薄膜和硅/介质界面的电物理特性。但是,由于SOI结构有一系列特殊的特性(具有导电衬底,两个硅/电介质界面,在一定条件...  相似文献   

10.
多层介质上激光区熔再结晶多晶硅法制备的SOI结构的特性=〔刊,俄〕1994,23(6)-32~38众所周知,SOI上制作的CMOS集成电路和单晶硅上制作的CMOS电路相比,具有一系列固有优点,如速度更快、耦合电容更低、封装密度更高、更耐脉冲噪声和电离...  相似文献   

11.
本文研究了新型陶瓷刀具材料JX-2-I(Al2O3/SiCp/SiCw)的力学性能,同A(Al2O3),AP(Al2O3/SiCp),AW(Al2O3/SiCw)和JX-1(Al2O3/SiCw)材料相比,JX-2-I具有较高的抗弯强度(σbb)和断裂韧性KIC,研究结果表明,在JX-2-I陶瓷刀具材料中确实存在增韧补强原协同作用,陶瓷刀具材料JX-2-I的主要增韧机理是界面解离,裂纹偏转和晶须拔  相似文献   

12.
注氟SIMOX隐埋SiO_2的辐照感生电荷分布特性   总被引:3,自引:1,他引:2  
对常规工艺制备的SIMOX(SeparationbyIMplantationofOXygen)材料,注入不同剂量的F+并退火,其电容经(60)Coγ射线电离辐照后平带电压漂移较小,通过同理论值相比较,说明F+的注入减少了SIMOX隐埋SiO2层(BOX:BuriedOXide)的空穴陷阱浓度,增强了SIMOX的抗电离辐照能力.  相似文献   

13.
安德烈 《微电子学》1994,24(3):64-68,71
本文介绍一种确定SOI/MOS结构中沿硅薄膜厚度多子漂移分布和杂质分布的简单方法(其掺杂剖面是随机不均匀的)。这种方法基于使用一种耗尽型晶体管与栅控二极管的组合结构。作者列举在激光区熔再结晶多晶硅制的SOI结构和SOS结构上以相同工艺制作器件的对比研究结果。由这些结果可见,在包含有晶粒间界和子晶粒间界的SOI薄膜中,沿膜厚的载流子迁移率是恒定的,而且远远超过SOS膜中的迁移率。  相似文献   

14.
航空成像光谱水质遥感研究   总被引:39,自引:2,他引:39  
用OMIS-Ⅱ航空成像光谱仪在有地区进行了地表遥感实验,研究了OMIS-Ⅱ波段反射比R(21)/R(18)与藻类叶绿素浓度的关系,由OMIS-Ⅱ遥感图像估算了研究区域内发素浓度分布,并将遥感估算值与地面采样数据进行了比较。结果表明,OMIS-Ⅱ能够提高藻类叶绿素定量遥感的精度。  相似文献   

15.
采用光学和声学方法无损测量SOI结构的特性=[刊,俄]-1994,23(6).-39~45本文研究了采用扫描声学显微方法和随后进行谐波分析的干涉方法无损测量SOI结构的特性的可能性,其结论是用这两种方法来发现SOI结构的不一致性和不完美性是可能的。作...  相似文献   

16.
SOI结构中隐埋介质层的离子合成=-1994,23(6).-3~12从八十年代中期起,SOI结构隐埋介质层离子合成技术就引起了研究界的广泛注意,虽然离子合成化合物本身早已为人们熟知,但真正认识到它在形成SOI结构方面的前景则是在微电子技术发展和离子注...  相似文献   

17.
林成鲁 《微电子学》1994,24(6):42-50
目前,SOI(SiliconOnInsulator)材料的一个主要用途是用来制作抗辐照电路,本文以SIMOX(SeperationbyIMplantationofOXygen)技术为主,详细论述了SOI材料和器件(MOSFET)的辐照特性及其机理,包括总剂量、瞬时和单粒子效应,并以总剂量效应为主。经过恰当的加固工艺和优化设计,可以制造出优良的抗辐照集成电路。  相似文献   

18.
在SIMOX结构中辐照诱生ESR有源缺陷=Irradiation-inducedESRactivedefectsinSIMOXstructures[刊.英]/Stesman,A.…∥IEEETrans.Nucl.Sci.-1990.37(6).-20...  相似文献   

19.
在新材料SIMOX上制作CMOS器件,并采用静态I-V技术,研究了CMOS/SIMOX在(60)Co-γ电离辐照场中辐照感生界面态、氧化物正电荷、阈值电压、静态漏电流等参数的变化。结果表明,在辐照过程中,氧化物正电荷增加较多,界面态增加较少,且NMOS和PMOS"导通"辐照偏置是最恶劣偏置。  相似文献   

20.
SOIMOSFET的跨导=Trantconduc-tanceofsilicon-on-insulatorMOSFET's[刊,英]/Colinge,J.P∥IEEEElectronDev.Lett.-1985.6(11).-573~574用背栅偏压作...  相似文献   

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