双波长激光量块干涉仪减小量块中心长度测量不确定度的措施

该文总结了双波长激光干涉仪研制过程中减小量块中心长度测量不确定度的几项重要措施,该干涉仪对量块中心长度的测量不确定度达到(0.02±0.2L)μm,并已成功应用于高等级量块的自动测量。     

双波长激光量块干涉仪研制

本文介绍了双波长激光量块干涉仪的工作原理,详细描述了仪器的光学,机械设计以及干涉图象处理和量块中心长度自动判读技术,该干涉仪满足1等量块的测量不确定度要求,目前已用于高等级量块的自动化测量。     

接触式量块激光干涉仪测量软件的设计与应用

本文针对接触式量块激光干涉仪的自动测量软件提出一套简便实用的设计方法 ,包括数据结构的定义、测量界面的组成、数据文件的自动处理及测量结果的自动保存等。在实验中 ,测头接触的重复性优于 1nm ,测量量块的重复性小于 5nm。     

国防科工委第一计量测试研究中心量块计量的最新进展

九五期间 ,国防科工委第一计量测试研究中心进行了一等量块标准装置项目的研究工作 ,先后完成了“10 0 mm一等量块自动激光测量仪”、“10 0 0 mm一等量块自动激光测量仪”和“10 0 mm接触定位式一等量块测量仪”三台标准装置 ,组成了完整的一等量块测量系统 ,这三个装置先后于 2 0 0 1年、2 0 0 2年通过了专家鉴定。专家们认为这些装置“测量量块长度的不确定度优于 (0 .0 2 + 0 .2 L) μm,成果对提高我国量块计量水平 ,完善国防长度量值传递体系具有重要意义。其总体水平达到了国际先进。在量块干涉仪误差分离方面 ,处于国际领先水平。”…     

满足一等量块检定要求的接触式激光量块干涉仪

最新研制的接触式激光量块干涉仪主要用于测量一、二等量块的中心长度，其长度测量不确定度达到（0.02 0.2L)μm。文中介绍了其工作原理、测量不确定度分析，给出了量块测量的验证数据。     

激光量块干涉仪研制成功

1979年9月11日至16日,国家计量总局在上海市召开了激光量块干涉仪国家鉴定会,来自全国41个单位的74名代表出席了会议。激光量块干涉仪是由中国计量科学研究院分院、上海市标准计量管理局、中国计量科学     

量块的电脑化测试装置

接触式干涉仪是计量部门测试三等量块的法定仪器。本文介绍了一种基于接触式干涉仪的量块自动测试系统，它以光电探测替代目视估测，免除操作人员的视力疲劳，并能自动处理数据。软件系统以最新的国家检定标准编制，易学好用。     

GLI-100型量块激光干涉仪

本文所介绍的是最近研制成功的GLI—100型量块激光干涉仪,主要用激光波长直接测量高精度量块的长度,又可免去传统方法测量时必须把量块与辅助面相研合的麻烦,本仪器由光、机、电、电感、电子、激光和环境参数(温度、气压、湿度)测量系统等各部分组成,集当代一些高新技术于一体而设计研制成功的自动化、智能化、原理新颖的光波干涉仪。     

用球筋工作台检定大尺寸量块的新方法

接触式干涉仪又名乌式干涉仪,它是检定100mm以下3等、4等量块时主要设备之一,接触式干涉仪一般配有球筋工作台和五筋工作台。在检定时分别用于检定2mm以下和2-100mm量块的长度及变动量。标称长度L≤2.5mm的量块在自由状态下其平面度公差如表1所示,因此国家计量检定规程“接触式干涉仪”中要求,     

探讨双频激光在量块检定上的应用

激光干涉仪在工业上得到应用以来,给长度计量赋予了新的活力。通过描述激光干涉仪的测距原理,探讨在传统的测长机上加装双频激光测量系统,可以将这些仪器的精度检测能力提高一个台阶,并应用于量块检定。     

激光干涉仪在大型三坐标测量机示值误差快速测量中的应用

提出一种使用激光干涉仪快速测量大型三坐标测量机示值误差的方法。描述了校准方法原理,建立了测量模型,探索了试验程序和试验方法,并给出对三坐标测量机示值误差校准的具体方法和步骤,使测量过程中激光干涉仪引入的误差尽可能减少,最后给出校准结果。分别采用激光干涉仪与传统标准量块得到的校准数据比对结果表明,激光干涉仪在大型三坐标测量机示值误差的校准中更加准确、可靠。     

用激光干涉仪校准坐标测量机单轴测量尺寸误差

本文通过与三坐标测量机校准规范规定的采用量块作为标准器的方法进行比较,论证了使用激光干涉仪校准三坐标测量机的可行性。分析了当实物标准器无法满足测量要求时可采用激光干涉仪替代的办法。     

链条测长仪示值误差检定

介绍了量块分段法与激光干涉仪法检定链条测长仪示值误差的方法,并对检定方法作出误差分析。     

立式接触式干涉仪的核查方法及异常值排查

<正>立式接触式干涉仪是三等量块标准装置的主要配套设备,在量块检定过程中,立式接触式干涉仪通过对标准量块与被检量块的微差比较法,取得被检量块的修正值。因此,在检定前对立式接触式干涉仪进行有效的核查,是排除异因、保证检定数据真实准确的基础。笔者现结合多年工作经验,对立式接触式干     

激光量块干涉测量中传感器的应用和校准

本文介绍了双波长激光量块干涉仪中使用的温度、湿度和气压传感器,描述了其工作原理、设计方案、测量不确定度以及校准方法。这些传感器同样可用于其他高准确度长度测量的激光干涉系统中。     

二等量块标准装置测量不确定度估算

二等量块标准装置是指用二等量块作标准，通过乌氏干涉仪、光学计或其它类型的比较仪来检定三等量块的全套装置。本文以乌氏干涉仪为例，试行对三等量块的测量不确定度进行估算。由于某些影响不确定度的因素与量块长度有关，因此本文对１００ｍｍ、５０ｍｍ、１０ｍｍ和１ｍｍ量块的测量不确定度分别进行了估算。     

柯氏干涉仪检定二等量块影响因素探讨

柯氏干涉仪在检定二等量块过程中,根据数据的反复实验与理论推导,发现量块与平晶相研合的质量优劣,成为量块检定数据有效与否的重要因素、发现在量块检定过程干涉仪箱体内空气温度波动、量块温度本身变动对测量结果影响较大。本文就这几方面问题进行探讨,以期对规程的执行有所帮助。     

JJF1304-2011《量块比较仪校准规范》的解读

一、JJF1304-2011制定的背景及目的量块比较仪是检定量块的主要计量仪器,它是采用比较方法测量量块长度的计量仪器。该仪器使用范围广泛、使用量极大。量块比较仪有多种类型,其中,各种光学计、测长仪、测长机、接触式干涉仪等仪器已经制定了各自的检定规程或校准规范。但是,随着科技进步和仪器的更新换代,出现了越来越多的新仪器     

接触定位式量块干涉仪测量不确定度的分析

分析了一台用于测量量块的激光干涉仪的测量不确定度。着重介绍了干涉信号质量,空气折射率及材料热膨胀等因素对测量不确定度的影响。     

新型移相量块干涉仪的研制

研制了一台用于0.5~100 mm量块测量的新型移相量块干涉仪,分别以波长为633 nm和543 nm的两台稳频激光器作为测量光源,通过一根单模光纤引入到干涉仪内。高精密移相器实现5步移相干涉测量,CCD相机采集干涉条纹并计算干涉条纹小数,被测量块长度采用多波长的小数重合法计算。移相量块干涉仪的测量不确定度达到U=0.015μm+0.07×10~(-6)L(L为量块长度,mm)。