电子束抗蚀剂反差的计算

为了更精确地确定电子束抗蚀剂的反差,借助优化的电子散射模型,利用改进的Monte Carlo算法模拟了电子束在固体中的散射过程,得到了不同曝光条件下抗蚀剂中的能量沉积分布,再结合电子的空间分布密度函数,根据反差的定义,提出了一种计算电子束抗蚀剂反差的简单模型,计算结果与实验结果基本一致.对不同曝光条件的反差计算显示,随着电子初始能量的增加,反差值减小,随着抗蚀剂厚度的增加,反差值增大.     

电子束抗蚀剂反差的计算

为了更精确地确定电子束抗蚀剂的反差，借助优化的电子散射模型，利用改进的Monte Carlo算法模拟了电子束在固体中的散射过程，得到了不同曝光条件下抗蚀剂中的能量沉积分布，再结合电子的空间分布密度函数，根据反差的定义，提出了一种计算电子束抗蚀剂反差的简单模型，计算结果与实验结果基本一致．对不同曝光条件的反差计算显示，随着电子初始能量的增加，反差值减小，随着抗蚀剂厚度的增加，反差值增大．     

绿纤石纳米微粒的聚集机制研究

透射电镜明场像、暗场像和选区电子衍射研究表明,绿纤石纳米微粒在葡萄石晶体中呈透镜状聚集体分布于葡萄石晶体的结构缺陷中,其聚集机制至少存在两种形式一是依[100]方向形成平行连生,二是以(100)为双晶面、[100]为双晶轴形成面律双晶。研究方法对研究块体材料中纳米微粒的物理化学行为具有指导意义。     

线阵相干源方位估计的波束域WSF算法实验验证

波束域加权子空间拟合（ｗｅｉｇｈｔｅｄ ｓｕｂｓｐａｃｅ ｆｉｔｔｉｎｇ－－ＷＳＦ）算法保留了阵元域ＷＳＦ算法最佳的目标方位估计性能,而其运算量则有所降低。本针对声呐系统中常用的线阵,通过计算机模拟实验和消声水池物理仿真实验研究了波束域ＷＳＦ算法解相干信源的性能。计算机模拟结果表明波束域ＷＳＦ算法可在低至－８ｄＢ的信噪比上分辨半常规束宽的强相关等功率信源,而水池实验则进一步表明算法可分辨不等功率     

螺旋线电子束轴线上自生场的分析

本文给出作螺旋线运动的电子束在其轴线上的自生电场与磁场的解析表达式。分析了电子束有限截面以及各电子的螺旋轨道不共轴对这二个自生场的影响。本文的结果有助于弄清螺旋电子束与其他电子束相互作用时的平衡态情况。     

Electrification of mineral particles by electron beam irradiation

A novel way for electrification of mineral particles by electron beam irradiation was proposed. The effect of irradiation dose on charge/mass ratio was investigated experimentally. The charge/mass ratio of electrified mineral powders after irradiation was measured by an instrument based on the principle of electrostatic induction. The experimental results showed that the charge/mass ratio is largely dependent on radiation dose and electric physical properties of minerals. The mechanism of electrification by electron beam irradiation is discussed. It is suggested that the essential of electrification by electron beam irradiation is a process of retardation and charge deposition of incident electrons in materials.     

用分析电子显微镜研究快速凝固A18Fe4Ce3Ti合金中的未知相

本文用分析电子显微镜(AEM)对快速凝固Al-8Fe-4Ce-3Ti(重量百分比)条带中—未知相进行了会聚京电子衍射(CBED),X—射线能谱(EDS)及高分辨分析。结果表明:它属于菱方晶系,空间群为R3m,点阵常数a=1.81A(10~(-10)m),C=22.9A.[001]位向下的高分辨像显示了同会聚束一致的对称性。     

低能电子束光刻的Monte Carlo模拟

利用Mott截面和介电函数模型,借助Monte Carlo方法模拟了电子在光刻胶PMMA和衬底中的弹性散射和非弹性散射.通过统计电子的能量沉积分布,发现低能电子的大部分能量沉积在光刻胶中而非衬底,所以在电子束光刻中有着更高的效率.并且还得到了在不同的入射电子能量下,光刻胶完全曝光所对应的的最佳厚度.     

顶空无盲区跟踪的舰载倾斜三轴雷达的研究

从工程实际出发，分析了俯仰不严格水平对雷达测角系统的误差，提出了倾斜三轴的雷达天线座结构形式，讨论了倾斜角度的取值范围，推导出各轴旋转的角度公式，对船摇及目标运动引起的各轴角速度和角加速度的变化给出了切实可行的计算方法，计算和仿真表明，这种结构在工程上可以做到较高的角度跟踪精度，能达到波束无倾斜和全空域跟踪无盲区，并指出此系统可以减少俯仰轴的最大转动角，从而降低系统对俯仰轴的角速度和角加速度的技术要求。     

光从晶体到各向同性介质界面的反射和透射

为了分析光在晶体界面的能量损失,给出了一种求解反射率和透射率的方法。分析了光从单轴晶体入射到各向同性介质表面时的折射和反射,根据在界面处电磁场的边界条件和位相匹配条件,得到了在晶体界面的菲涅耳公式。在晶体光轴取向任意的条件下,给出了反射的o光、e光以及折射光的偏振状态和振幅以及表明各光束间能量关系的折射率和反射率的理论表达式,为晶体器件特性的研究提供了有力的理论工具。数值模拟表明,所得结果满足能量守恒;射入各向同性介质中光的电场(或磁场)与原入射光的电场(或磁场)不再平行;光轴的取向和入射角的大小对折射光的偏振方向和能量有重大影响。     

GH80A镍合金电子束焊接接头旋转弯曲高周疲劳行为研究

随着镍合金电子束焊接在工业中的大量应用,尤其是在航空发动机和燃气轮机等关键长寿命服役设备中的使用,有必要对镍合金电子束焊接接头的高周疲劳属性和断裂机理进行系统的分析研究。本文利用旋转弯曲高周疲劳试验机进行疲劳试验,获得了母材和焊接接头的应力-寿命(S-N)曲线和疲劳断口,同时利用扫描电镜（Scanning Electron Microscope,SEM）对疲劳断口进行了微观特征分析,确定了母材和焊接接头在不同应力幅下的疲劳裂纹萌生区和扩展区,分析了裂纹萌生区位置与应力幅的相互关系。最后,利用有限元分析了焊接接头热影响区微裂纹位置与大小对材料疲劳性能的影响。从现有的试验和模拟结果可以得到：1)母材和电子束焊接接头应力-寿命(S-N)曲线分布趋势一致,但焊接接头疲劳强度要低于母材,在靠近107周次时,两者疲劳强度差距最小;2)在高应力幅（低周疲劳寿命阶段）母材和焊接接头的疲劳裂纹均起源于试件表面并且都是多点萌生断裂,焊接接头疲劳断口位置位于焊接熔合区或热影响区;3)在低应力幅（高周疲劳寿命阶段）疲劳裂纹在试件次表面萌生,焊接接头疲劳断口位于热影响区或焊接母材靠近热影响区处;4) 通过有限元模拟发现微裂纹的存在有利于裂纹的扩展。在拉应力作用下,横向微裂纹更优于纵向裂纹沿着应力方向进行裂纹扩展;随着微裂纹尺寸增大,微裂纹间更易于相互贯通,形成更长的裂纹,从而降低了材料的疲劳性能。综上可知,电子束焊接仅仅影响材料的疲劳强度。疲劳断裂机理和母材一致都为穿晶解理断裂,疲劳裂纹萌生区域位置也和母材一样都受应力幅的直接影响。     

低能电子束曝光的散射研究

采用Mott弹性散射截面和Monte Carlo计算方法进行模拟,将Joy和Lou的Bethe修正公式作为解决能量损失问题的非弹性散射模型。描述电子束入射固体过程,确定散射角、方位角、自由程和散射点处能量等参数。利用能量不超过5keV的低能电子束,模拟在不同厚度的抗蚀剂中进行的刻蚀过程,得到了不同能量电子束在衬底表面光刻的最佳抗蚀剂厚度。     

多光束智能耦合技术研究

通过对多光束光轴耦合对准技术、光束光轴和光瞳实时在线检测技术、光束光轴和光瞳位置控制技术的理论分析,建立了能够实现多光束光轴自动准直并具有自动调整和修复能力的智能化多光束耦合技术手段,设计并搭建了实验系统,开展了技术验证试验,为智能化光束耦合和调整的实际工程应用奠定技术基础。     

In-situ TEM Study on Mierostruetural Evolution of Nanostruetured TiO2

The effect of electron beam on the microstructures and phase transformation of nanostructured TiO2 heat treated at various temperatures for different time was studied by in-situ TEM and SAED. Anatase ex-situ heated at 250℃ and 360℃ transformed to rutile while irradiated by the electron beam. With the increasing sizes and distribution of the powders on the amorphous carbon, the process of phase transformation by the electron beam was encumbered. These evolutions may be due to the changes of vacuum atmosphere and the properties of powders.     

波束模拟法用于粗糙面散射问题的有效性分析

波束模拟方法可用于数值计算宽波束入射，或略入射的粗糙面散射问题，减少所需计算机内存。通过引入能量守恒测度系数和矩量法，以平面理想导体和随机粗糙面为例详细地研究了波束模拟方法在数值计算散射问题时，其计算的精度与入射波束的极化状态、子波束参数和散射面粗糙度之间关系。     

焊接对Zr—Nb包壳管显微硬度和组织的影响

通过对M5锆合金包壳管进行金相分析、TEM分析和显微硬度测试,研究了真空电子束焊接对M5合金显微组织和力学性能的影响．实验结果表明：Zr-Nb合金焊接组织为粗大的马氏体a和d所构成,晶粒度远高于母材,近缝区母材晶粒并未长大．在透射电子显微镜下可清晰看到板条状马氏体．焊缝区域的显微硬度明显高于母材．     

利用强流脉冲电子束对45~#钢进行表面改性

利用强流脉冲电子束对45#钢进行了表面改性处理,并对其显微组织和改性机制进行了分析和讨论。结果表明:材料近表层的显微组织沿电子束注入方向大致可分为4层:熔化层(3～10μm)、热影响层(10～50μm)、应力影响层(50～250μm)、基体组织(大于250μm);显微硬度随轰击次数的增加而增加,最大值出现在50μm左右;多次轰击可以提高耐磨性。     

电子回旋波驱动电流的饱和问题

通过对聚变堆级条件下的电子回旋波电流驱动进行数值模拟,研究了不同发射波功率下的电流驱动,结果表明：随着波功率的加大,驱动电流会变大,但驱动电流的变化并不与波功率的增加成正比,当波功率较大时驱动电流会接近饱和.     

7N01铝合金电子束定点焊熔池输运现象预测

为有效改善真空电子束焊焊缝成形并抑制成形缺陷产生,本文以12 mm厚7N01铝合金为研究对象,基于CFD软件Ansys Fluent深入分析了电子束定点焊匙孔钻取过程及熔池传热和流体输运现象并进行了实验验证.为真实反映电子束流能量密度空间分布特点,建立了考虑束流活性区特征的自适应热源模型并采用VOF算法对气液界面进行实...     

回旋管双阳极磁控注入电子枪分析与数值计算

根据回旋管对电子枪的要求,考虑相对论效应和空间电荷效应,编制了一套大型的计算程序.利用计算机辅助设计,计算出了电极形状、电子轨迹与电子注参量.计算表明,这种电子枪具有速度零散小、层流性较好、体积小等优点.