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相似文献
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1.
计算了应变Si1-xGex层的本征载流子浓度及导带和价带有效态密度。用解析方法研究了它们与Ge组分x和温度T的依赖关系。发现随Ge组分x的增加,导带和价带有效态密度随之快速减小,而本征载流于浓度却随之而近乎指数式地增加。而且,温度T越低,导带和价带有效态密度随Ge组分x的增加而减小得越快,而本征载流于浓度上升得越快。同时还发现,具有大Ge组分x的应变Si1-xGex层,其用Si相应参数归一化的导带和价带有效态密度及它们的积对温度T的依赖关系弱,而具有小Ge组分x的应变Si1-xGex层,上述归一化参数对温度T的依赖关系强,这和目前仅有的文献[8]中,它们与温度依赖关系的定性研究结果相一致。  相似文献   

2.
应变p型Si1-xGex层中载流子冻析   总被引:2,自引:1,他引:2  
本文用解析的方法研究了应变P型Si1-xGex层中载流子冻析现象,研究发现,用Si归一化的Si1-xGex价带有效态密度、随x的增加而减小,而且温度T越低,随Ge组份x的增加而减少的速度越快,与Si相比,常温下Ge组份x几乎对电离 杂质浓度没有什么影响,而在低温下,随Ge组份x的增加,电离杂质浓度随之增加,载流子冻析减弱,这对低温工作的Si1-xGex器件有利。  相似文献   

3.
本文提出了应变Si1-xGex价带结构的等价有效简并度模型.借助这个模型,计算了赝晶生长在(100)Si衬底上的P型Si1-xGex应变层的重掺杂禁带窄变,发现当杂质浓度超过约2~3×1019cm-3后,它在某一Ge组分下得到极大值,而当掺杂低于此浓度时,它则随Ge组分的增加单调下降.与实验报道的对比证实了本模型的有效性.  相似文献   

4.
p型Si1—xGex应变层中重掺杂禁带窄带的计算   总被引:1,自引:0,他引:1  
针对应变Si1-xGex的应变致价带分裂和重掺杂对裂值的影响,提出了该合金价带结构的等价有效简并度模型。模型中考虑了非抛物线价带结构。应用这个模型,计算了赝晶生长在〈100〉Si衬底上的p型Si1-xGex应变层的重掺杂禁带窄带,发现当杂质浓度超过约2 ̄3×10^19cm^-3后,它在某一Ge组分下得到极大值,而当掺杂低于此浓度时,它则随Ge组分的增加单调下降。与实验报道的对比证实了本模型的有效性  相似文献   

5.
本文首次报道了Al/p-Si1-xGex肖特基(Schottky)接触的制备与电学性质.Si1-xGex/Si应变外延层采用快速加热、超低压化学气相淀积方法生长.实验表明,改变Ge组分x的大小可以调节肖特基势垒高度.随着Ge组分的增大,肖特基势垒高度降低,其降低值与Si1-xGex应变层带隙的降低值相一致,界面上费米能级钉扎于导带下约0.43eV处.文中还研究了SiGe合金层的应变弛豫以及Si顶层对肖特基接触特性的影响.  相似文献   

6.
徐至中 《半导体学报》1994,15(3):156-162
采用经验的紧束缚方法,对生长在Si(001)衬底上的应变合金GexSi1-x。的价带结构进行了计算.并与相应组分的体合金的价带结构进行了比较.当考虑应变对电子能带的影响时,采用了经验的标度定则.这里的标度指数根据对Ge、Si的畸变势常数实验值的拟合而决定.文中给出了应变合金及体合金的三支价带沿L-Γ-X方向的色散关系,Γ点价带顶能级、自旋-轨道互作用分裂值△so及轻、重空穴能级在应变下的分裂值△hl随合金组分X的变化关系,三支价带顶的等能面,以及三支价带的空穴有效质量随合金组分X的变化关系.  相似文献   

7.
采用解析的方法研究了应变Si_(1-x)Ge_x层中本征载流子浓度n_i与Ge组分x、温度T、掺杂浓度N的定量依赖关系;拟合了价带有效态密度公式和重掺杂禁带变窄公式。发现在一定掺杂浓度下,本征载流子浓度随Ge组分的增加而变大,并且本征载流子浓度增加的速度越来越快。在一定Ge组分下,本征载流子浓度随掺杂浓度的增加而变大。随着掺杂浓度的增加,本征载流子浓度的增长速度变得越来越缓慢。  相似文献   

8.
采用紧束缚方法对生长在Si(001)衬底上的GexSi1-x合金形变层的电子能带结构进行了计算,并与GexSi1-x合金的能带结构进行了比较.计算结果表明,对大部分合金组分x(0≤x≤0.9),形变层的导带底处在△轴上;当x≥0.9后,导带底处在L点.形变层的直接能隙Eg()及间接能隙Eg(△)和Eg(L)都比同组分x的合金小,其下降量随组分x的增大而增大.形变层的价带顶自旋-轨道分裂值△s。也比相同组分的合金大,其增大值也随合金组分的增加而增加.  相似文献   

9.
根据电子能带的畸变势常数计算了生长在GexSi-x(001)衬底上的量子阱Si/GexSi1-x的电子势垒高度随合金组分x的变化情况,并用包络函数方法计算了不用合金组分x时的量子阱的子能带结构,计算结果表明(001)及(001)导带底电子量阱处在S层,而其它四个导带底能谷的电子量子阱处在GexSi1-x合金层,两类量子阱的电子势垒高度均随着衬底合金组分x的增加而增加。  相似文献   

10.
根据电子能带的畸变势常数计算了生长在GexSi1-x(001)衬底上的量子阱Si/GexSi1-x的电子势垒高度,讨论了电子势垒高度随合金组分x的变化情况。并用包络函数方法计算了不同合金组分x时的量子阱的子能带结构。计算结果表明[001]及[001]导带底电子量子阱处在Si层,而其它四个导带底能谷的电子量子阱处在GexSi1-x合金层。两类量子阱的电子势垒高度均随着衬底合金组分x的增加而增加。  相似文献   

11.
针对应变Si1-xGex的应变致能带分裂及重掺杂对裂值的影响,提出了多子双带结构的等价有效简并度模型和有关算法。模型中考虑了非抛物线能带结构。应用该模型,计算了赝形生长在(100)Si衬底上的Si1-xGex应变层的重掺杂禁带窄变,发现当掺杂超过一定浓度(对于p型和n型合金,该浓度分别约为1.9×1019cm-3和3.5×1019cm-3)后,它在某一Ge组分下得到极大值,而当掺杂低于这个浓度时,它则随Ge组分的增加单调下降。文中还将计算结果与其它未细致考虑应变致能带分裂因素的理论工作进行了比较。  相似文献   

12.
邹吕凡  何沙 《半导体学报》1996,17(9):717-720
用二次离子质谱对As+注入Si1-xGex的快速退火行为进行了研究,Si1-xGex样品中Ge组分分别为x=0.09,0.27和0.43,As注入剂量为2×10^16cm^-2,注放能量为100keV,快速退火温度分别为950℃和1050℃,时间均为18秒,实验结果表明,Si2-xGex样品,As浓度分布呈组分密切相关,Ge组分越大,As扩散越快,对于Ge组分较大的Si1-xGex样吕,Asdispla  相似文献   

13.
采用紧束缚方法对生长在SI(001)衬底上的GexSi1-x合金形变层的电子能带结构进行了计算,并与GexSi1-x合金的能带结构进行了比较。计算结果表明,对大部分合金组分x,形变层的导带底片在△轴上;当x≥0。9后,导带底处在L点。形变层直接能隙Eg及间接能隙Eg和Eg都比同组分x的合金小,其下降量随组分x的增大而增大。形变层的价带顶自旋-轨道分裂值△so也比相同组分的合金大,其增大值也随合金组  相似文献   

14.
用二次离子质谱对As+注入Si(1-x)Gex的快速退火行为进行了研究.Si(1-x)Gex样品中Ge组分分别为x=0.09,0.27和0.43.As+注入剂量为2×10(16)cm(-2),注入能量为100keV.快速退火温度分别为950℃和1050℃,时间均为18秒.实验结果表明,Si(1-x)Gex中As的扩散与Ge组分密切相关,Ge组分越大,As扩散越快.对于Ge组分较大的Si1-xGex样品,As浓度分布呈现“盒形”(box-shaped),表明扩散与As浓度有关.Si1-xGex样品中As的快  相似文献   

15.
在前人优秀工作的基础上,叙述了一个适用于低温和多种基区Ge组分分布的SiGe-HBT电流增益的解析模型,详细推出了它的模型公式。该模型考虑了基区处于非平衡态下的载流子准弹道输运效应对集电极电流Jc和电流增益β的影响,并考虑了SiGe材料迁移率及本征载流子浓度随温度的变化。解析模型的计算结果与数值模拟结果符合较好,证明了解析模型是可信的和有一定精度的。模型计算结果表明:均匀Ge分布、较低的发射区掺杂浓度和较宽的基区有利于SiGeHBT在低温下具有较大的电流增益。  相似文献   

16.
采用基于LMTO-ASA的平均结合能计算方法,研究了在ZnSxSe1-x衬底上沿(001)方向外延生长的应变层异质结ZnS/ZnSe的价带带阶值。研究表明,应变的结果使价带带阶随衬底组分(x)的变化呈非线性且单调的关系;与其他理论计算和实验结果比较,本文的计算结果比较理想。  相似文献   

17.
采用紧束缚方法计算了生长在GexSi1-x(001)衬底上的应变GaAs层带间光跃迁的振子强度以及三次非线性光极化率,讨论了振子强度及三次非线性光极化率随衬底合金组分x的变化关系。计算结果表明:对所有x值,及随x的变小而变小;及随x的变小而变大。对n型GaAs/GexSi1-x(001),应变使和变小;对p型GaAs/GexSi1-x(001),应变使变大,但使变小。  相似文献   

18.
刘兴权 《半导体学报》1998,19(3):177-180
本文利用了光调制光谱,原位测量了GaAs(001)表面Si-δ掺杂结构样品,研究了不同要浓度对Si-δ掺杂相关的光谱结构的影响,观察到了Si-δ掺杂结构中,价带连续态到导带半V-形势阱中子带的跃迁,观察到该跃迁相随掺杂浓度增加先向高能移动,而后达到饱和。  相似文献   

19.
采用半经验紧束缚近似方法对生长在GaSbxP1-x(001)衬底上GaP的电子能带结构进行计算。GaP为间接能隙型的半导体,计算表明,当衬底中Sb组分x≥0.57时,应变的GaP薄层由间接能隙变成直接能隙的半导体。因应变,GaP原来简并的最低X点导带能级及价带顶(Γ点)能级发生分裂。随着X增大,分裂值变大。文中最后计算了价带能级到导带底跃迁的振子强度,对发光效率作了讨论。  相似文献   

20.
计算了具有线性Ge分布的SiGe基区价带有效态密度和空穴浓度的分布,分析了基区内建电场的物理机制,分别采用Boltzman统计和Fermi-Dirac统计给出了内建电场分布的表达式并进行了计算,最后讨论了基区重掺杂对电场的影响。  相似文献   

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