WO3-SnO2薄膜的溶胶-凝胶制备及其气敏特性研究

以无机盐ＳnCl2.2H2O为主体原料、Ｈ２ＷＯ４为掺杂剂、无水乙醇为溶剂,采用溶胶－凝胶工艺制备了nw:nsn=1:1000的ＷＯ３－ＳnO2薄膜,并对共气敏性能进行了研究,实验表明,掺杂量为１％的ＷＯ３－ＳnO2薄膜在常温下对Ｈ２Ｓ,ＮＯx气体具有较好的气敏性能,对Ｈ２Ｓ气体的敏感温度为１００℃,对ＮＯx气体的最佳敏感温度为７０℃。     

SnO2微粉的制备及其LPG气敏特性研究

应用溶胶－凝胶法,以非醇盐为起始物,研制了纳米级ＳnO2微粉,通过掺杂不同的催化剂和添加剂的实验,获得了对ＬＰＧ具有较高灵敏度和选择性的实用元件,比较发现,其灵敏度和选择性优于用常规方法制备的ＳnO2元件。     

溶胶-凝胶法制备的SnO2薄膜气敏特性研究

以SnCl4·5H2O为原料、用Sol-gel法制备出了SnO2薄膜,并对该薄膜的气敏特性进行了测试.结果表明,SnO2薄膜低温下对乙醇气体有较高的灵敏度和较快的响应恢复时间,且长期稳定性较好.     

溶胶－凝胶法制备CrO_x／SnO_2多层薄膜气体传感器

通过溶胶－凝胶浸渍涂层方法合成了ＣｒＯ＿ｘ／ＳｎＯ＿２多层薄膜，同时添加Ｎｉ，ｐｄ等催化剂，添加量为１．０％；薄膜透明，厚度约为０．４～０．６μｍ。这种新型的薄膜传感器对低浓度还原性气体、可燃性气体具有较高的灵敏度，它具有气体传感器所必须的良好的稳定性，能用于检测环境可燃性气体。     

用PECVD制备的SnO_2薄膜气敏特性研究

ＳｎＯ２薄膜制备及其应用日益受到人们的重视。本文阐述了用低温等离子体化学气相沉积法制备ＳｎＯ２薄膜的工艺，并研究了所制得的纯净及掺杂Ａｇ，Ｐｄ的ＳｎＯ２薄膜的气敏特性。此法制得的元件对还原性气体，尤其是低浓度Ｈ２Ｓ，Ｃ２Ｈ５ＯＨ具有很高的灵敏度及快速的响应．     

SnO_2－SiO_2双层薄膜氢敏元件的特性研究

采用溶液－凝胶浸渍涂布工艺在Ａｌ＿２Ｏ＿３陶瓷管上制备了掺杂ＳｎＯ＿２气敏薄膜；利用高温热解法在ＳｎＯ＿２薄膜表面覆盖ＳｉＯ＿２气体分离膜后制得双层薄膜气敏元件。分别测试并比较单层和双层薄膜元件的气敏特性，结果表明：单层薄膜元件对可燃性气体无选择性、响应和恢复时间短；而双层薄膜元件对氢气表现出极高的灵敏度和优越的选择性，其响应和恢复时间都比单层薄膜元件有所延长，结合实验结果，从理论上阐述了双层薄膜元件对氢气的敏感机理。     

添加剂对SnO_2气敏材料敏感特性的影响

SnO_2材料是研究最早,应用最广的气敏材料之一。在实用过程中,需添加少量的贵金属以控制SnO_2的灵敏度和选择性。采用浸渍法和化学共沉淀法制备了15种金属或金属氧化物掺杂的SnO_2气敏材料。通过比较它们之间的气敏性能,发现Ag,CuO,ZnO可作为SnO_2普敏元件的廉价添加剂。ZnO和RE_2O_3的掺杂可明显提高SnO_2对酒精的气敏选择性。此外,添加剂Ag和CeO_2与基体材料SnO_2之间的电子相互作用也被发现。添加剂对SnO_2气敏性能的影响:     

Sol－gel法制备的纳米α－Fe_2O_3的结构与性能

用Ｓｏｌ－ｇｅｌ法制备了平均粒径６ｎｍ的均匀α－Ｆｅ＿２Ｏ＿３超微细粉，用ＴＧ－ＤＴＡ，ＸＲＤ和ＴＥＭ分析了样品的稳定性和结构，并测定了该样品的气敏性能；结果表明，用该材料制成的气敏元件对酒精有较高的灵敏度和较好的选择性。     

ＣuO-BaTiO3系复合材料及其ＣＯ２气敏特性研究

用溶胶－凝胶法合成的ＢaTiO3与市售ＣuO混合，经烧结得复合材料，制成电容式气敏元件，当ＣuO的掺入量与ＢaTiO3的物质的量之比为１．１：１时，元件可在较低温度下获得较高灵敏度，此外还发现此元件在常下也对ＣＯ２敏感。     

溶胶-凝胶法制备的纳米In2O3气敏性能研究

以氯化铟为前驱体 ,通过溶胶 -凝胶法制备了纳米In2 O3 颗粒 .经TG -DSC热分析表明 :In(OH) 3 在 2 72 9℃附近脱水形成In2 O3 .经XRD ,TEM等手段表征的结果显示 :所合成的纳米In2 O3属立方晶型 ,晶粒尺寸约 2 0nm .气敏性能测试结果表明 :纳米In2 O3 气敏元件对TMA及NH3 灵敏度高 .通过与某公司提供的粒度为 3.0 77μm的In2 O3 制成的气敏元件比较得知 ,纳米In2 O3 气敏元件对TMA的灵敏度提高特别明显 .     

淀积和掺杂方法对氧化锡薄膜气体灵敏度的影响

采用蒸发法、反应离子溅射法和等离子增强淀积法３种方法，在ＳｉＯ＿２－Ｓｉ衬底上淀积一层ＳｎＯ＿２薄膜，在这层薄膜内用反应离子溅射或蒸发法掺人微量Ａｌ．比较这些掺杂和未掺杂样品对氢气响应灵敏度的差别，研究了响应灵敏度差别与薄膜的微观结构和表面原子价态之间的关系．     

SnO2主体材料气敏振荡特性的进一步研究

经对以ＳnO2为主体材料的掺杂Ｐd的振荡型气敏元件的实验研究和分析,对其振荡机理获得了进一步的认识：掺杂Ｐd是发生电导振荡的必要条件;高浓度的Ｈ２对振荡的抑制作用;某些气体对元件的振荡特性变能产生影响,而振荡频率的高代取决于气体吸附反应产物的能力;该类型气敏元件在低温或常温下对Ｈ２具有较好的敏感特性。     

用SDS微乳液合成SnO2微粉的研究

用化学沉淀法、十二烷基硫酸钠（简称ＳＤＳ）微乳液介质法分别合成了ＳnO2微粉,并将其制备成旁热式气敏元件,进行了气敏性能测定。结果表明,用ＳＤＳ微乳液合成的ＳnO2纳米微粉,可以提高ＳnO2气敏元件对某种气体的灵敏度和选择性,对ＳnO2气体传感器的开发具有一定的价值。     

热处理温度对氧化锡气敏特性的影响

利用硝酸氧化法、化学沉淀法合成了纳米ＳｎＯ２及贵金属掺杂ＳｎＯ２材料,并对合成材料进行了物相表征和气体灵敏度测量．结果表明：在４００℃～９００℃热处理温度范围内,ＳｎＯ２的平均晶粒度随处理温度升高而增大,但均＜４０ｎｍ;纯ＳｎＯ２材料的气体灵敏度随平均晶粒度的增大而减小,主要受尺寸效应控制,而贵金属掺杂ＳｎＯ２的气体灵敏度受尺寸效应和催化效应共同控制;通过控制掺杂和热处理温度可改善ＳｎＯ２的气敏性能,实现对可燃气体的普敏检测或选择性检测     

粉末溅射SnO2/CeO2薄膜气敏元件的性能

通过对粉末溅射SnO2/CeO2薄膜气敏元件性能的测试和探讨,总结出反应升温△trea与气体浓度C存在关系△trea=(ACn)/(1+BCm)(其中A,B＞0,n＞m＞0),同时发现湿度对灵敏度的影响很大而对相对灵敏度影响不大;为确保测量的可靠性应避免用于测量高浓度气体,同时注意稳定测试电压,如用相对灵敏度进行测量,则可以减小湿度对测量结果(测量值)的干扰.     

制备方法对Ag－SnO_2材料结构与气敏性能的影响

采用化学浸渍法和光照分解法合成了银掺杂的ＳｎＯ２气敏材料，用Ｘ射线衍射法分析了材料的物相组成，用Ｘ光电子能谱研究了材料的价键结构，用静态配气法测试了材料的气敏性能．结果表明：浸渍法Ａｇ－ＳｎＯ２的气敏性能优于光照分解样品，光照波长为４１５ｎｍ时，样品的气敏性能优于其它波长照射的样品。经ＸＲＤ谱图分析，浸渍法Ａｇ－ＳｎＯ２样品没有Ａｇ物相分离，而光照法样品出现Ａｇ２Ｏ２和ＡｇＣｌ物相。浸渍法样品的ＸＰＳ谱图表明，Ａｇ在ＳｎＯ２的表面以Ａｇ和Ａｇ２Ｏ组成．