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建立了非晶铟镓锌氧化物(a-IGZO)薄膜晶体管(thin-film transistor, 简称TFT)的仿真模型,仿真分析了IGZO半导体层带尾态密度和沟道层厚度两个参数对IGZO TFTs特性的影响规律.研究结果表明,当半导体层带尾态密度增加到1.5×1019 cm-3·eV-1及以上时,器件电学特性受深陷阱态影... 相似文献
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<正> 非晶硅薄膜的光学及电学性质与共电子局域态分布紧密相关。为了改进非晶硅薄膜器件的性质,如太阳能电池、薄膜晶体管等,需要低局域态密度的材料,因而测量并了解局域态的性质十分重要。局域态包括带尾态、缺陷态及亚稳缺陷态。本文着重讨论缺陷态及亚稳缺陷态。 相似文献
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多晶硅薄膜晶体管泄漏区带间隧穿电流的建模 总被引:1,自引:1,他引:0
讨论了带间隧穿(BBT)效应在多晶硅薄膜晶体管所有的泄漏机制中占主导地位的条件因素,说明了在高场或低温情况下,泄漏电流主要来自带间隧穿.考虑了BBT的两个产生区域--栅漏交叠处和靠近漏端的PN结耗尽区,分析了陷阱态密度以及掺杂浓度对BBT电流的影响,最后提出了一个适用于多晶硅薄膜晶体管泄漏区的带间隧穿电流模型. 相似文献
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多晶硅薄膜晶体管的表面氮钝化技术 总被引:2,自引:0,他引:2
采用N2O和NH3等离子钝化技术对多晶硅薄膜表面和栅氧表面进行了钝化处理。实验结果表明,该技术能有效降低多晶硅薄膜的界面态密度,提高多晶硅薄膜晶体管性能,二次离子质谱分析表明在p-Si/SiO界面有氮原子富积,说明生成了强的Si-N键。 相似文献
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对非晶In-Ga-Zn-Oxide薄膜晶体管,假设能隙中陷阱态密度呈指数分布,给出了解析的电流模型。运用薄层电荷近似的方法推导陷落电荷和自由电荷表达式,并基于此给出了基于表面势的电流表达式。在此电流表达式的基础上,通过泰勒展开,给出了基于阈值电压的电流表达式。基于表面势和基于阈值电压的电流表达式的计算结果与测量数据相比较,符合得很好。 相似文献