高反膜绝对反射率的精确测量

利用光学谐振腔的透射谱特性，通过测量其透射光谱的极大、极小值，求出高反射率膜片的绝对反射率，测量误差为１０＾－４量级。     

高反射率193nm反射膜的实现

对应用于193nm反射膜的基底材料、薄膜材料、沉积技术与主要沉积工艺参数进行了分析与优化选择,在此基础上进行了193nm反射膜的设计、制备及后处理,实现了时间稳定性与环境稳定性良好的193nm反射膜,反射率达98%以上.     

35—50nm真空紫外波段的高反射率多层膜反射镜

以快放电或可见短脉冲激光泵浦的台式Ｘ射线激光器的出现［１］使实验室规模的相干Ｘ射线实验成为可能［２～４］,实验装置中至今仍很缺乏的一个重要元件是用于操纵光束的高反射率反射镜。设计制造波长在３５～５０ｎｍ范围的反射膜层相当困难。在更短波长上,比如用Ｍｏ－Ｂｅ（λ＝１１．５ｎｍ）和Ｍｏ－Ｓｉ（λ＝１３ｎｍ）做成的多层反射镜的正入射反射率已达到６０％［５］。而这里所讨论的波段正好是落在长波范围（其固体光谱由价电子激发产生）和短波范围（其内壳电子激发具有关键重要性）之间。在这个光谱波段,既不能使用Ａｌ和…     

硅镜热畸变研究

从理论上和实验上对硅镜的热变形的动态过程作了研究。在变形之初硅镜表面的位移变化很快。在注入激光功率为２００Ｗ，硅镜的吸收率为７０％时，７０×８ｍｍ硅镜在注入激光功率２ｓ后热应力引起的挠变形就达到０．７６μｍ。这对于高功率短波长激光器是一个不容忽视的问题。     

平面COIL腔镜高反射率的精确检测

直型和折叠型衰荡光腔相结合技术精确检测了一组平面ＣＯＩＬ高反腔镜在１．３１５μｍ的实际反射率。实验测得ＣＯＩＬ平面高反腔镜反射率高达９９．９３１％,测量精度为１０＾－５,本技术对镜片的反射角度,基底材料透光性能及尺寸无特殊要求,可由反射率相对较低的腔镜,测量高反射率率镜片。     

低反射率光纤镜的制造

低反射率光纤镜是采用机械连接的方式在光纤的粘结端用一层ＴｉＯ２介质膜涂覆而成。当光纤镜的反射率为０．１％时，插入损耗为０．０５５ｄＢ－０．３ｄＢ，平均０．１５ｄＢ。     

高斯反射率镜腔的热稳定性研究

基于对谐振腔热稳定性的详细研究,本文指出以往文献的结论只适于简单驻波腔,给出了基模热稳腔的新定义:高斯光束复参量q不随热焦距f变化。根据这一定义,我们对高斯反射率镜谐振腔的热稳定性进行了讨论,并指出此时谐振腔的Fresnel数亦是热稳的。     

可变反射率镜激光谐振腔研究

本文报导了可变反射率镜激光谐振腔的特点和实验结果。指出这种腔是改善激光束质量有效的方法。     

变反射率镜激光谐振腔输出光束特性分析

推导了变反射率镜激光谐振腔输出光束的传输特性，求得了其光斑大小Ｗ（ｚ），并对结果进行了分析。     

大尺寸硅基体633nm和3.5～4.1μm双波段高反射膜研制

硅由于透光区域较宽,便于光学系统使用而经常应用于中波红外光学系统中。但是,以其作为基底,镀制0°～22.5°入射、633 nm与3.5～4.1μm双波段的反射膜却具有相当大的难度,尤其是φ300 mm等大尺寸硅镜引起的牢固度问题。以红外光学和薄膜技术为背景,介绍了大尺寸硅基体反射膜的特性、制备及测试方法。由于红外区可选用的薄膜材料较少,兼顾膜层的制备、光谱特性及可靠性满足等方面因素,最终采用氟化镱(YbF3)作为低折射率材料。经过多次实验,采用速率控制、离子辅助等工艺方法,选取合适的基底温度,解决了在大尺寸硅基体上由于膜层过厚以及YbF3膜层严重应力作用而导致的膜层龟裂问题,最终研制成功符合使用要求,且可靠性和光谱特性皆优的双波段反射薄膜。     

图形分析法求半导体激光器端面减反膜的有效反射率

采用图解的方法,对镀制在半导体激光二极管(LD)端面的单层减反射膜的实际效果进行了分析.研究表明:在减反膜的反射率曲线的谱线宽度有限的情况之下,LD镀膜面上的有效反射率Reff一般均高于反射率曲线的最小值Rmin;对LD来说,存在着一个最佳波长λopt,当反射率曲线的最小值所处的波长λf与之相等时,Reff最接近Rmin.     

软X射线高反射率多层膜反射镜

日本松下技术研究所用准分子激光CVD工艺技术实现软X射线聚光用高反射率多层膜反射镜,这种反射镜是在硅基板上由钨(W)和硅(Si)交互沉积的多层膜(W/Si)构成椭圆柱面反射镜(尺寸:55×55mm~2,短半径60mm),(图1).多层膜的各层,在基板纵剖面内的膜厚是不同的.该椭圆形反射镜能把点光源发出的软X射线聚成光束.所发出的两条光线能聚焦成一点.     

纳秒脉冲激光加工高反射率铝膜

为了研究基于近红外纳秒脉冲激光的高反射率金属薄膜的加工可行性以及加工效果, 采用纳秒脉冲激光对高反射率铝膜进行激光加工, 分别测量了在不同激光光斑尺寸和不同激光能量的条件下, 铝膜表面所发生的烧蚀形态变化。结果表明, 即使铝膜表面反射率高达96%, 依然能对铝膜进行激光加工; 使用较高功率激光对铝膜表面进行离焦加工(能量密度约小于1000J/mm2)的烧蚀图样比使用较低功率激光对铝膜表面进行对焦加工(能量密度约大于2000J/mm2)的烧蚀图样更加规则。相关实验结果对激光加工高反射率材料时激光参量的选择可起到一定的指导作用。     

多孔硅膜的半峰值宽度小于10nm的针形发光锋

通过改变电化学腐蚀生成多孔硅膜的工艺条件，了它的发光峰形态的变化，第一次从实验上观测到多孔硅膜的针形发光激光谱和发射光谱，其半峰值宽度小于１０ｎｍ，讨论了形成针形峰的可能机理。     

扫描镜反射率随入射角的变化及其定标

本文概述了航天器扫描镜的反射率随入射角变化的现象及其定标方法,它对于我国对地观测航天器的反射镜定标具有现实的参考价值。     

一种用于镀制梯度反射率镜的遮蔽挡板的设计

针对所设计的单横模Nd∶YAG激光谐振腔对梯度反射率镜径向膜厚分布的要求,介绍了一种用于镀制梯度反射率镜的遮蔽挡板的设计方法。从常规圆形孔径的遮蔽挡板来分析,比较了采用圆形孔径挡板所得的膜厚分布与设计要求的差别,建立了精确设计遮蔽挡板的数学模型,提出了设计遮蔽挡板的算法,并编程计算出具体的遮蔽挡板的孔径尺寸及安放位置,以获得完全合乎设计要求的变膜厚层沿半径方向的膜厚分布。     

基于实数编码自适应遗传算法的膜系优化设计

提出一种基于实数编码自适应遗传算法的膜系设计新方法，并将该方法与常用设计方法及传统遗传算法设计结果进行比较．结果表明，在相同设计要求下，用实数编码自适应遗传算法可以得到更加合理的膜系结构．理论和实践均表明该方法是高效、可靠的．     

利用介质膜高反镜实现“猫眼”目标有效隐身

针对激光主动探测系统的主要工作波长为1 064nm,提出了一种利用介质膜高反镜实现"猫眼"目标隐身的方案。利用单波长介质膜高反镜的反射率特性,将介质膜高反镜与"猫眼"目标光轴以一定角度装配,推导了加载介质膜高反镜的理想"猫眼"目标回波功率模型,并给出了典型算例。通过实验方法分析了介质膜高反镜的反射率特性,修正了45°激光入射角的平均反射率值。典型"猫眼"目标的外场实验表明,在有限"牺牲"成像质量的前提下,介质膜高反镜可大大降低"猫眼"目标的"猫眼"效应,实现光电装备的有效隐身。