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本文用椭偏光法结合阳极氧化剥层技术研究了(31)~P离子注入硅的损伤分布及在红外辐照快速退火中的再结晶机理。结果表明,对于1OOkeV,5×10_(14)cm~(-2)(31)~P离子注入硅,注入区形成了970(?)的隐埋非晶层。将此样品在1100℃源温下辐照30秒,非晶层从与单晶衬底的交界面处向表面固相外延再结晶240(?),外延速率为8(?)/秒。 相似文献
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<正> 一、引言 强激光脉冲辐照固体靶时,由于烧蚀气体的反冲,将产生一种高压力脉冲作用在靶的表面,在靶中激起激波,可能使靶发生层裂破坏。这是一种值得重视的脉冲激光破坏机理。 为了对层裂机理进行研究,用实验方法测出材料中激波的传播过程,求出激波传播 相似文献
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超短激光脉冲对硅表面微构造的研究 总被引:6,自引:6,他引:6
在特定的气体氛围下,用一定能量密度的超短脉冲激光连续照射单晶硅片表面,制备出表面具有准规则排列的微米量级锥形尖峰结构的“黑硅”新材料。不同背景气体下的实验表明,激光脉宽和背景气体对表面微构造的形成起着决定性的作用。具体分析了SF6气体氛围中,皮秒和飞秒激光脉冲作用下硅表面微结构的演化过程。虽然两者均可造成硅表面的准规则排列微米量级尖峰结构,但不同脉冲宽度的激光与硅表面相互作用的物理机制并不相同。在皮秒激光脉冲作用下,尖峰结构形成之前硅片表面先熔化;而飞秒激光脉冲作用下尖峰的演化过程中始终没有出现液相。对材料的光辐射吸收的初步研究表明,该材料对1.5~16μm的红外光辐射吸收率不低于80%。 相似文献
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AM50镁合金激光冲击强化实验研究 总被引:16,自引:9,他引:16
为了研究激光冲击强化对镁合金性能的影响,采用钕玻璃脉冲激光(波长1054 nm,脉冲宽度23 ns)对AM50镁合金试样表面进行冲击强化处理,并对其表面形貌、微观组织、显微硬度、残余应力进行实验测试与分析。结果表明,在激光功率密度为3.1 GW/cm2的强脉冲激光作用下,试样表面留下光亮致密的微凹坑,凹坑深约27μm;表层材料发生高应变速率的塑性变形,材料内产生大量位错与孪晶,强化层深度约0.8 mm;冲击区的显微硬度明显增加,表层材料的显微硬度比基体约提高58%;冲击区表面存在残余压应力,数值高达-146 MPa。实验结果表明,激光冲击镁合金的强化效果明显。 相似文献
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N/A 《激光与光电子学进展》1978,15(1):48
背景:最近几年高功率激光器已成为金属处理的重要工具,正在探索称为“激光上光”的技术,用来形成髙抗腐蚀性和抗疲劳性的非晶金属和超精细的均匀微型结构。高能量密度的激光器可在表面下层受热最小的情况下使材料表面形成小液池结构,这便能获得极快的冷却速率。 相似文献
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《激光与光电子学进展》2001,(1):15-16
目前这是激光技术的一个新领域。激光烧蚀加工各种材料(金属、半导体、聚合物)的表面,用飞秒脉冲在这些表面形成微结构的质量,要比用长脉冲加工高得多。在这次研讨会上,有关用短脉冲(纳秒范围)和超短脉冲(皮秒和飞秒范围)来进行激光烧蚀的报告大体上可分下面几个:
* 用钕激光脉冲和准分子激光脉冲烧蚀金属和其他材料(石墨、蓝宝石)时机理的实验和数值研究; 相似文献
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王文耀 《激光与光电子学进展》1986,23(9):45
英国索尔福德大学研究人员正利用碘激光器产生的近红外脉冲使吸收材料的温度在几微微秒内升高。他们用这一装置来加热处在化学平衡的小体积含水样品。水先吸收碘激光辐射,而以直径为16 mm的激光束加热适当大小的样品。激光脉冲过后,平衡改变,温度升高,此时对反应速率进行监测,一般都能测定反应的详细机理。虽然通过聚焦激光束或使用强吸收材料能使温度升高较大,但是在研究快速反应时只能得到1 ℃的温升。 相似文献
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分别采用脉冲宽度为100 ns、3 ps激光对厚度为80μm的Zr-21Cu-4Al-1Ti(ZT1)非晶合金进行切割试验,研究激光加工非晶合金的适应性。结果表明:纳秒激光加工的热效应明显,加工区域存在重铸、裂纹、飞溅等典型的热致缺陷,并且在外侧形成了较大范围的晶化区域,晶化区域的材料表面具有独特的纹理和颜色。皮秒激光可实现近“冷”加工,加工区域呈现非热熔性去除形貌,无重铸、裂纹、飞溅等热致缺陷,并且未发现晶化。在大气环境、多脉冲、高能量密度等条件下,纳秒、皮秒激光的加工区域均出现了不同程度的氧化。前者发生在整个热影响区表面,后者只发生在激光辐照区域。 相似文献
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采用纳秒脉冲激光对石化设备普遍使用的20钢表面锈蚀层以及油污进行了激光清洗试验,通过正交实验法得到优化后的激光清洗工艺参数,在激光功率18 W,激光脉冲重复频率75kHz,扫描速度3 000mm/s的清洗工艺参数下可有效去除20钢表面的锈蚀层;在激光功率20 W,激光脉冲重复频率75 kHz,扫描速度2 250 mm/s的清洗工艺参数下可有效去除20钢表面附着的油污。分析了激光清洗前后材料表面形貌的变化,研究了激光清洗前后表面的显微硬度以及耐腐蚀性,结果表明:激光清洗可以在不改变材料的耐腐蚀性能的同时提升材料表面的显微硬度,从而达到理想的激光清洗效果。 相似文献
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纳秒激光脉冲烧蚀金属铜的物理过程分析 总被引:1,自引:0,他引:1
为了研究强激光辐照金属靶材料的效应,用纳秒激光脉冲烧蚀金属铜,对表面特征进行观测以及对其物理过程进行分析。研究发现:纳秒激光脉冲对金属铜作用时,热量沉积在金属表面很薄(几个微米)的范围,使得其温度分布由外到内分别为超热、汽化和熔化状态,由于激光脉冲的快速沉积,会发生剧烈的沸腾性爆炸(相爆炸)效应,形成较深的坑状破坏,同... 相似文献
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自由振荡激光脉冲能量的时序分析 总被引:2,自引:1,他引:1
自由振荡状态的脉冲激光能量时序特性与激光强化材料表面的强度、质量及稳定性有直接关系。本文通过探测JG-2型固体激光器脉冲能量的时序分布结构,系统研究了激光脉冲能量的时序特性与材料相互作用规律及其激光强化材料时对表面性能的影响机理,用以提高现有激光器加工和强化质量水平。结果表明使普通钢材表面显微硬度提高5~7倍。 相似文献