声表面波器件与标准

概述了我国声表面波技术的发展历程，指出在声表面波器件广泛应用的今天，完善、贯彻执行声表面波器件标准的重要性；介绍了我国声表面波器件标准化工作的进展和所得的成绩，并依据贯彻国军标工作的实践，提出了今后有关标准化产产品研制、产生中的若干工作重点。     

通信用声表面波滤波器

通信用声表面波滤波器天津光电通信技术有限公司季来运,李树凤１．引言声表面波（ＳｕｒｆａｃｅＡｃｏｕｓｔｉｃ　Ｗａｖｅ简写为ＳＡＷ）器件最早应用于军用系统中,随着现代通信技术的发展,声表面波器件得到了越来越广泛的应用,在各种电子系统设备中发挥着越来越大...     

声表面波横向滤波器的衍射计算及衍射效应的分析

本文对声表面波(SAW)滤波器衍射频响进行了计算和衍射效应分析,从工程的角度给出:可通过增大IDT声孔径结合适当改变收发IDT孔径比值的简单方法消除衍射效应影响。最佳的IDT孔径和孔径比值由计算滤波器衍射频响确定。     

声表面波加速度计

悬臂梁声表面波加速度计是一种高分辨率(10~(-4)-10~(-5)m/s~2,高灵敏度(10kHz/m/s~2在251MHz)及高稳定性(频率稳定度10~(-9))的加速度计.它具有成本低、重复性好、结构简单、易集成等特点.     

声表面波器件体波效应抑制理论研究

针对声表面波器件中体波效应的影响,介绍了叉指换能器激发声体波的机理。根据声体波在基片上的不同传播方式,提出了不同的抑制方法。对在基片表面传播的声体波,利用声体波与声表面波有不同的能量传播角改变接收叉指换能器的位置来抑制体波效应。对在基片体内传播的声体波,则根据其传播和反射原理确定接收叉指换能器的位置来抑制。结果对声表面波器件的设计和工作性能提高具有指导意义。     

声表面波器件

作为声表面波(SAW)技术的应用实例,本文描述了滤波器和信号处理器件的现状.文章特别提到,可将波控制在表面的电极构成法和微细加工技术的进步与SAW器件的发展背景密切相关,今后的目标之一就是期待SAW器件能以其模拟信号处理功能与数字器件并存发展.     

声表面波器件二阶效应PSPICE仿真

提出了声表面波器件二阶效应的等效电路模型,它应用P矩阵法从理论上推导了声表面波器件二阶效应表达式,得到表征二阶效应的电特性参数,应用电网络理论综合出具有相同电特性的等效电路模型,PSPICE仿真结果与P矩阵理论结果在通带内吻合很好,并与实验结果相符,验证了所提出等效电路模型的正确性。     

声表面波谐振器应用与市场

一、前言 声表面波(SAW)谐振器作为频率源器件,在高频电路应用中具有独特的优势,应用领域十分广阔。SAW谐振器是一种高新器件,许多电路工程师对其不热悉,给推广应用带来了一定的困难,需要通过应用开发,引导和培育市场,从而形成规模市场。 二、SAW谐振器基本原理、性能及等效电路 1.基本原理 声表面波是传播在压电晶体表面的机械波,其声速仪为电磁波速的十万分之一,故采用微电子技术制作的声表面波器件体积小重量轻,易于规模生产。单端对声     

声表面波后工序环节对器件可靠性影响的研究

报道了声表面波（SAW）后工艺环节对基片粘接剂的固化程度、不同制作条件、不同封帽环境制作的滤波器，通过在高温、负温以及高温加速老化后的器件性能变化，来研究SAW器件的可靠性。结果表明：器件的插入损耗随老化时间逐渐增加；器件插入损耗的稳定性明显依赖于封装的湿度和器件表面的状态；器件的气密性随老化时间，器件的老化会更明显。结论是：器件必须要在清洁（净化）的环境中制作，清洁的器件表面第一重要；干燥的封装是器件性能稳定的重要条件；器件、组件老化到一定程度后，将不会有较大的性能变坏现象出现。这些研究成果，对防止或控制高性能器件失效、提高SAW器件可靠性将具有指导意义。     

声表面波器件晶圆键合工艺研究

声表面波器件向小型化、集成化、更高性能方向发展,需要制作复合单晶薄膜和采用晶圆级封装。该文针对关键工艺中的晶圆键合工艺开展研究,提出工艺要求,简述有关键合工艺要求和设备特点,并进行了金属键合工艺验证。实验证明,设备和工艺能满足产品封装要求。     

化学腐蚀对声表面波器件性能影响分析

Al膜的化学腐蚀直接影响声表面波器件的可靠性,造成器件功能性失效。该文对SAW器件Al膜的化学腐蚀的机理、过程、产生的条件、对器件性能及可靠性的影响进行了分析,并对其进行了试验验证和检测,以及在生产过程中如何加以预防和控制进行了阐述。     

声表面波的衍射分析

从声表面波(SAW)满足的标量波动方程出发,根据傅里叶变换分析了各向异性晶体中SAW衍射场分布,在此基础上利用数值积分的方法计算出了衍射场分布的理论曲线。实验上进行了验证,二者分布基本一致。     

基于ZnO/Si结构的声表面波器件设计研究

微机电系统(MEMS)工艺已被广泛用于制造各种硅基薄膜器件.声表面波(SAW)器件是性能优良的MEMS器件.该文利用多物理耦合场软件COMSOL Multiphysics仿真了氧化锌/硅(ZnO/Si)结构SAW谐振器,并得到其S11参数.对应于仿真,该文制造了该种结构的SAW器件.实验所用的ZnO通过射频磁控溅射制备,所制备的ZnO具有良好的(002)取向.实验测得的ZnO/Si结构SAW器件的中心频率为111.6 MHz,与仿真结构接近.     

AOTF器件制作中光刻工艺的研究

对在LiNbO3晶体基片上制作声光可调谐滤波器(AOTF)光刻工艺参数的确定进行了研究.着重研究了匀胶机转速、曝光时间和显影时间对光刻效果的影响.通过大量的实验得到了较好的光刻工艺参数,即在低速2850/8(rpm/s)和高速6000/25(rpm/s)的转速下取得较均匀的光刻胶后,在90℃下前烘30 min,再经过10 s曝光和10 s显影,最后再经过30 min的100℃后烘,可得到较好的光刻图样.经过显微镜观察,光刻好的图形表面洁净,侧壁陡直光滑,图形质量较好.     

SAW滤波器简化衍射频响的计算方法

提出了由一个变迹ＩＤＴ叉指换能器和一个均匀ＩＤＴ组成的ＳＡＷ滤波器简化衍射频响的计算方法，即将均匀ＩＤＴ简化成单根指计算其衍射频响。该方法与未简化衍射频响的计算方法相比，计算量大为减小，前者约为后者的（Ｎ为均匀ＩＤＴ的指对数）。并给出了一个实例，用未简化与简化方法分别计算了其衍射频响，结果表明，两者符合得较好。     

离散傅里叶变换在SAW滤波器衍射补偿中的应用

在Fresnel积分和各向异性抛物线近似下,用δ函数模型分析了由一个变迹IDT和一个均匀IDT组成的声表面波(SAW)带通滤波器衍射频响的计算方法,推导了滤波器采样频响的离散傅里叶反变换与变迹IDT叉指交叠长度序列的对应关系,并根据衍射频响和理想频响的差值计算出需要修正的变迹IDT叉指交叠长度序列的大小,通过迭代校正对衍射效应进行补偿。数值仿真结果表明,由衍射效应引入的滤波器频响带外恶化基本得到消除。     

声表面波器件在雷达对抗技术中的应用

介绍了声表面波器件在雷达对抗技术中的应用。以声表面波滤波器组为核心的信道化接收机,可以实现对雷达信号的宽频的信道化接收和１００％的截获概率。以声表面波延迟线为核心的距离欺骗、多重回答欺骗、噪声欺骗技术是对雷达信号的综合干扰手段之一。在对雷达的低空突防技术中,以ＳＡＷ色散线为核心构成的脉压高度表解决了地形跟踪的难题。     

A Numerical Technique for SAW Diffraction Simulation

An efficient numerical technique is presented for simulating the effect of diffraction on the performance of surface acoustic wave (SAW) devices. A computer code based on this technique accurately predicts the performance of several "practical" bandpass filters fabricated on ST-cut quartz. Since the algorithm is fast, an iterative design procedure which minimizes the frequency sidelobes in the presence of diffraction is now practical.     

SAW滤波器衍射分析及补偿

介绍了用角谱理论计算声表面波（SAW）滤波器衍射的算法,基于该算法提出了一种SAW滤波器的衍射补偿方法。最后给出了孔径为11λ的数字电视用声表现波滤波器（SAWF）的衍射计算补偿结果。