用溅离子泵抽氢

本篇文章讨论了二极型和三极型离子泵抽氢的情况。并说明这些泵中所用的阴极材料类型对抽氢效率有重大影响。所举之例包括了有铝，钛和钛合金阴极材料泵的数据。数据表明的铝阴极二极型泵抽氢并不比抽氦更有效。在压强很低时使用钛阳极和泵体钛屏蔽下会对抽速有一定影响。     

复合离子泵的研制与调试

我厂是生产电真空器件的工厂。为了减少油蒸汽对器件的污染,原来所用的无油超高真空系统是以溅射离子泵为主体泵,尽管溅射离子泵有使用方便、可靠、极限真空度高、寿命长等优点,但也存在着启动压强低、用机械泵做前级难以启动,以及抽速低不能承受较大放气量(如电子管阴极分解时     

极高真空溅射离子泵的研制

研制出了获得极高真空的溅射离子泵，该溅射离子泵４小时烘共烤后温度降至１００℃，装磁钢，妄动离子泵进行敢，３４小时后压力达５．８×１０＾－１０Ｐａ。从抽速实验结果来看，该泵在１０＾１０Ｐａ时仍有１００Ｌ／ｓ的抽速。说明此泵在较 压力下仍有较强的潘宁放电。     

SZY－A智能离子泵控制器研制

本文介绍了用ＭＣ－５１单片机及其外国电路组成离子泵智能控制器的特点，主要技术性能，设计指导思想，系统的软硬件设计及对整机可靠性所采取的技术措施等。     

SZY—A智能离子泵控制器研制

本文介绍了用ＭＣ－５１单片机及其外围电路组成离子泵智能控制器的特点，主要技术性能，设计指导思想，系统的软硬件设计及对整机可靠性采取的技术措施等。     

10^—10Pa溅射离子泵的研制

本文主要介绍１０－１０Ｐａ溅射离子泵的研制，提高极限真空和抽气速率的方法。     

溅射离子泵

1、开头语 利用潘宁放电的溅射离子泵,在日本大约十年前作为商品登上市场。作为超高真空泵来说,当时曾在日本的真空学术界得到了很高的评价,但是,也遭到了许多严厉的批评。这是因为当时的溅射离子泵与原来的油扩散泵相比较抽气速率小,抽气量小,起动费时间,价格也昂贵。因此,这种泵只限使用于研究装置方面。可是,以后由于世界先进的真空机器制造者不屈不挠地研究,并在开拓用途方面做了努力以及为了适应电子学的飞速发展,以离子泵为中心的超高真空装置,就不只是单纯地面向研究室了,而已经能够实用于半导体和电子管为主的电子工业的生产方面。…     

溅射离子泵

1.前言 可称为溅射离子泵(以下简称离子泵)的前驱Gurewitsch和 Westendorp(1)在 “给编　　辑一封信中”命名的。Ionic Pump”是在1954年发表的,距离现在已经23年了。也许因 为当时使用了单个的环形阳极,只能获得5 × 10-7乇(6.7 × 10-5帕)。从潘宁规的工作范围 来看,当时认为这种泵的极限压力就是这个程度,所以并没有引起人们的注意。但是四年以 后,Hall(2),Jepsen(3)等人研制的“Electronic 　Ultrahigh　Vacuum　Pump” 采用了复数圆筒阳极和强磁场,在结构上能进行充分的烘烤,而获得了10-10乇(10-8帕)。 于是开阔了通向实用超高真空…     

蒸发离子泵

本文叙述了从钛金属滴蒸发的新型蒸发 离子泵以及情性气体被无栅极的简单装置所 电离的原理。对普通气体来说,在压强为 1×10-6毫米汞柱下泵抽气速度约2000- 5000升/秒。对氩气来说,在压强为1×10-6 毫米汞柱压强下,泵抽气速度为50升/秒。 泵极限压强为3×10-8毫米汞柱。 高真空钛蒸发离子泵最初由美国学者提 出来的,作者们满意的感到泵中没有工作液 存在和可能避免按接冷凝阱。下述的泵虽是 仿照美国设计的,但蒸爱器和用离器的设计 确实是很有名望的。钛从液态滴表面连续蒸 发,此间可用液钛来消除蒸发器的恶化, 而且在没有蒸发器补充的条件…     

3L2—220型溅射离子泵研制

本文谈及３Ｌ２－２２０型溅射离子泵结构的确定和参数的选择，并给出测试结果。     

吸收泵和收气离子泵

一、吸收泵 活性炭的使用首先应用在真空下加热之后再冷却到周围坏境的愠度,实际上就构成了一个冷凝阱。若把温度更进一步降低到液休氮的温度下,就使得收气作用达到能够完成泵功能的这样一种程度。吸收泵目前是很有用处的,因为这种泵能得容器中的压强从大气压下减小到20微米汞柱。泵中装满活性炭或一种铝和“西里康”氧化物的混合物和著名的分子筛。正常加热的这种分子筛都必须安放在泵的下部。但是,因为吸收的水蒸汽在室温下已经不能放出来了,若分子筛被水蒸汽污染,则必须烘烤一些时间以便驱除水蒸汽。而后,泵的容器浸放在液体氮中而泵和被…     

10—^10Pa测射离子泵的研制

本文介绍10－^10Pa溅射离子泵的研制，论述提高极限真空度和抽气速率的方法。     

溅射离子泵物理学

溅射离子系进行稳定状态的抽气特性决定于放电强度（ Ｉ／Ｐ）和抽气效率 （Ｓｐ／Ｉ）。这种泵采用磁性来限制冷阴极气体放电。可以在进入超高真空和更低的压强范围内进行工作。许多经验证明了,放电强度在不同程度上是依赖于下列有关参数：电压、磁场、电极几何形状、电极材料、气体的种类和压强。这种放电的理论与圆满解释是仍旧相差很远。在放电格子中观察到空间电行对改变电位起主要作用。在这里可近似地认为,放电强度与阳极电压和阴极长度成比例。但是,与作为乘积（即磁场×阳极直径）为常数的阳极直径无关。另外,关于要求的放电强度,用潘宁正磁控管和反磁控管室作一下比较。 对于在放电中产生的每一个阳离子,抽除的气体分子的数目成比例的量（Ｓｐ／Ｉ）提供出一种油气效率的测量方法。由于化学活泼性气体与从阴极溅射出来的收气剂材料,化合作用产生的抽气作用最低限度在理性上能很好地理解。至少在实验上,由离子埋葬吸附和扩散到阴极里的对氢的抽气作用亦能很好地建立。但是对惰性气体的抽气有时也涉及了这些方面。对于普通二极型和早期（两个电位）的三极型溅射离子泵。表面上,对氢的抽气已作了满意的说明。这种说明对最近（单电位）的三极型泵也未必适用,对采用不同材料的双阴极的二     

复合式溅射离子泵

目前在中小型无油超高真空抽气系统中,大多采用溅射离子泵为主体系,尽管溅射离子泵具有一系列优点,如使用简便,寿命长,耗用功率小,不用水冷却,但是对活性气体抽速低,不能承受较大的放气量,故在电真空器件排气中仍要在泵内或系统中附加一只升华泵,帮助抽除大量活性气体。除此之外,溅射离子泵成本贵,体积庞大而笨重。因此,溅射离子泵对中小型无油超高真空抽气系统来说并不是一种理想的主体泵。而目前这种情况的存在原因是:(1)国外溅射离子泵成熟的历史早;(二)升华泵中升华器寿命太短。一台溅射离子泵的性能应有二方面的指标:第一方面是技术指…     

LH—300型冷阴极抽氢溅射离子泵的研制

一、前言 LH—300型冷阴极抽氢溅射离子泵的研制是为了提高冷阴极溅射离子泵的抽氢能力,从而延长溅射离子泵抽氢的寿命,并结合中国科学院某研究所的要求,为氢原子钟的研制提供抽氢溅射离子泵。 普通冷阴极溅射离子泵,对于抽氢所造成的寿命终了的原因主要是:由于氢向阴极钛板里扩散,形成钛的固溶体,使钛板发热,造成阴极钛板翘曲和阴极表面形成大量氢化钛而龟裂,为了改善普通冷阴极溅射离子泵对氢气的抽气能力,我们做了一定的研究工作,取得了一定的成果。 关于抽氢溅射离子泵我们在国外的资料上,只看过法国RIBER公司的加厚钛板及增加波纹片…     

直流磁控溅射电源研制及输出特性研究

磁控溅射技术在薄膜制备领域广泛应用,电源是磁控溅射镀膜的关键设备之一.本文介绍了全桥逆变直流磁控溅射电源主电路和控制电路的设计,该电源输出功率2 kW,采用PI恒流控制,具有过流保护.通过阻性负载测试表明电源具有很好恒流特性,在输出功率超过400 W时电源效率比较高.利用氮气/氩气不锈钢靶直流磁控溅射实际的等离子体负载测试表明在保证真空室内压力不变的前提下,随着氮气比例的增加,电压下降,但电源恒流效果好,工作稳定.     

溅射离子泵结构的新进展

简介 本文讨论了一个新的溅射离子泵的结构。这个泵的特点包括:(1)高的抽气能力; (2)完全闭合的磁路;(3)可以更换场的水冷阴极。这个圆筒形泵体,由铁磁性材料构成,它起着一部分真空外壳的作用,而且也做为磁回路的回程使用。阴极由特殊的钛合金组成,亦是真空外壳的一部分,用被挤压的铜垫圈密封到泵体上。这个新的精致的设计,使泵的排气能力比同样重量的泵要大10倍。文中给出了抽速、流量和泵寿命的综合数据。实际证明这种泵是非破坏性的,这种结构在溅射离子泵技术方面代表了一个新的和重要的突破。 引言 研制计划是由研究溅射离子泵的新材料…     

CSNS离子泵性能测试

中国散裂中子源(CSNS)加速器由直线加速器,LRBT(直线至环输运线)、RCS(快循环同步加速器)和RTBT(环至靶站输运线)构成~([1])。为了维持加速器的真空环境,在各区段采用了141台各种型离子泵作为主抽泵。离子泵的极限真空和饱和抽速性能直接影响加速器是否能够获得良好的真空。在离子泵安装之前,我们对每个型号的离子泵进行性能测试。本文详细介绍了离子泵性能测试方法。经过测试的离子泵,安装到加速器上均能正常工作,动态真空满足设计指标。     

装入式收气离子泵

指出了潘宁放电的理论基本上要考虑电子在阳极附近的收集性的相互作用。研究了强磁场潘宁放电(密度达一万二千奥斯特)以后,提出了计算收气离子泵的抽速和最小工作任强的实验公式,考虑了装入式收气离子泵参数计算法及设计特点。 一、导言 收气离子泵公认的优点是:操作简易,寿命长可靠性大,结构紧凑,没有加热装置和可动部件,系统不受烃的的污染而能够获得超高真空。此外,在真空系统的构成中可以把收气离子泵做为装入式的泵扩大其用途,并应用于粒子加速器及存储环,电子管,空间容器,热核装置等方面。 装入式收气离子泵被装进靠近气体源的抽气系…