硅晶圆分层划片工艺试验研究

目的优化硅晶圆划片工艺参数,提高划片质量。方法提出一种硅晶圆分层划片工艺方法,利用自主研发的精密全自动划片机,通过全因素试验,研究了主轴转速、进给速度和切削深度等工艺参数对分层划片与传统单次划片的工艺性能的影响,检测了崩边宽度、相对缝宽、切缝表面粗糙度,通过检测划片过程中主轴电流大小来间接反映切削力的大小。最后对分层划片工艺进行优化试验,得出最佳工艺参数组合。结果随着划片深度的增加,主轴电流增大,进给速度对主轴电流的影响较小,分层划片可以有效减少划片过程产生的切削力,提高划切效果。分层划片试验发现,随主轴转速的增加,相对缝宽增大;随进给速度增大,相对缝宽先减小后增大。进给速度为15 mm/s,转速为10 000 r/min时,相对缝宽最小,为1.048。随着主轴转速的增加,崩边宽度减小;随着进给速度的增大,崩边宽度增大。进给速度为1 mm/s,转速为25 000 r/min时,崩边宽度最小,为5.31μm。结论与传统单次划片方式相比,分层划片工艺能够得到更好的划片效果,可一定程度上降低崩边宽度,减小相对缝宽值,减少微裂纹,提高划切质量。     

支重轮全自动强力抛丸机

传统支重轮抛丸机占用人员多,劳动强度大,生产效率低,我公司结合现状,给一些知名支重轮企业提供了满足工艺要求的、自动化程度先进的支重轮抛丸清理机生产线,该生产线不仅实现了工件的自动搬运、自动上下料,而且还实现了对支重轮工件的自动翻转和表面丸料和粉尘的清理,整个加工过程自动化完成,无需人工参与,节省了人工及管理成本,大大提...     

基于STM32的毛巾自动缝边机控制系统研发

在分析毛巾自动缝边机工作原理的基础上,自主研发一款毛巾自动缝边机控制器。该控制器以STM32控制芯片为核心,主要电路有RS485通信电路、CAN总线接口电路等;串行通信模块负责控制器与PC机和触摸屏的数据通信,完成系统执行程序的下载及控制器运行状态的监控,实现了毛巾由原料到成品的自动化生产过程。     

轮毂轴管淬火生产线自动上下料装置的研制

为了降低操作人员的劳动强度,改善劳动条件,提高轮毂轴管淬火生产线上下料的效率和稳定性以及企业的自动化水平,研制了一种智能轮毂轴管淬火生产线自动上下料装置。介绍了轮毂轴管淬火生产线的组成,阐述其工作原理和总体机械结构设计。介绍了轮毂轴管淬火生产线自动上下料装置的组成,阐述其机械结构设计。淬火生产线采用以PLC控制系统,协调各执行机构的动作,其操作方便、控制灵活,能够满足企业的生产要求。     

喷油器球头的自动上、下料机构

文章介绍了一种车削喷油器球头自动上下料机构的原理及结构.它采用CNC控制和气动驱动,生产效率高,运行稳定可靠,且结构简单、成本低廉、操作维修方便.     

基于发那科数控系统的四自由度自动上下料系统设计

为提高生产效率实现无人自动化工厂,以运动控制开发系统、数控系统、加工中心机床主体和四自由度机械手自动送料机构为开发平台,通过运动控制开发系统对四自由度机械手的搬运路径规划设计,协同数控系统及加工中心机床主体构成一个柔性制造单元,使该平台具备自动上料、自动装夹、自动加工、自动下料的功能,是传统制造业的转型升级的一个典型案例。     

激光切割自动上下料分选码垛系统

目前的码垛机械手和自动上下料系统,驱动其运动的机构以及支撑机构相互独立,使得机床结构十分复杂,两者的动作容易产生干涉。为解决上述问题,设计了新的激光切割自动上下料分选码垛系统,码垛和上下料系统可协同工作,使机床结构简化,以提高装置的可靠性。     

大型超精密机床数控系统的研制

文章以自行研制的大型非球面超精密数控机床数控系统为对象,介绍了其软、硬件构成和为其配套研制的自动编程系统.并分析了系统超精密定位和反馈检测性能,其能很好满足所装备的大型数控机床的超精密定位和位置跟踪指标,能进行大型非球面光学零件的超精密加工.     

一种经济型数控车床的自动上下料系统

本文对经济型数控车床的轴类零件加工自动上下料问题进行了探讨,提出了用气动机械手通过车床主轴孔送入棒料、用车床大拖板及中拖板联动的机械手卸零件的上下料系统。     

ZY1000型筒体纵缝咬边机的研制

叙述了汽车消声器ＹＺ１０００型筒体纵缝咬边机的结构与工作原理以及芯模、抱合装置、精密滚轮和升降装置等工作部件的设计技术方法。     

光学玻璃的高效精密划切工艺研究

利用自主研发的FAD1210高精高效划片机,通过单因素试验法研究了装夹紧固方式、划片刀种类、切割水流量对K9光学玻璃划切性能的影响,且检测其崩边宽度及表面粗糙度来评价划切效果。结果表明:玻璃基板的紧固方式效果较好,UV膜次之,高温硅胶带较差;树脂结合剂划片刀划切玻璃的效果较理想,其崩边宽度较小、表面粗糙度较好,金属刀次之,电镀刀效果较差;切割水流量增大,玻璃崩边宽度和表面粗糙度逐渐减小,当切割水流量大于4.5 L/min时,划切效果趋于稳定。在玻璃基板紧固方式、树脂划片刀和切割水流量4.5 L/min的优化参数下划切K9光学玻璃,划切效果最佳,崩边宽度为5.8 μm,表面粗糙度R_a为10.5 nm。      

大型锯片热处理自动化装备的研制

我国是世界上锯片生产的大国之一,有大约数百家锯片生产企业。被行业专家、企业家重视、看好的金刚石圆锯片,是石材加工中用量最大、生产研制单位最多的品种,全世界每年的需求量也很大。印度每年的需求量就超过1亿美元。中东、欧洲、北美洲的石材输出国市场需求在数十亿美元,加上国内需求,产品具有广阔的市场空间。     

基于DSP的自动跟踪飞锯机控制系统设计

探讨了将先进的DSP技术应用于自动跟踪定尺飞锯机控制系统,设计其硬件电路及软件流程。DSP技术适时性好,控制精度高,采用DSP技术,可以提高锯切定尺精度。     

φ325全自动数控飞锯机的传动系统

本文介绍了 3 2 5全自动数控飞锯机的传动系统 ,该系统在国内率先被用于 3 2 5直缝焊管生产线上。     

PLC控制自动推杆式小锯片烧结设备的研究

本文根据自动推杆式金刚石小锯片连续烧结设备的结构特点,以西门子S7—200PLC为核心,中央处理单元采用S7—200的CPU224和两个EM223的输入／输出混合扩展模块,构成可编程控制系统,解决了目前采用的继电接触式控制系统故障率高的问题。利用PLC的模拟电位器设定烧成时间范围,用计算机监控程序运行状态,记录累计产量。试验结果表明,PLC控制增加了系统的稳定性,降低了故障率,经过试验,实现了节能大于1％、增产大于3％、提高生产效率和产品质量的效果,具有良好的推广应用价值。     

环形树脂结合剂金刚石线锯研制

固结磨料线锯切割相当于磨削加工,切割表面损伤层浅,因而锯切表面质量更高.电镀金刚石锯丝已经在工程实际中获得一定应用,但制造成本较高.而树脂结合剂锯丝成本则非常低.本文用1Cr18Ni9不锈钢丝作为环形锯丝的基体材料,其焊接接头可承受最大拉力110 N,疲劳寿命超过1.2×105次.不锈钢丝经表面处理后,直接刷涂树脂金刚石磨料混合物,再经过干燥及烘烤工序制成树脂结合剂金刚石线锯丝.涂层中树脂占35%、金刚石磨料(平均直径20μm)占50%、纳米铜粉占15%.用该锯丝切割硅晶体.切割速度4 m/s,恒力驱动进给.检测证明:切割表面平整,表面粗度达Ra0.8 μm.原因是树脂结合剂弹性较好,能有效地减小切割系统的振动,但其切削效率、使用寿命方面不如电镀金刚石线锯高.     

PLC控制金刚石锯片开刃机的研制

本文介绍一种新的用于金刚石锯片开刃机的自动控制系统。以可编程控制器为核心,采用无感矢量交流变频器与交流变频电动机构成金刚石锯片旋转自动调速系统。应用矢量变频调速技术,使旋转的金刚石锯片实现横向和纵向的往返移动以及精确的定位控制。该系统具有直观的数显方式和报警系统,能够稳定产品质量,便于操作控制,能很好的满足高档金刚石锯片开刃机的要求,具有良好的适应性。     

超高速旋转金刚石划片刀制造工艺的研究

刀具在进行超高速切削工件时,刀具结构上及切削参数的变化会对工件的质量产生很大的影响。在超高速切削机床上用其进行切削实验,对切削硅晶片的划片刀的车削工艺、电镀工艺和后续加工工艺进行研究,利用改变切削参数中的走刀速度,并对切削之后的工件切缝宽度进行测量,得出切缝宽度与走刀速度关系,得出优化的切削参数。     

镍-硼/金刚石超薄切割片的制备与性能

在氨基磺酸镍体系电镀液中添加不同浓度的三甲胺硼烷(TMAB),在阴极自旋转状态下利用复合电沉积方法制备不同质量分数的硼的镍-硼/金刚石切割片,探究镀液中不同质量浓度的TMAB对切割片晶体结构、硬度、耐磨性的影响。结果表明:阴极自旋转状态下制备的镍-硼/金刚石切割片中金刚石分布均匀;随TMAB质量浓度增加,镀层的晶粒尺寸减小、硬度增加、耐磨性提高。当TMAB质量浓度为3.0 g/L时,镀层基质金属的晶粒尺寸最小为6.84 nm,硬度最大为2 453.6 HV,磨损量最小为1.7×10-2 mm3,磨损宽度最小为665.4 μm。用厚度为28.3 μm的镍-硼/金刚石切割片切割(111)晶面的N型单晶硅片,硅片切割槽宽度为35.3 μm,切缝比为1.25,最大崩边尺寸为3.1 μm。      

伺服压力机位置/压力自动补偿精确运动控制研究

为了满足机械伺服压力机压力精确控制的需求,设计了一种位置/压力自动补偿精确控制的运动控制系统。首先,分析了发那科控制系统位置/压力控制原理;然后,在压力机上设计位置/压力自动补偿运动控制系统,系统通过回归校正算法提高了应变压力传感器的反馈精度,结合发那科伺服电机与控制器实现位置模式和压力模式的平稳切换;最终,实现伺服压力机位置和压力的精确自适应控制。对伺服压力机不同压力负载控制情况下压力反馈曲线和压力与位置的响应特性曲线进行分析,结果表明,本控制系统满足伺服压力机位置与压力控制的精度和稳定性的要求。