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《化学推进剂与高分子材料》2015,(5):92-94
采用配备放电离子化检测器(DID)的GOW–MAC 816气相色谱仪,利用中心切割技术对六氟乙烷主组分进行切割,避免其进入检测器系统,从而能够准确地分析出电子级六氟乙烷中微量杂质的含量。该方法简捷,方便,灵敏度高。 相似文献
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介绍了一种用放电离子化检测器(DID)分析三氟化氮中微量气相杂质的方法。利用阀切割技术对大量的三氟化氮主组分进行切割,避免其进入检测器系统,从而准确地分析出三氟化氮中杂质的含量。该法简便、快捷、准确度和精密度高。 相似文献
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《化学推进剂与高分子材料》2015,(6):91-93
介绍了一种利用脉冲放电氦离子化检测器(PDHID)分析六氟化钨(WF6)中气相杂质的方法。该法利用阀切割技术对WF6主组分进行反吹,避免其进入分析柱及检测器,可准确分析出其中杂质的含量。 相似文献
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提出一种微量气体浓度检测的方法,利用单一气体中声速与温度关系,在测量温度时避免了直接测温所带来的测量误差。在测温电路中应用了全数字锁相环技术提高了超声波传播时间的测量精确度。以空气中SF6气体浓度为例在MATLAB环境里建立仿真模型,仿真结果表明:该测量方法的微量气体浓度检测精度达到10-6,相对误差不超过1%。 相似文献
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概述了高纯电子气体中金属杂质的来源及测定高纯气体中金属粒子的前处理方法和检测手段。选定检测手段从最初的单一仪器检测逐渐过渡到仪器间的联合检测。选用合适的检测方法,满足痕量杂质(10-9级)、复杂组分的分析要求。这样能更精准的检测出更多金属种类。不仅提供对半导体生产中沾污的测试手段,而且对高纯气体的生产、包装等具有非常重要的意义。 相似文献
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采用多维气相色谱,通过不同色谱柱的组合变换、配合反吹、中心切割等操作技术,分别对六氟化硫、四氟化碳、氢气3种电子气中的6~7种杂质检测进行了方法开发。使用气体稀释法作出了5个浓度下氢气中各组分的响应校准曲线,线性良好,最低浓度点0.05×10-6 mol/mol时的RSD均小于10%。系统地描述了3种电子气检测方法的开发过程和经验技巧,计算了检出限,均远好于市场检测需求,其中六氟化硫各组分检出限在20.3×10-9~30.3×10-9 mol/mol,四氟化碳各组分检出限在16.2×10-9~25.5×10-9 mol/mol,氢气各组分检出限在8.1×10-9~15.6×10-9 mol/mol,方法重复性好、检测效率高,可作为标准操作规范向社会开放共享。 相似文献