聚焦离子束系统中微波离子枪的束光学特性研究

通过实验和数值模拟研究聚焦离子束中微波离子枪的离子束光学特性，该离子枪由微波等离子体源和Ｏｒｌｏｆｆ－Ｓｗａｓｏｎ透镜组成。该透镜除了广泛应用于场致发射离子枪外，在等离子体源情况下，也能获得很好的离子束光学性能。     

聚焦离子束系统中离子枪的优化设计

叙述了聚焦离子束离子光学系统中离子枪的优化设计，采用复合形法进行优化设计后的离子枪，其发射性能，光学性能和工作寿命都显著提高。     

聚焦离子束系统中微波离子枪的束光学特性研究

通过实验和数值模拟研究了聚焦离子束系统中微波离子枪的离子束光学特性，该离子枪由微波等离子体源和Orloff-Swason引出透镜组成。该透镜除了广泛用于场致发射离子枪外，在等离子体源情况下，也能获得很好的离子束光学性能。     

聚焦离子束系统中离子枪的优化设计

叙述了聚焦离子束离子光学系统中离子枪的优化设计，采用复合形法进行优化设计后的离子枪，其发射性能、光学性能和工作寿命都显著提高。     

电子光学系统自优化设计的研究

电子光学软件Egun是用于计算二维静电场和静磁场状态下电子轨迹的专业软件。它在设计Pierce电子枪等电子光学系统方面比较成功,而且计算速度快,至今仍被广泛应用。Egun在真空电子器件的模拟仿真中,对设计的电子光学系统电子注层流特性的评估,仅能通过对电子轨迹的观察来判断其层流性的好坏,该软件并没有给出定量的评估指标参数,且对设计参数的修改十分繁琐,缺乏自动优化功能,极大地影响了Egun优势的发挥。本文提出了交叉率和波动率评估指标来衡量电子注的层流特性并开发了一套自优化软件。模拟仿真结果表明:交叉率和波动率可以准确地定量评估电子注层流特性的好坏;根据模拟仿真分析,当电子注交叉率低于3%且波动率低于30%时,电子注的层流特性可以满足设计需求。层流特性评估指标—交叉率和波动率也为电子光学系统自动优化寻找最佳参数值提供了目标评估参数,极大地减少人员和物力的消耗。     

新型高亮度、高分辨率双束电子光学系统

由三基色显示管投影来实现大屏幕显示仍是首选方案，为了提高投影质量，缓解亮度与分辨率间的矛盾，采取了三项主要措施：1、采用双束扫描荧光屏；2、在发射系统采用层流枪的优点；3、采用电阻螺旋线形成的多极透镜与外磁透镜相配合作为主聚焦结构。     

液态金属离子源静电透镜离子枪的实验研究

液态金属离子源（LMIS）的亚微米聚焦离子束（FIB）在现代分析技术和微细加工等领域有很多应用。介绍一种计算机控制的快速、灵活、准确的束斑测量方法；并报导用这种方法对采用Orloff—Swanson静电透镜离子枪的FIB性能的研究结果，包括源尖对中对束斑的影响、各电极电位对束斑的影响及束斑与束流的关系等。通过仔细的源尖位置调节，在束能13keV，束流1．0nA时，FIB束斑在亚微米范围。     

SIMS氩离子枪的研究

本文研究了Kornelsen型离子枪的离子束束流,束流密度和最小束斑随源压强P,离子能量E的变化规律,并给出了斑点大小随离子能量、源压强变化的半经验公式:d=k(p)/E~1/2+f(p)。同时还给出了一种和离子枪口连成一体的能量分散量测装置,这种装置至少能测出0.36ev的能量分散。利用它测定了Kornelsen型离子枪的离子源,各级电透镜所形成的离子束的轴向能量分散和总能量分散。     

大气压下甲烷等离子枪的光谱诊断研究

以甲烷为反应气体,氩气为辅助气体,通过大气压介质阻挡放电等离子枪,制备纳米类金刚石.在此过程中,利用发射光谱对甲烷等离子体中产生的活性粒子进行光学发射特征的原位诊断.通过对检测到的发射光谱谱图的研究,证实了CH、C2、Hα等自由基粒子的存在,研究了不同的实验参数,如放电电压和气体流量对CH活性粒子发射强度的影响,并由此分析了甲烷可能的离解过程,同时计算了不同条件下的电子温度.结果表明,随着输入电压及CH4流量的增加,CH自由基的发射强度随之增加.根据掺入甲烷的Ar原子谱线计算出电子温度,其范围在0.4eV～0.6eV之间,而且随着输入电压及气体流量的增加而降低.     

新型电子能量谱仪电子光学系统研究

介绍了一种新型电子动量谱仪电子光学系统的研究与设计、系统由靶室、圆锥形减速透镜线件，双扇形场电子能量分析器组件组成，可同时获得电子束的能量分布和角度分布信息，可明显地提高电子动量谱测量系统的效率。     

离子风机(静电消除器)校准方法研究

1静电的产生及其危害 1.1静电的产生众所周知．物质都是由分子组成,分于是由原子组成．原子中有带负电的电子和带正电荷的质子组成。而电子的不平衡分布就能使物体带上静电。造成不平衡电了分布的原因即是电子受外力而脱离轨道,这个外力包含各种能量（如动能、位能、热能、化学能……等）在日常生活中．任何两个不同材质的物体接触后再分离,即可产生静电。     

新型高亮度、高分辨率双束电子光学系统

由三基色显示管投影来实现大屏幕显示仍是首选方案 ,为了提高投影质量 ,缓解亮度与分辨率间的矛盾 ,采取了三项主要措施 :1、采用双束扫描荧光屏 ;2、在发射系统采用层流枪的优点 ;3、采用电阻螺旋线形成的多极透镜与外磁透镜相配合作为主聚焦结构     

副枪系统在动态炼钢中的研究及应用

介绍副枪自动控制系统莱钢银山炼钢厂氧气转炉动态炼钢中的研究和应用,包括副枪自动化控制一二级系统的主要构成和技术参数,基于SDM的模型和计算。银山炼钢厂自引进和应用副枪技术以来,极大的提高生产效率和出钢率。     

新型电子动量谱仪电子光学系统研究

介绍了一种新型电子动量谱仪电子光学系统（TH－EMS型清华电子动量谱仪）的研究与设计，系统由靶室、圆锥形减速透镜组件、双扇形场电子能量分析器组件组成，可同时获得电子束的能量分布和角度分布信息，可明显地提高电子动量谱测量系统的效率。     

TOF-SIMS二次离子光学系统仿真研究

为实现飞行时间二次离子质谱仪(TOF-SIMS)对二次离子束的提取并提高仪器的调试效率,采用离子光学仿真软件SIMION 8.0对TOF-SIMS二次离子光学系统进行仿真。以稳定同位素铜离子为对象,通过仿真,研究二次离子光学系统中二次离子提取系统透镜电极电压的调整对质量分辨率的影响,确定最佳透镜电极电压组合,并得到稳定同位素铜离子的仿真谱图。仿真研究表明:当初级提取电极电压为800 V、单透镜有效电极电压为-4 400 V时,质量分辨率最高。在TOF-SIMS实验平台上对铜样品靶进行实验测试,实验与仿真结果相吻合,表明设计的二次离子光学系统可用于TOF-SIMS仪器的二次离子束提取,为实验参数的选择提供参考,从而提高仪器调试效率。     

小型带电粒子发射枪的研发

本文介绍了电子和氩离子两种不同电荷的小型发射枪,根据电子枪的用途,以电荷中和低能量电子枪、脉冲式电子枪和高能量电子枪为例,详细介绍了发射枪的构造、工作原理和粒子轨迹。根据氩离子的产生方式,介绍了冷阴极离子枪、热阴极离子枪和等离子体源。掌握小型带电粒子发射枪的原理和构造,可以针对基础科研、半导体产业、生命科学和国防航天领域的具体应用进行产品开发。     

影响多弧离子镀枪黑色膜层的重要参数

提出了影响枪黑色膜层质量的几个重要因素，较详细地分析了这些因素影响膜层质量的原因，讨论了改进膜层质量的方法。     

手提式电磁铆枪减振降噪研究

分析了手提式电磁铆枪后坐力、噪声大的原因,建立了铆枪隔振系统力学模型;提出增加质量块、采用双层隔振系统代替原有单层隔振系统,采用新型减振橡胶并将次级线圈与电磁调制器连接为一体以减振降噪。实验表明新的铆枪结构后坐力和噪音明显降低。