高真空直排大气干泵的最新进展

为了降低半导体设备中的真空系统的成本、实现高真空获得设备的清洁化、简单化和微型化,人们一直在寻求能达到高真空并且直排大气的干式真空泵。近几年,国外已经出现了仅用一台泵就可以实现从高真空到大气的全部抽气过程的高真空直排大气干泵,并实现了商业化,已经应用于实际生产中。本文以其中具有代表性的英国BOC Edwards公司的EPX干泵和德国Pfeiffer Vacuum公司的OnTool干泵为例,简单介绍了其原理、结构、性能,为国内从事真空应用和干泵研发人员提供参考。     

高真空干泵螺旋级抽气性能的数值计算模型

微型化和一体化是干式真空泵发展的重要趋势,高真空干泵是具有代表性的一种新型干泵。本文对高真空干泵的重要部件之一的单螺旋转子进行了数值研究,通过对几何模型重要参数的分析,结合了直接模拟蒙特卡罗的程序思想,对单螺旋转子工作过程进行仿真。模拟得到了单螺旋转子几何参数对抽气效率的影响机制,得到影响高真空干泵性能的参数调节机制,为高真空干泵的设计提供了理论依据和指导。     

一种单螺旋转子型线及其热变形研究

微型化和集成化是当前干式真空泵发展的重要趋势,高真空干泵正是具有代表性的一种新型干泵。本文对高真空干泵的螺旋级转子进行了研究,对组成螺旋级转子的外螺线、内螺线、母线的型线方程分别进行了方程推导和几何建模,利用有限元分析的方法,对转子受热所产生的温度场,结构场进行了耦合计算,研究了转子热变形结果对型线设计和间隙设置的影响,得到影响高真空干泵性能的参数调节机制,为高真空干泵的设计提供了理论依据和指导。     

直联式旋片真空泵的新发展

介绍一种新型直联式旋片真空泵，该泵在入口内设置了真空安全阀，该泵由液压先导阀控制，其液压由泵内的油泵提供，构的泵安全阀与真空泵同步工作，可靠性高，油泵同时为真空泵提供强制润滑．这种结有效避免了返油现象的发生。(中国专利ZLO1213964．5)     

JK系列高真空抽气机组抽速不稳的解决办法

一、JK系列高真空抽气机组的特性一般它是由2X系列旋片真空泵作前级泵,用K系列高真空油扩散泵作主泵,并配有高真空蝶阀和低真空阀等。从这两种泵的抽气特性可看到,油扩散泵的工作压强为l0~(-4)～l0~(-6)托,最佳工作压强在5×10~(-4)～10~(-6)托;旋片真空泵的工作压强在760～10~(-2)托,最佳工作压强在760～10~(-1)托。以JK-150真空机组为例,它配的前级泵为2X-4,油扩散泵为K-150。分别绘出它们的抽气特性曲线。从特性曲线看到,JK系列真空机组     

RH用机械真空泵抽气过程影响因素研究

全干式机械真空泵正以其出色的节能环保效果越来越多的在冶金行业炼钢厂真空精炼工艺中得到应用。本文正是利用自主研发的与真空循环脱气工艺 (RH) 真空精炼过程相结合的RH用机械真空泵抽气过程计算机仿真程序, 研究了4级串联式全干式机械真空泵方案中, 真空主阀前后设备及管道容积、各级真空泵泵间管道容积、各级真空泵 (罗茨泵和螺杆泵) 的不同抽气能力、系统漏气量等因素对RH机械真空泵抽气过程的影响, 为不同RH吨位或RH真空精炼工艺条件下, 机械真空泵系统的设计和研究打下坚实的基础。     

滑阀真空泵,罗茨真空泵及其真空机组

滑阀真空泵、罗茨真空泵及其真空机组谈治信（兰州物理研究所，兰州７３００００）分类号：ＴＢ７５２滑阀式真空泵（简称滑阀泵）和罗茨真空泵（简称罗茨泵）及其由该泵组成的真空机组近几年来随着真空冶金、真空热处理、真空冷冻干燥、真空镀膜等各种领域的发展需要而得...     

干泵——21世纪照耀真空工业的新星

干泵——２１世纪照耀真空工业的新星一、干式真空泵的定义近年来在涉及真空技术的各种书刊文献中越来越频繁出现“干泵”、“干式真空泵”、“无油真空泵”等名词，然而何谓“干泵”？目前尚无确切定义，从广义上讲，凡在真空泵的抽气流道内无任何液态工作介质或密封介质...     

JK型真空机组油扩散泵的修复

JK型真空机组主要由机械真空泵和油扩散泵组成,是高真空的获得设备。目前,在科研单位、学校、企业等都得到广泛应用。我厂从1977年起有14台JK──10(JK-200A)真空机组用于生产。 JK型真空机组工作时,机械真空泵是做为前级泵。在扩散泵工作前,使系统和扩散泵内达到一定的预抽真空度(≤5×10-2托)。在扩散泵工作中,把送到排气口的气体抽出泵体。扩散泵是获得高真空的主要设备。扩散泵加热后,泵内油蒸发,油蒸汽连续不断沿导流管经过备级喷阻得到高速蒸汽流。被抽容器的气体,由进气口扩散到蒸汽流中,即被高速蒸汽流迅速带走。蒸汽与其夹带的…     

罗茨真空泵机组抽气速率分析

罗茨真空泵机组因配用前级泵不同和所处工作压力范围的差异，相应其抽气速率变化较大，设计中应根据具体工况条件及真空系统使用要求，力求使罗茨真空泵机组体现好的适用性和经济性。     

低架式蒸汽喷射泵的研究与应用

在吸收、综合高架式蒸汽喷射真空泵与往复式真空泵、水环泵优点的基础上，开发研制了中小型、低能耗、低投资、方便实用的低架式蒸汽喷射真空泵。它可广泛应用于冶金、化工、油脂精炼、炼镁、冷冻升华干燥与真空干燥，为粗低真空应用领域增添了一个新的品种     

分子/增压泵的结构、性能及其应用

分子／增压泵是一种最近实现产品化的新一代真空泵，该泵兼有中、高真空泵的性能，能耗低，能获得清洁真空，还能承受大气冲击，应用前景十分广泛。本文详细介绍了分子／增压泵的结构、性能和应用，并与常用的中、高真空泵作比较。最后，介绍了分子／增压泵的一种独特应用——“大型真空设备的冲洗抽气法”，该方法将抽气时间缩短至50％，能耗降至10％～25％。     

第十六讲 真空系统的操作与维护

1.2.3.3贮气罐(上接2008年第1期第80页) 小型扩散泵高真空抽气机组通常配置有贮气罐,设置在扩散泵和前级泵之间,贮存扩散泵排出的气体,设置贮气罐的原因有: (1)系统防震的需要 真空系统工作时,某些工艺过程要求严格防震,因此需要在真空室处在工作状态中时,前级机械真空泵在一段时间内停止工作.在这段时间内,扩散泵排出的气体全都贮存在贮气罐中,用贮气罐代替机械泵维持扩散泵的正常工作.     

第三讲：机械真空泵（四）

第三讲：机械真空泵（四）张以忱（东北大学）（七）余摆线真空泵余摆线真空泵的转子与泵腔的型线均为“余摆线”。目前真空行业中广泛使用的油封式机械真空泵大多是中、小型的旋片泵和中、大型的滑阀泵。旋片泵在较脏的工作条件下，旋片易在转子槽中卡住。尽管滑阀泵对这...     

QBY60型真空压力复合气泵试制成功

QBY60型真空压力复合气泵是兼有真空泵和压缩机特性的一种复合泵,它一方面能抽吸真空,一方面能吹送低压风,从印刷行业的使用情况来看,以抽吸真空为主,以送风为辅,还有在很多场合下,主要做为真空度要求不高的低真空泵。该泵是现代印刷、装订机械自动化不可缺少的配套辅机,今后也     

超高真空的获得—泵与抽气系统

在“超高真空”历史发展的几十年间,技术和用户需求两方面都发生了许多变化。甚至超高真空的含义也有些演变。问题的焦点是：从如何获得只有泵壁出气气体负载的最低压强的静态真空转向如何获得生产过程气体低污染和高纯度的动态真空。现在,想用一种全能的泵来实现这一设想是不实际的,因为不同的真空抽气技术有着更明显的应用范围。这种情况对传统的超高真空泵－离子吸气砂来说是一样的。在大多数情况下,在设计系统时离子吸气泵是     

第十六讲真空系统的操作与维护

(上接2009年第1期80页) (3)有较大的颗粒状杂质进入泵内,使泵腔直接拉伤. 用于真空干燥设备的真空系统经常会出现上述引起机械真空泵损坏的现象.因为真空干燥处理的目的就是为了排除水蒸气.另外,被干燥的材料或产品在干燥前的储运及制造过程中以及真空罐本身在敞口期间,难免带进不少粉尘和颗粒状杂质.在真空系统处于高压力抽气阶段时,这些杂质有可能被湍流状气流带进真空泵的泵腔内.     

以场景为设计输入的螺杆干式真空-压缩系统研究

螺杆干式真空泵在一个泵腔内实现多级压缩，并且不使用液体密封，是“双碳”目标下气体输运的优秀装备。本文分析了螺杆干式真空泵设计原理，研究了使用场景下螺杆真空泵的特点和使用要求，指出了化学工程真空系统的特殊性。提出了基于场景的模块系统集成、螺杆泵密封结构、内冷结构和智能控制等。讨论了智能化过程中需要解决的数据库建立问题和控制模式优化措施。建议在理论设计基础上，以场景需求为设计原则，实现工程应用安全高效。     

真空泵油

一 、前言 真空泵的种类繁多,有机械泵、蒸汽流泵等,近来又出现了用吸气剂获得高真空的泵。本文阐述有关广泛使用的旋转泵或蒸汽流泵所需的真空泵油及其各种性质。首先,真空泵油可大致分为象旋转泵油那样的用于润滑和密封的,以及象蒸汽流泵油那样的使油变成蒸汽进行喷射的二种。使用油进行工作的真空泵是在本世纪初由德国的W.GAEDE发明的。其后,又发表了许多有关真空泵型式及工作油的研究报告1-2)。近来,真空技术在电真空工业、真空冶金工业、真空镀膜工业、蒸馏工业、食品工业、精密机械分析仪表工业以及宇宙科学领域方面的应用有了进一…     

高压差工作用气冷式罗茨真空泵设计及其性能

在大型汽轮机转子真空动平衡机室设计中选用了气冷式罗茨真空泵作为其主泵以大大加快抽空速度。气冷式罗茨真空泵由于其特殊结构，在携带一泵外冷却器后，可在极高的压差下连续工作而不会超温。这种泵还具备无油压缩的优点，可防止油蒸汽对被抽气体的污染，可广泛应用于各种真空作业上。本文介绍了这种泵的设计及其性能。