应用于大面积光刻的激光图案检测系统

基于激光干涉光刻的基本原理,设计了新型的可应用于大面积光刻的激光图案检测系统,并阐述了利用电荷耦合元件对光刻图案的CMOS实时检测及实现大面积光刻的方法。实验结果表明,使用激光干涉光刻技术可以产生大面积的亚微米级周期性图案。该方法提供了得到高分辨、无限焦深、大面积光刻的可能性。     

激光干涉光刻技术的分析

在微细加工和集成电路(IC)制造当中,光学光刻技术是毋庸置疑的主流技术。现在的IC集成度越来越高,这就对光刻分辨力有了更好的要求。但光刻物镜数值孔径(N A)和曝光波长(λ)在一定程度上限制光学光刻的分辨极限。作为一项新兴光刻技术的激光干涉光刻,不仅设备价格较低、结构简单,而且工作效率高、分辨率高、大视场曝光、无畸变、焦长深等许多独特之处,分辨极限更是达到了λ/4的水平,在微细加工、大屏幕显示器、微电子和光电子器件、亚波长光栅、光子晶体和纳米图形制造等相关领域有很好的应用,极大拓展了这些领域在未来的进步空间。     

数字近景摄影测量辅助三维激光影像扫描的建筑物表面数据采集系统

根据三维激光影像扫描技术和数字近景摄影测量的特点，以完整地采集复杂建筑物表面的三维坐标数据为目标，提出数字近景摄影测量与三维激光影像扫描测量相结合进行建筑物表面的三维点的采集方案，并根据设计方案和数学模型编制相关程序，初步实现相应的数据采集步骤。     

3D激光扫描技术在土木工程中的应用研究

3D激光扫描技术突破了传统测量方法的局限性,在土木工程领域开始得到应用。基于其应用技术及原理,提出了包括测量重构、质量检测、变形监测等在内的重点应用方向,并阐述了各应用方向的关键技术和难点。结合前期研究成果和国内外成功应用的案例分析,给出了3D激光扫描技术具体可行的应用内容,并对该技术在建设工程中的应用发展提出了展望,以为该技术的工程应用提供指导。     

唐山建筑陶瓷厂微机制版项目填补国内空白

唐山市建筑陶瓷厂的“釉面砖图案计算机辅助设计制版系统”,日前通过鉴定。填补了釉面砖计算机辅助设计以及制版系统国产化的空白。 该项目是利用计算机对砖的图案进行扫描数据处理后,进行图形编辑、输出制版胶片、制版、配料与烧成等工艺过程,从而改变了传统照     

石英玻璃在光刻技术中的应用

本文综述了集成电路制造中的关键技术—光刻的传统及现代的主流技术。从超微细图形刻印的特征尺寸发展路线图,阐述了不同特征尺寸应采用的光刻曝光波长,以及不同曝光波长下应采用的石英玻璃光掩膜基板材料。     

谈3D激光扫描技术在隧道监测中的应用

介绍了3D激光扫描技术的原理及特点,论述了3D激光扫描技术在隧道监测中的具体方法,通过工程实例,研究了该技术的可行性和数据的准确性,并探索了测量的技术方法和数据处理过程,以促进3D激光扫描技术的推广应用。     

烧伤创面多自由度精密激光切痂系统

针对复杂空间创面法向自动聚焦和切痂的关键技术问题,提出了一套由5自由度运动平台和2自由度激光光路控制机构组成的激光切痂控制系统.对激光切痂并联机构进行运动学逆解分析,推导了运动平台和激光光路控制机构的位置对应关系.结合所推导的位置对应关系和复杂创面轮廓三维扫描结果,该系统可实现激光轨迹的自动规划,从而完成激光自动切痂.基于所提出的激光切痂系统,进行了激光切痂实验研究,实验测试结果表明:该激光切痂系统能很好完成人体手部区域的三维轮廓扫描与重建,并自动规划激光焦点光斑运动轨迹并切痂.     

挖掘机激光定深系统设计

利用激光准直技术及微重力倾角检测技术,研究开发了一种适用于挖掘机的激光定深挖掘系统。论述系统的工作原理、数学模型和硬件软件设计等内容。试验表明系统响应速度快,精度可控制在3cm以内,满足工程要求。该系统可以应用到其他平整机械中。     

激光共聚焦显微镜技术进展

激光共聚焦显微镜技术发展迅速,新技术主要集中于从提高分辨率、降低光毒性、提高扫描速度、活体观察等方面提升激光共聚焦显微镜的功能,各种新技术带来更多的生物学应用潜力,因此有必要梳理分析各项新技术的原理。本研究归纳分析了光门控、白激光、Ga As P光谱检测器、超高分辨率、活细胞工作站、光片成像系统、多光子、相干反斯托克斯拉曼散射、激光捕获显微切割等技术的原理和应用潜力。并指出了现有技术在扫描速度、兼容性、样品适用性等方面的不足,展望了下一步的研究方向。该论文供研究人员在熟悉和了解新技术的基础上更加清晰的获知"基于什么样的技术能够达到什么样的生物学功能",进而获得更多的实验思路。