基于光电控制技术的纸箱包装机的研制

提出了自动化纸箱包装机的设计方案,将光、机、电和气动技术引入包装机械,进行了包装机主体机械系统、驱动控制系统硬件和软件的的设计,应用了多电机同步伺服技术、光电检测技术、触摸屏操作和快速成型技术,使包装纸箱的生产实现了智能自动化。     

微型光谱仪技术的实用化前景展望

光谱仪作为一类重要的测试仪器，随着微光机电系统的发展，其微型化趋势日益明显。光谱仪的小型化趋势可以追溯到20世纪90年代，经过十几年的发展，国际上已经出现了很多种采用先进制造技术的微型光谱仪，国内也有很多科研院所致力于微型光谱技术的研发。目前，国际上的微型光谱仪主要是依靠MOEMS、LIGA、二元光学和集成光学光波导技术等微细加工技术进行制造，有些尚处于实验室原理样机阶段，但是随着微细加工制造技术的飞速发展，批量生产商品化的微型光谱仪已经为时不晚。本文重点介绍了基于调制原理和基于光纤传感特性的两类微型光谱技术，阐述了发展微型光谱仪器技术的重要意义。     

微光ICCD电视摄像技术的发展与性能评价

利用微光像增强器的图像增强功能，将微光像增强管耦合到电荷耦合器件（CCD）上即构成微光图像增强CCD（简称ICCD），可获得两个重要的特性：一是通过选择适当的像管输入窗及光电阴极，使ICCD光谱响应范围由可见光扩展到X射线、紫外、近红外区域，从而使该器件能适用于各种用途；二是使ICCD的灵敏度达到10^-4Lx以下，实现了ICCD摄像器件在黎明或黄昏的照度下从（10^2Lx）、1／4月光下（10^-2Lx）到星光下（10^-4Lx）都能有效工作。微光ICCD电视摄像系统可应用在天文、医疗，军用的火控、制导、飞机的紫外预警等方面。本文旨在重点阐述微光ICCD电视摄像技术的发展与性能评价。     

超二代微光象增强器技术分析

本文根据超二代微光象增强器的生产实际,着重对超二代微光象增强器的光电阴极和ＭＣＰ的技术改进进行了分析说明,揭示了超二代象增强器性能提高的实质。     

微系统集成技术研究的动向

在微电子、微机械和微光学的基础上,集成传感器、执行器和信号处理单元于一体的微系统技术,是现代技术发展的一个新动向。微系统技术在微传感器、微执行器、微光学和专用集成微型仪器等方面有较大发展。微系统在一些工业中获得应用。     

MOEMS在光通信网络中的应用

主要介绍了微光机电系统(MOEMS)在光通信领域中的应用，重点介绍了MOEMS光开关等器件应用在光通信网络中的原理及优势，并对微光机电系统技术在光网络通信中的应用前景作了展望。     

小型光电传感器

日本立石电机公司研制成一种小型光电传感器,EE-S—光电微型传感器系列,在发射光一测使用发光二极管,在受光一侧使用光电晶体管。EE-SH3M(槽型)、EE-SB5V(反射型)因和专用IC制作在一起,故可直接驱动最大为80mA的功率负荷。     

微型光谱仪的发展现状

光谱仪是种类繁多、应用极为广泛的一种理化分析仪器,微加工技术的发展和MEMS(微机电系统)、MOEMS(微光机电系统)技术的出现为其微小型化提供了可能性,本文着重就采用新型滤光技术的微型光谱仪、利用光纤制作的微型光谱仪以及集成式光谱仪进行介绍.光谱仪的微小型化是我国微型仪器的一个重要发展方向.     

微流量系统的基础技术研究

介绍了国家自然科学基金重点资助项目”微型机械制造基础理论及基础技术研究”中“微小型泵的基础技术”及其后续工作的研究成果,并结合微流量系统研究分析了当前微型机电系统发展的几个特点,微型机电系统的重要基础课题的研究突破为其发展和应用打下基础。国际上微光机电系统技术刚走向全面发展,正是我国发展该领域的好时机。     

动态信息

动态●日本微型传感器研究和开发现状微型传感器是微型机械系统的重要部件,在设备维护系统中,用于环境识别,管道中的缺陷和裂缝检查,堵塞物分析,微型机械系统的位置和方向探测;在微型工厂中,用于加工对象的目视检查、装配操作的立体观察、接触探测等;在管腔内诊断和治疗系...     

微型光机电系统

微型电子机械系统（ＭＥＭＳ）与光器件融合于一体的微型光机电系统（ＭＯＥＭＳ）成为ＭＥＭＳ研究的一个重要方向,它将会给光器件的发展带来新的飞跃,而光系统因无需力的输出,正是ＭＥＭＳ的一个理想的应用领域。本文主要介绍几种有突破性的、具有可动部件的微型光机电系统,最后提出一种新型的微光学开关。     

Research and development of VUV optical coatings for micro mirror applications

1Introduction Duringthelastthreedecades,thedevelop mentofpowerfulUVlightsourcessuchasexci merlasers,frequencymultipliedsolidstatela sersorstoragefreeelectronlasershavegathered increasingresearcheffortsinthefieldsofUV photoninteractionwithmatteraswellasrising industrialapplicationssuchasintegratedcircuit manufacturing,microandnano materialpro cessingormedicine.Adominantdrivingforce downtotheshortestwavelengthsinthevacuum ultraviolet(VUV)spectralregionisthesemi conductormanufacturingwiththeopt…     

静电驱动MOEMS保险机构的设计与试验

为了提高引信状态控制的安全性,增强其抵抗引信内、外强电磁干扰的能力,提出了一种应用于微小型引信安全系统的硅基微光机电保险机构。该机构采用光纤作为过程能量传输的载体,通过静电驱动方式实现对光纤光路错位与对准的控制,达到引信安全与解除保险的目的。设计了MOEMS保险机构的总体结构和耦合光路,并对它进行SOI+DRIE工艺设计和加工。通过开展静电微驱动器性能测试试验和光路性能测试试验得出,静电微驱动器能够实现130μm的大位移输出,MOEMS保险机构的解除保险时间和恢复保险时间分别为13 ms和5 ms,光能传输效率为46.1%。所设计的MOEMS保险机构能够满足功能要求,具备天然的抗电磁干扰能力,有效提高了引信的本征安全性。     

微型可编程相位光栅的理论特性研究

本文提出了一种基于微光机电系统（MOEMS）的新型可编程相位光栅技术，并对其工作原理和理论特性进行了分析和研究，同时给出部分数值仿真结果，并得出了一些重要的结论。     

大尺寸垂直梳齿驱动MOEMS扫描镜

提出了一种采用垂直梳齿驱动器驱动的大尺寸、大扭转角度、低驱动电压微光机电系统（MOEMS）扫描镜。理论分析了垂直梳齿驱动器的工作原理,研究了垂直梳齿的制作工艺,采用体硅加工工艺结合硅-硅键合工艺制作了垂直梳齿驱动的MOEMS扫描镜。制作的扫描镜镜面尺寸为3 mm×2 mm,谐振频率为1.32 kHz。测试表明,该扫描镜镜面具有很好的光学表面,其表面粗糙度的均方根只有8.64 nm;扫描镜在驱动电压为95 V时可以实现最大2.4°的扭转角度;测得其开启时的响应时间为1.887 ms,关断时的响应时间为4.418 ms。     

基于MZI光波导的MOEMS压力传感器

集成光学压力传感器利用幅度、相位、折射率分布、光程和光波极化方式的改变来感应外部压力.设计了基于MZI光波导的MOEMS压力传感器,探讨了工作原理,分析了弹性薄膜尺寸对应力的影响和波导中TE、TM模式的光对波导折射率的影响.通过设计弹性薄膜的尺寸(a=2 mm,b=1 mm,h=20 μm)和选用波长为1.31μm的单模激光,得到传感器的灵敏度为1.84×10~(-2) kPa,半波压力为85 kPa.     

光栅平动式光调制器光学特性分析

提出了一种基于微光机电系统的可用于投影显示及相关器件的新型光栅光调制器,介绍了其结构、工作原理和加工流程.对器件进行光学分析,优化和仿真,得出器件结构参数与光学特性之间关系.器件的可动光栅占空比e=0.5,光栅常数d=6 μm,长度L=39 μm,宽度w=36 μm,边距w0=1.5 μm时,理论上±1级衍射效率η=37.0%,对比度V=625;可动光栅与下电极在开态和关态时间距分别为0.65 μm和0.78 μm,器件单像素尺寸为51 μm×51 μm.     

微光学机电系统的发展和应用

论述了微光学机电系统(MOEMS)的研究状况和已研制的系统的结构工艺与工作原理,对其发展和应用前景进行讨论。     

Low-voltage element of a field-programmable dynamic diffraction grating

A new element of a field-controlled diffraction grating [Grating Light Valve™ diffractive MOEMS device (GLV)] is described, which differs from known similar elements by the physical principle of operation and its structure; other distinctive features are the lower control voltage, the absence of the hysteresis, and the possibility of operation in the analog mode. Experimental characteristics of the GLV element are presented.