机床与加工科技信息

86141 DWC 4 型数字式超精密振动──位移测量仪 本仪器是一种数字式超精密电容不接触原理的振动──位移测量仪器。具有以下特点: 1 .4 位数字显示,最高分辨率0.005μm,各显程与分辨率:300.0/0.5μm ; 30.00/0.05μm 3.000/0.005μm 2.测量频率范围:0-7.5kHz。 3.对球面测显对象具有非线性补偿作用,非线性<10%。 4.仪器具有模拟量输出接口 (±5.1V,±20 mA)与数字输出接口。 5.具有零漂小,抗干扰能力强,精度保持好等优点。 86142超精密轴系的研究 经过对超精密轴系的研究,研制成功一种空气静压轴系。主轴径向迴转精度达到 0.025 μm ,…     

花键环规M值的测量

花键环规Ｍ值的测量贵阳工具厂（５５０００３）廖全文三角花键塞规、渐开线塞规的Ｍ值可选择合适的量棒用杠杆卡规测量。但对于渐开线环规或三角花键环规,既不能采用外尺寸测量方法,用游标卡尺测量又不能保证测量精度,用内径千分表测量也有一定困难。为此,可利用万能...     

光针式三维表面形貌测量仪的研制

研制了一种基于动态聚焦探测法的新型光针式三维表面形貌测量仪,该仪器可实现表面三维形貌的快速、无损、非接触测量。介绍了该仪器的测量原理、仪器结构、伺服机构的设计并给出了实测结果。仪器垂直测量范围为500μm;垂直方向测量精度可达0·5μm,分辨率为0·01μm。     

基于LVDT的台阶信号拾取方法研究

大规模集成电路检测设备之一台阶测量仪是采用LVDT传感器拾取信号的,其设计合理与否直接关系到仪器的测量精度。文中采用零点残余电压补偿,合理地选择LVDT特性曲线的不同区域,以及正确设计传感器的安装角度等措施,有效地减小了零点残余电压的影响,并消除测量机构本身固有的二次项误差,提高了仪器的测量精度。实验表明,该仪器垂直方向测量分辨率可达0．5μm,重复测量精度为±0．015μm．     

DXY—1型线宽轮廓测量仪的设计

微细图形几何尺寸的测量是VLSI 生产中的一个重要工序。DXY-1型线宽轮廓测量仪采用显微镜—电视摄象—图象采集—微机处理方案。本文介绍了它的原理及设计中有关问题。实验结果表明:测量精密度≤±0.005μm,仪器精度σ≤±0.02μm,台阶测量精度<2.5nm。     

机车配件专用塞规加工工艺的改进

机车配件专用塞规是加工内燃机车配件时用于检测配件锥孔的专用检测工具 ,要求其锥度误差不大于 10″ ,基准尺寸误差不大于 0 .0 0 3mm(塞规尺寸及其它技术要求见图 1、表 1)。图 1表 1D公称直径 偏差M 锥度C ATα ATD(±μm) L1 L2 LbD1 工作尺寸2 9-0 0 3 -0 0 60 60 0 0 1 1:8±8″ 3 .2 7985 14 0 82 5 2 90 0 149 4+0 0 0 0-0 0 0 3 10 0 .1 1:5 0±8″ 2 .5 80 90 160 83 0 49 9±0 0 189 88-0 0 0 2-0 0 0 80 5 0- 0 0 1 1:5 0±5″ 2 .5 10 0 110 190 10 40 89 880- 0 0 189 8-0 0 0 2-0 0 0 80 5 0- 0 0 1 1…     

纳米级精度的线宽测量仪

在大规模集成电路生产中,对掩膜版与硅片刻线宽度的在线检测是保证质量的重要手段。本文介绍了一种高精度,自动化的线宽测量仪。阐述了其原理,构成及设计中有关问题。经实验表明:该仪器的重复测量精度≤±0.005μm;测量精度为±0.02μm.     

数显技术讲座：第十讲 国内外数显装置及其选用

一、常用位移传感器 (一)感应同步器 1.直线分离式单块尺标准长度250mm,GZD-1型有0级±1.5μm(国外±1μm)和1级±2.5μm,2级±5μm三种,前两种成品率达95％以上。标准长度400～1100mm有:00级±1.5μm,0级±3μm,按有的企业标准GZD-2型窄尺精度与GZD-1型基本相同。GZH-1(标准式)、GZH-2型(窄式)滑尺精度也分为0级(±0.8μm)、1级(±1.5μm)和2级(±2.5μm)三种,与相应精度等级的定尺配套使用。 2.组装式尺将定尺、滑尺组装在一个封闭的金属壳内并准确地调整好其相对位置和间隙,密封型结构,安装方便。国内组装尺型号较多,精度一般为±0.005     

双纵模双频激光精密测距仪的研究

介绍了一种双纵模双频激光精密测距的工作原理,信号处理及误差分析。测距仪是以频差800MHz(对应波长长度为380mm)的波长为测量基准进行测量的,对不足半个波长的长度是利用双频激光干涉仪的原理进行测量的。对该测量方法精度的理论和实验研究后,可以确定出总的测量精度为±(50±1.5×10-6L)μm。     

检查螺纹用的电子仪器

<正> 在一些最重要的机械产品上,螺纹联接的精度很高,因此,采用的螺纹检查方法和检查工具应保证2～3μm的测量精度,但是借助螺纹塞规、螺纹环规和带表螺纹卡规的传统测量方法很难保证这样的测量精度。下面介绍一种测量内、外螺纹用的电子量仪(见附图),该仪器包括三个主要部件:8731型电子线值指示计8238型电感位移变换器Ⅱ(传感器)和检查内、外螺纹用的塞规Ⅲ或卡规Ⅳ。     

花键环规精磨加工中的分度误差分析及修正

花键综合量规用于花键孔和花键轴的综合检验。由于量规结构等原因，孔用综合塞规的制造精度较易达到标准要求；但轴用花键环规分度精度要求较高（周节累积误差仅为约８μｍ），加工难度较大。在测量花键环规分度值时，环规分度一周后杠杆表指针往往不能回零，或虽能回零，但装卡带动器后的测量芯轴跳动量比装卡前显著增大（可达１０μｍ之多）。这种装卡带动器后增加的跳动误差将会直接带入环规的分度误差中。虽然这种人为分度误差属系统误差，理论上可从环规各齿上一一剔除，但若在环规分度精磨加工中出现这种人为分度误差，则可能造成精磨…     

DCH3—1型红外测距仪

北京光学仪器厂研究成功的符合国家和行业1级精度标准的DCH3-1型红外测距仪,按测距标准偏差规定的精度等级为: 1级仪器优于:±(3mm+2×10~(-6)D) 2级仪器优于:±(5mm+5×10~(-6)D) 3级仪器优于:±(10mm+100×10~(-6)D) DCH3-1型红外测距仪是在DCH3型基础上改型设计的,主要采取以下措施提高     

R9O3Z沟曲率测量仪

在轴承生产中，对中大型轴承的沟道曲率半径的测量多数采用球头刮色法，其测量精度满足不了机床主轴轴承的测量要求。R9032仪器的测量范围为：内径φ20～150mm、曲率半径3．5～17．5mm，测量曲单半径时的示值精度为±4．5μm。文中对测量原理、测量仪的研制作了较详细的叙述。附图5幅     

万能工具显微镜上测高精度孔径

在实际工作中检测高精度光滑环规的孔径所用的仪器可分为两大类:一类是专用的高精度孔径测量仪器;另一类是通用测量仪器。它们各有优点,也各有其局限性。常见的专用孔径测量仪器有:象点仪、小孔径测量仪、阿贝内孔比长仪等,这些仪器由于价格高昂和使用条件苛刻,不利于生产中广泛推广应用。     

超精密渐开线齿形的测量方法

分析了双基圆盘式渐开线测量仪的测量原理,其具有结构简单、测量过程中无测头位置引起的阿贝误差等特点。该仪器采用交叉弹簧片的铰链结构作为误差传递杠杆,其灵敏度高、无间隙。经过对仪器的主要测量误差源进行补偿后,其系统的测量不确定度(U₉₅)＜±0.5 μm,测量精度可以满足1级渐开线齿形的测量要求。通过与其它渐开线齿形测量方法的比较,双基圆盘式渐开线测量仪仅在测量自动化和多功能性等方面不如CNC齿形量仪,其在测量精度与制造经济性等方面更具优势,是超精密渐开线齿形测量的理想方法。     

隐形眼镜投影测量仪的设计

提出了一种采用光学投影成像和自扫描光电二极管列阵(SSPA)传感器实现隐形眼镜曲率、光学中心厚度和直径测量的新方法,基于此方法设计成功了一种新型隐形眼镜投影测量仪.介绍了仪器的测量原理、仪器结构、光电二极管列阵信号采集以及单片机控制系统的硬件和软件设计.该测量仪测量镜片曲率半径的精度优于±0.1mm,测量镜片光学中心厚度的精度优于±0.01mm,测量镜片直径的精度优于±0.1mm,并能分辨镜片上任何方向大于0.01mm的杂质和表面缺陷.     

轴承行业国内外水平比较

第三部分门:{顼日名称j 国 内 水号I l国 夕f 水 !F轴承内径尺寸、稍尉度及雒度测驻仪L,』、孔测量)1.内径小于3毫米的釉承 1)备厂甩嚣度塞蜕检查、精度≥2微米 不能测蔓椭心度及摊度。 :j涵用性的可掼!l量小孔的光学比长仪正在弑 制城缸中:测量范围O.s～20毫米的孔径 夯度艇 l微米 目测 O.2微米 (乐用螺旋蓣数显微绶) 精度 豹±O.5微米2.内径3～lO毫米的轴承 1)仿苏且413仪器 分度遭1微米(来尼表) 检查速度600个/小时 孩仪器稳定性不高(2～3米徽) 测量力大(~200克),无法作精密测量。 2){=fl;分厂仍用雏度塞规。3.水纵柱式气动篮仪: 工作…     

螺纹环规加工过程中的在线检测

在线检测是螺纹环规加工中的难点。通过对螺纹环规的加工和检测现状的分析,提出了在线中径比较测量和综合测量,建立了测量中变化规律的数学模型,实现了对螺纹环规在线定量检测,提高了环规的加工精度、产品合格率和生产效率。     

转让德国蔡司(Zeiss)三坐标测量机

成都工具研究所现有一台德国蔡司原装进口三坐标测量机需要转让。该设备测量精度高、通用性强、测量速度快 ,是工业和研发部门所需的顶级测量装置。该设备型号、规格、技术参数如下 :●仪器型号 :ＵＰＭ850●仪器规格 :量程 (Ｘ×Ｙ×Ｚ) :850× 12 0 0× 60 0 (ｍｍ) ;最高测量速度 :65ｍｍ/ｓ ;分辨率 :0 2 μｍ ;载重量 :1 5ｔ ;测量精度 :单轴 :1 2 +Ｌ/ 4 0 0 ( μｍ) (Ｌ :ｍｍ) ;空间 :1 7+Ｌ/ 30 0 ( μｍ)●主要应用软件 :①机器运行状态自检软件ＦｕｎｃｔｉｏｎＴｅｓｔ ;②通用测量软件ＵＭＥＳＳ 30 0 ;③万能曲线测量软件Ｋ…     

Q-TESTER石英钟表测试仪

主要技术指标a.时基:±1×10-7恒温晶体振荡器b.精度:±0.01s/d(秒/日)±1 s/m(秒/月) c.量程:-9.99s/d～+9.99s/d;-999s/m～+999s/m d.测量周期:2s、10s、20s、60s e.可调直流电源:输出电压0.5～4.5V,每次调节量±0.05V,输出电流≤50mA f.功耗电流量程:0～+9.99μA(10μA档);0～+999μA(1mA档)